拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机的制作方法

文档序号:1840415阅读:311来源:国知局
专利名称:拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种材料加工设备,特别是一种切割深度超过40毫米,长度超过40毫米的拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机。
背景技术
市场销售的小型金刚石外圆切割机,只有美国标乐公司,丹麦司错公司的重力式上切割机,该机型由于锯片有4英寸和6英寸两种较小直径,如果去除夹锯垫的直径,切割深度为4英寸锯长只能切30毫米以下的材料;6英寸锯片只能切40毫米以下的材料。由于该机采用重力式上切割方式即切割臂不能移动,导致该机的切割最大深度就是切割长度,限制了该机切割的尺寸。因此,寻求一种不受切割深度限制又能扩大切割长度的切割装置是市场急需的课题。

发明内容
本实用新型的目的是提出一种拉动平台式下切割金刚石外圆切割/划片机,以解决因切割臂不能移动所带来的切割尺寸的限制。
本实用型是通过以下技术方案实现的拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机,由机座、电机、主轴、锯片、夹锯垫、顶丝、材料板、二维夹具、千分尺移动二维夹具装置、移动平台、限位装置、配重块、升降装置组成,安装在机座上的电机通过皮带轮与主轴相连,主轴右端与锯片、夹锯垫、顶丝装配在一起,机座上装有移动平台座,其移动平台座上装有移动平台,移动平台与二维旋转夹具相结合,移动平台前端面连有拉力软绳,拉力软绳末端与配重块相接。二维旋转夹具上端装有材料板,下端装有千分尺移动二维旋转夹具装置。拉力软绳与滑轮相连,配重块下端装有配重块支板。移动平台下面装有若干个滚珠。移动平台座下面装有升降装置,右端装有限位装置。
本实用新型的优点与效果是本实用新型将以往的重力式上切割方式改造为拉力平台式下切割方式,扩大了切割尺寸,还可以用于IC产业中的划片工序。把载料的二维夹具固定在以拉力作为移动平台的重力切割的进给靠拉力完成,而平台移动使切割长度范围扩大,与切割深度无关,从而达到既能切割又能划片的作用。划片是晶圆生产中的一个关键工序,即在IC板上划出深1.5毫米、长100毫米、锯口宽0.015毫米的不切透的缝,纵横划出所需若干个集成块。


图1为本实用新型的整体结构示意图;图2为本实用新型的切割示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步述本实用新型的机座(15)接通电源后,调整电机(16)无级控制转速旋转,电机(16)通过皮带轮(17)将动力传送到主轴(20),主轴带动锯片(1)、夹锯垫(2)以及固定锯片的顶丝(3)一起旋转到所需锯片(1)转速。然后调整与移动平台座(8)相连的升降装置(14),将移动平台(6)升到所需切割高度,再将限位装置(7)中的限位距离调好。移动平台(6)上装有千分尺移动二维夹具装置(18),千分尺移动二维夹具装置(18)与材料板(4)之间装有二维旋转夹具(5),将通过拉力软绳(11)和滑轮(10)与移动平台(6)相连的配重块(13)加到适当重量,配重块(13)下有配重块支板(12),配好后即可切割或划片材料板上的被切割/划片材料(19),其中移动平台(6)下有若干滚珠(9)可使移动平台移动。
权利要求1.拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机,由机座、电机、主轴、锯片、夹锯垫、顶丝、材料板、二维夹具、千分尺移动二维夹具装置、移动平台、限位装置、配重块、升降装置组成,其特征在于安装在机座(15)上的电机(16)通过皮带轮(17)与主轴(20)相连,主轴(20)右端与锯片(1)、夹锯垫(2)、顶丝(3)装配在一起,机座(15)上装有移动平台座(8),其移动平台座上装有移动平台(6),移动平台(6)与二维旋转夹具(5)相结合,移动平台(6)前端面连有拉力软绳(11),拉力软绳(11)末端与配重块(13)相接。
2.按照权利要求1所述的拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机,其特征在于二维旋转夹具(5)上端装有材料板(4),下端装有千分尺移动二维旋转夹具装置(18)。
3.按照权利要求1所述的拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机,其特征在于拉力软绳(11)与滑轮(10)相连,配重块(13)下端装有配重块支板(12)。
4.按照权利要求1所述的拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机,其特征在于移动平台(6)下面装有若干个滚珠(9)。
5.按照权利要求1所述的拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机,其特征在于移动平台座(8)下面装有升降装置(14),右端装有限位装置(7)。
专利摘要本实用新型涉及一种材料加工设备,特别是拉动平台式下切割金刚石外圆切割、划片机。它由机座、电机、主轴、锯片、夹锯垫、顶丝、材料板、二维夹具、千分尺移动二维夹具装置、移动平台、限位装置、配重块、升降装置组成,安装在机座上的电机通过皮带轮与主轴相连,主轴右端与锯片、夹锯垫、顶丝装配在一起,机座上装有移动平台座,其座上装有移动平台,移动平台与二维旋转夹具相结合,二维旋转夹具上端装有材料板,下端装有千分尺移动二维旋转夹具装置。移动平台前端接有拉力软绳,该绳通过滑轮与配重块相连,配重块下端装有配重块支板。移动平台座下面装有升降装置,右端装有限位装置。
文档编号B28D5/00GK2721365SQ20042007055
公开日2005年8月31日 申请日期2004年9月7日 优先权日2004年9月7日
发明者张革 申请人:张革
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