一种高速多线切割机的制作方法

专利名称:一种高速多线切割机的制作方法
【专利摘要】本实用新型属于半导体加工设备领域，尤其涉及一种高速多线切割机，其特征在于：所述第一固定杆上固定有第一自动卷线器，所述第二固定杆上固定有第二自动卷线器，所述移动杆的一端穿过所述第一固定套与第一自动卷线器上缠绕的第一线体相连，所述移动杆的另一端穿过所述第二固定套与第二自动卷线器上缠绕的第二线体相连，所述移动杆的两端均固定有线体固定杆，所述线体固定杆的上端连接有第三线体；所述第一连接杆的一端设置于所述第一转轴上并且其另一端设置有第二转轴，所述第二连接杆的一端设置于所述第二转轴上并且其另一端设置于所述第三转轴上，所述摆动臂的一端设置于所述第二固定座上并且其另一端设置于所述滑动槽内。
【专利说明】
一种高速多线切割机
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体加工设备领域，尤其涉及一种高速多线切割机。
【背景技术】
[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。目前，现有的多线切割机只能从一个方向上进行切割，无法多条线路同时切割，切割速度有待进一步提高。

【发明内容】

[0003]本实用新型针对上述技术问题，提供了一种三条线路同时切割的高速多线切割机。
[0004]本实用新型所采用的技术方案为:一种高速多线切割机，其特征在于:包括移动杆、第一固定套、第二固定套、第一固定杆、第二固定杆、线体固定杆、第一连接杆、第一固定座、第二固定座、摆动臂、第二连接杆，所述移动杆的中部固定有转轴固定座，所述第一固定杆位于所述移动杆的一侧，所述第二固定杆位于所述移动杆的另一侧，所述第一固定杆上固定有第一自动卷线器，所述第二固定杆上固定有第二自动卷线器，所述移动杆的一端穿过所述第一固定套与第一自动卷线器上缠绕的第一线体相连，所述移动杆的另一端穿过所述第二固定套与第二自动卷线器上缠绕的第二线体相连，所述移动杆的两端均固定有线体固定杆，所述线体固定杆的上端连接有第三线体;所述转轴固定座上固定有第一转轴，所述第一连接杆的一端设置于所述第一转轴上并且其另一端设置有第二转轴，所述第一固定座、第二固定座位于所述转轴固定座的一侧，所述第一固定座上设置有第三转轴，所述第二连接杆的一端设置于所述第二转轴上并且其另一端设置于所述第三转轴上，所述第二连接杆的中部开设有滑动槽，所述摆动臂的一端设置于所述第二固定座上并且其另一端设置于所述滑动槽内。
[0005]所述移动杆的一端固定有第一限位板并且其另一端固定有第二限位板。
[0006]所述第一线体、第二线体平行设置，所述第一线体、第三线体平行设置。
[0007]本实用新型的有益效果为:1、本实用新型中设置了三条线体，三条线路从三个方向上对三块材料同时切割，切割速度快。
[0008]2、通过摆动臂的摆动实现第二连接杆、第一连接杆的摆动，进而实现移动杆的连动，进而实现三条线体的作高速往复运动，连动性能强，传动结构简单，易于制作。
[0009]3、第一自动卷线器、第二自动卷线器自动收卷、释放线体，线体收卷灵活，便于切割。
[0010]4、第一限位板、第二限位板的设置，防止移动杆从第一固定套、第二固定套中脱出。
[0011]5、外形美观，实用性能强，易于实施。
【附图说明】

[0012]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:图中，1-移动杆，2-第一固定套，3-第二固定套，4-第一固定杆，5-第二固定杆，6-线体固定杆，7-第一连接杆，8-第一固定座，9-第二固定座，I O-摆动臂，11-第二连接杆，12-转轴固定座，13-第一自动卷线器，14-第二自动卷线器，15-第一线体，16-第二线体，17-第三线体，18-第一转轴，19-第二转轴，20-第三转轴，21-滑动槽，22-第一限位板，23-第二限位板。
实施例
[0014]如图1所示，一种高速多线切割机，包括移动杆1、第一固定套2、第二固定套3、第一固定杆4、第二固定杆5、线体固定杆6、第一连接杆7、第一固定座8、第二固定座9、摆动臂10、第二连接杆U，移动杆I的中部固定有转轴固定座12，第一固定杆4位于移动杆I的一侧，第二固定杆5位于移动杆I的另一侧，第一固定杆4上固定有第一自动卷线器13，第二固定杆5上固定有第二自动卷线器14，移动杆I的一端穿过第一固定套2与第一自动卷线器13上缠绕的第一线体15相连，移动杆I的另一端穿过第二固定套3与第二自动卷线器14上缠绕的第二线体16相连，移动杆I的两端均固定有线体固定杆6，线体固定杆6的上端连接有第三线体17;转轴固定座12上固定有第一转轴14，第一连接杆7的一端设置于第一转轴18上并且其另一端设置有第二转轴19，第一固定座8、第二固定座9位于转轴固定座12的一侧，第一固定座8上设置有第三转轴20，第二连接杆11的一端设置于第二转轴19上并且其另一端设置于第三转轴20上，第二连接杆11的中部开设有滑动槽21，摆动臂10的一端设置于第二固定座9上并且其另一端设置于滑动槽21内。
[0015]移动杆I的一端固定有第一限位板22并且其另一端固定有第二限位板23。
[0016]第一线体15、第二线体16平行设置，第一线体15、第三线体17平行设置。
[0017]以上对本实用新型的I个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.一种高速多线切割机，其特征在于:包括移动杆、第一固定套、第二固定套、第一固定杆、第二固定杆、线体固定杆、第一连接杆、第一固定座、第二固定座、摆动臂、第二连接杆，所述移动杆的中部固定有转轴固定座，所述第一固定杆位于所述移动杆的一侧，所述第二固定杆位于所述移动杆的另一侧，所述第一固定杆上固定有第一自动卷线器，所述第二固定杆上固定有第二自动卷线器，所述移动杆的一端穿过所述第一固定套与第一自动卷线器上缠绕的第一线体相连，所述移动杆的另一端穿过所述第二固定套与第二自动卷线器上缠绕的第二线体相连，所述移动杆的两端均固定有线体固定杆，所述线体固定杆的上端连接有第三线体;所述转轴固定座上固定有第一转轴，所述第一连接杆的一端设置于所述第一转轴上并且其另一端设置有第二转轴，所述第一固定座、第二固定座位于所述转轴固定座的一侧，所述第一固定座上设置有第三转轴，所述第二连接杆的一端设置于所述第二转轴上并且其另一端设置于所述第三转轴上，所述第二连接杆的中部开设有滑动槽，所述摆动臂的一端设置于所述第二固定座上并且其另一端设置于所述滑动槽内。2.根据权利要求1所述的一种高速多线切割机，其特征在于:所述移动杆的一端固定有第一限位板并且其另一端固定有第二限位板。3.根据权利要求1所述的一种高速多线切割机，其特征在于:所述第一线体、第二线体平行设置，所述第一线体、第三线体平行设置。
【文档编号】B28D5/04GK205704779SQ201620309078
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年4月14日
【发明人】不公告发明人
【申请人】天津西美科技有限公司