专利名称：定向仪的粘接装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种x射线检测仪器工装设备，具体说涉及一种用于测量晶体晶向偏 差或待晶棒加工晶面的晶向位置的x射线定向仪使用的粘接装置。
背景技术：
各种人工晶体都是通过切割成薄片使用，众所周知，其硬度高，造成加工费时费 力，相对来说原材料价格也高。因此，需要在加工前测量晶体晶向偏差或待加工晶棒要加工 晶面的晶向位置，以求定向准确，减少原材料的浪费，目前，加工厂家基本都采用定向仪来 测量，测量后确定切割位置后再进行切割。在切割之前，需要将晶体或晶棒牢靠地粘接到石 墨料板上，通过这个石墨料板固定在切割机上进行切割。 一般晶棒是用胶粘在一个料板上 的，因为机床加工方式的不同，粘接的晶面有所不同，料板也有所不同。常规的粘接方法，一 种是直接在切割机床上固定的料板上粘接，这种粘接不考虑偏差角，一般用于精度要求不 高的晶片切割的情况下。但是在加工机床上的调整只有一个平面可以调整，如果碰上调整 还需要在垂直于可调整平面的平面进行时，则需要放弃这次的粘接，重新粘料。另一种粘接 方法是在定向仪上放置料板，检测后就在定向仪上粘接到切割料板上，这种方法的缺点在 于只能纠正料板平面内的偏差角，与料板垂直平面内的偏差角永远也无法调整。要 求高精 度切片时，仅这种偏差就能造成成品超差的情况，有时就需要重新粘料。
发明内容
针对现有定向仪使用的粘接装置方面存在的问题，本发明提供一种既能调整料板 平面内的偏差角，又能调整与料板垂直平面内的偏差角，适用于不同直径晶棒粘接和高精 度切片要求的粘接装置。 解决上述问题采取的具体技术措施是 —种定向仪的粘接装置，其特征在于底座(7)的下面装有四个支脚(ll)，底座 (7)的上面装有石墨块导轨(6)，石墨块导轨(6)里插入T型块(5)，T型块(5)上面装有石 墨块(4)，固定在底座(7)后上面的立板(2)上装有粘接导轨(1)， T型块(5)正面中间位 置上安装法兰(IO)，设置在T型块(5)正面中间位置上的螺钉(8)的一端连接手钮(3)，另 一端旋入设置在底座(7)正面中间位置上的螺母板(9)与法兰(10)连接。
本发明的有益效果本装置可以保证晶面与石墨块端面与晶棒的轴线垂直，既能 调整料板平面内的偏差角，又能调整与料板垂直平面内的偏差角，适用于不同直径晶棒粘 接和高精度切片要求，投入小，使用简单，方便可靠，能有效地实现粘接各种晶棒的目的。
图1为本发明的结构示意图；
图2为图1的俯视图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明做进一步说明。 —种定向仪的粘接装置，如图1、图2所示，其特征在于底座7的下面装有四个支 脚11，底座7的上面装有石墨块导轨6，石墨导轨6里插入T型块5， T型块5相对石墨块 导轨6可以移动，T型块5的上面装有石墨块4， T型块5正面中间位置上安装法兰10，设 置在T型块5正面中间位置上的螺钉8的一端连接手钮3，另一端旋入设置在底座7上的 螺母板9与法兰10连接。本发明是为测量晶体晶向偏差的X射线定向仪专门设计的辅助 设备，定向仪在测量晶体晶向偏差时，首先调整好晶棒的晶向位置，由定向仪的另一辅助设 备——夹紧装置将已调整好晶向位置的晶棒夹紧，然后将调整好晶向的晶棒连同样品台上 的T型镶条从定向仪的样品台上取下来，将T型镶条垂直向下插入本发明中的粘接导轨1 里，这时，调整手钮3，可以使T型块5上的石墨块4相对底座7平移，调整石墨块4位置以 承接晶棒，立板2保证底座7垂直，也就保证了粘接导轨1与石墨块4垂直，从而保证晶棒 垂直于石墨块4下表面，为下一步检测晶棒第一个加工面做基准。当石墨块4正在晶棒下 方时，在石墨块4与晶棒之间涂胶，待胶干后，将晶棒连同石墨块4拿到定向仪的样品台上， 对晶棒进行最后的检测定向。
权利要求
一种定向仪的粘接装置，其特征在于底座(7)的下面装有四个支脚(11)，底座(7)的上面装有石墨块导轨(6)，石墨块导轨(6)里插入T型块(5)，T型块(5)上面装有石墨块(4)，固定在底座(7)后上面的立板(2)上装有粘接导轨(1)，T型块(5)正面中间位置上安装法兰(10)，设置在T型块(5)正面中间位置上的螺钉(8)的一端连接手钮(3)，另一端旋入设置在底座(7)正面中间位置上的螺母板(9)与法兰(10)连接。
全文摘要
本发明涉及一种用于测量晶体晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射线定向仪使用的粘接装置。其结构是底座的下面装有四个支脚，底座的上面装有石墨块导轨，石墨块导轨里插入T型块，T型块上面装有石墨块，固定在底座后上面的立板上装有粘接导轨，T型块正面中间位置上安装法兰，设置在T型块正面中间位置上的螺钉的一端连接手钮，另一端旋入设置在底座正面中间位置上的螺母板与法兰连接。本装置可以保证晶面与石墨块端面与晶棒的轴线垂直，既能调整料板平面内的偏差角，又能调整与料板垂直平面内的偏差角，适用于不同直径晶棒粘接和高精度切片要求，投入小，使用简单，方便可靠，能有效地实现粘接各种晶棒的目的。
文档编号B28D7/04GK101758565SQ20091022077
公开日2010年6月30日 申请日期2009年12月15日 优先权日2009年12月15日
发明者宋伟, 李国兴, 许秋华, 隋凤丽 申请人:丹东奥龙射线仪器有限公司