专利名称：掩模板样品横断面切割工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩模板样品横断面切割工具。
背景技术：
在半导体的生产工艺中，在对掩模板样品进行检验时，为了揭示掩模板样品的横截面的观察图形区域的质量，需要对掩模板样品的横断面进行切割。由于掩模板样品的空白区域的厚度远大于晶圆的厚度。因此，为了使得掩模板样品被顺利切割，刀具在掩模板样品上的切割长度越长越好，但是刀具是不能够碰到需要观察的观察图形区域的，也就是说，一旦刀具块到位于掩模板样品中部的观察图形区域时，刀具要离开掩模板样品，等跳过该观察图形区域后再继续切割掩模板样品。现有的切割方法，需要人为观察切割的位置。这方法不但容易碰伤所述观察图形区域，而且造成切割的断面不统一。因此，如何提供一种不需要人为确定切割位置的掩模板样品横断面切割工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种掩模板样品横断面切割工具，在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案:—种掩模板样品横断面切割工具，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述横梁的一侧表面设有用于设定所述条状垫片位置的第二标尺，所述底板上设有用于设定所述掩模板样品位置的第一标尺，且所述第二标尺和所述第一标尺平行设置且两者的刻度位置对应。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具包括刀片、刀轴以及紧固螺钉，所述刀轴的一端设有供所述刀片穿越的槽孔，所述刀片的一端穿设于所述槽孔内，所述刀片通过所述紧固螺钉与所述刀轴固定连接。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具驱动机构包括框架、至少两个滚珠、顶块、顶杆以及弹簧，所述框架套设于所述横梁及条状垫片的外侧，所述框架上与所述横梁相接触的表面设有滚珠，所述框架靠近底板的一侧设有供所述刀具的所述刀轴穿越的通孔，所述刀轴的另一端通过所述顶杆与位于所述框架内的所述顶块固定连接，所述弹簧套设于所述顶杆的外侧，所述框架通过所述弹簧将所述顶块顶向所述横梁，所述顶块上与所述横梁或者条状垫片相接触的表面设有另一滚珠。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具驱动机构还包括手柄，所述手柄设置于所述框架远离底板的一端。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述框架上与所述横梁相接触的表面设有两个相间隔的滚珠，所述顶块上与所述横梁相接触的表面设有一滚珠，设于所述顶块上的滚珠与所述两个相间隔的滚珠的距离相等。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述掩模板样品固定机构包括两对滑动锁紧机构，每个滑动锁紧机构包括滑块和锁紧件，所述底板上开设有与所述滑块相匹配的滑槽，所述滑块通过所述锁紧件固定于所述底板的所述滑槽内。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述滑槽与所述横梁相互垂直。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述第一标尺的两端分别通过连接板与所述底板活动连接。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述两块条状垫片的相对端分别设有导向坡。本实用新型提供的掩模板样品横断面切割工具，通过将所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割，因此，在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。
本实用新型的掩模板样品横断面切割工具由以下的实施例及附图给出。图1和图2是本实用新型的一实施例的掩模板样品横断面切割工具的两种状态的结构示意图；图3是本实用新型一实施例的刀具驱动机构和横梁以及垫片的组装示意图；图中，1-底板、2-条状垫片、21-导向坡、3-横梁、4-刀具驱动机构、41-框架、42-滚珠、43-顶块、44-弹簧、45-手柄、5-刀具、51-刀片、52-刀轴、6-滑槽、7-掩模板样品、71-观察图形区域、8-第一标尺、9-第二标尺、10-滑块、11-锁紧件、12-连接板、13-支撑架、14-矩形框、15-锁紧螺钉。
具体实施方式
以下将对本实用新型的掩模板样品横断面切割工具作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1 3，其中，图1和图2是本实用新型的一实施例的掩模板样品横断面切割工具的两种状态的结构示意图；图3是本实用新型一实施例的刀具驱动机构和横梁以及垫片的组装示意图。这种掩模板样品横断面切割工具，包括底板1、两块条状垫片2、横梁
3、刀具驱动机构4、刀具5以及掩模板样品固定机构，所述横梁3架设于所述底板I上，所述两块条状垫片2沿所述横梁3的纵向分别安装于所述横梁3的两端下方，所述掩模板样品7通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板I上，所述两块条状垫片2之间的间隙与所述掩模板样品7上的观察图形区域71相对应，带动所述刀具驱动机构4沿所述横梁3移动可以实现刀具5对所述掩模板样品7的切割。在刀具驱动机构4沿横梁3的整个移动过程中，由于一侧条状垫片2的缘故，刀具能够对掩模板样品7上观察图形区域71的一侧空白区域进行切割，当刀具驱动机构4移动到两块条状垫片2之间的间隙时，刀具5会上升并与掩模板样品7保持非接触状态；当刀具驱动机构4离开两块条状垫片2之间的间隙时，刀具5会由于另一条状垫片2存在的缘故而下降，重新进行切割，从而实现对掩模板样品7上观察图形区域71的另一侧空白区域的切割，从而，可以在切割过程中，不需要人为观察即可以精确确定切割位置，实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具5碰伤掩模板样品7上的观察图形区域71，而且可以实现统一一致的切割，进而显著提高了切割效率和精度。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述底板I上设有用于设定所述掩模板样品7位置的第一标尺8，所述横梁3的一侧表面设有用于设定所述条状垫片2位置的第二标尺9，且所述第二标尺9和所述第一标尺8平行设置且两者的刻度位置对应。通过设置第一标尺8可以知晓掩模板样品7的安装位置。通过设置第二标尺9可以根据掩模板样品7的安装位置对应掩模板样品7上的观察图形区域71安装两块条状垫片2，使得两块条状垫片2之间的间隙与所述观察图形区域相对应。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具5包括刀片51、刀轴52以及紧固螺钉53，所述刀轴52的一端设有供所述刀片51穿越的槽孔(未标示)，所述刀片51的一端(本实施例为上端)穿设于所述槽孔内，所述刀片51通过所述紧固螺钉53与所述刀轴52固定连接。也就是说，所述刀片51的上端活动地穿设于刀轴52内，通过紧固螺钉53固定刀片51的高度。请重点参阅图3,并请结合图1和图2,所述刀具驱动机构4包括框架41、至少两个滚珠42、顶块43、顶杆(未图示)以及弹簧44，所述框架41套设于所述横梁3或者所述横梁3及条状垫片2的外侧，所述框架41上与所述横梁3相接触的表面设有滚珠42，通过设置滚珠42可以减少框架41和横梁3之间的摩擦系数，从而便于实现两者之间的滑动，所述框架41靠近底板的一侧设有供所述刀具5的刀轴52穿越的通孔，所述刀轴52的另一端通过所述顶杆与位于所述框架41内的顶块43固定连接，所述弹簧44套设于所述顶杆的外侧，所述框架41通过所述弹簧44将所述顶块43顶向所述横梁3，所述顶块43上与所述横梁3或条状垫片2相接触的表面设有另一滚珠42，通过设置另一滚珠42可以减少及顶块43和横梁45或者条状垫片2之间摩擦系数，便于两者之间的滑动。上述结构的刀具驱动机构4中，刀具5会随着横梁3下条状垫片2的存在与否，进行上下移动。在本实施例中，所述刀具驱动机构4还包括手柄45，所述手柄45设置于所述框架
41远离底板的一端。通过设置手柄45，可以便于操作人员握持，操作人员通过移动手柄45驱动刀具51对掩模板样品7进行切割。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述框架41上与所述横梁3相接触的表面设有两个相间隔的滚珠42，所述顶块43上与所述横梁3相接触的表面设有一滚珠42，设于所述顶块43上的滚珠42与所述两个相间隔的滚珠42的距离相等。如此设置，可以使得框架41横梁3之间以及顶块43与横梁3或条状垫片2之间的滑动更加平稳。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述掩模板样品固定机构包括两对滑动锁紧机构，每个滑动锁紧机构包括滑块10和锁紧件11，所述底板I上开设有与所述滑块10相匹配的滑槽6，所述滑块10通过所述锁紧件11固定于所述底板I的所述滑槽6内。该掩模板样品固定机构结构简单，使用方便，可以实现对掩模板样品7的固定。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述滑槽6与所述横梁3相互垂直，从而，可以使结构更加紧凑，外观更加美观、整齐。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述第一标尺8的两端分别通过连接板12与所述底板I活动连接。由于第一标尺8通过连接板12与底板I活动连接，例如铰链连接或者销连接，因此，在安装掩模板样品7之前，可以将第一标尺8转动移开，在掩模板样品7安装好后，可以将第一标尺8移动到掩模板样品7上方，从而可以确定掩模板样品7上观察图形区域的位置，以利于后续条状垫片2的安装。优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述两块条状垫片2的相对端分别设有导向坡21。通过设置导向坡21，可以使得框架41沿横梁3在条状垫片2变化的地方顺利进行移动。本实施例中，具体的，所述横梁3通过两根支撑架13架设于所述底板上，所述横梁3的两端分别通过垫片锁定机构将条状垫片2锁定于横梁3下方。所述垫片锁定机构包括矩形框14和锁紧螺钉15，所述条状垫片2和横梁3由下至上穿设于所述矩形框14内，通过所述锁紧螺钉15将横梁3和条状垫片2固定在矩形框14内。所述矩形框14与横梁3、支撑架13连成一体。请继续参阅图1 3，本实用新型的掩模板样品横断面切割工具的使用方法如下:首先，安装掩模板样品7 ；接着，转动第一标尺8,如图1所不,使得第一标尺8靠近掩模板样品7,确定掩模板样品7上观察图形区域71对应第一标尺8的刻度位置；其次，安装两条状垫片2，如图2所示，根据掩模板样品7上观察图形区域71对应第一标尺8的刻度位置，通过第二标尺9实现对条状垫片的精确安装，使得两条状垫片2之间的间隙正对着掩模板样品7上的观察图形区域71，转动并移开第一标尺8 ；接着，移动刀具驱动机构4至横梁3的一端，使框架41内同时穿过横梁3和条状垫片2，松开紧固螺钉53并调节刀片51的高度，使之能切到掩模板样品7的表面，锁紧紧固螺钉53 ；[0042]然后，移动刀具驱动机构4，使刀具驱动机构4沿着横梁3移动，在移动过程中完成对掩模板样品7上观察图形区域71的两侧的空白区域进行切割；最后，取下掩模板样品7后沿着其切割面掰开，即实现了掩模板样品7的横断面的切割，从而可以进行后续检测工艺。综上所述，本实用新型提供的掩模板样品横断面切割工具，通过将所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割，因此，在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。
权利要求1.一种掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。
2.根据权利要求1所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述横梁的一侧表面设有用于设定所述条状垫片位置的第二标尺，所述底板上设有用于设定所述掩模板样品位置的第一标尺，所述第二标尺和所述第一标尺平行设置且两者的刻度位置对应。
3.根据权利要求2所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述刀具包括刀片、刀轴以及紧固螺钉，所述刀轴的一端设有供所述刀片穿越的槽孔，所述刀片的一端穿设于所述槽孔内，所述刀片通过所述紧固螺钉与所述刀轴固定连接。
4.根据权利要求3所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述刀具驱动机构包括框架、至少两个滚珠、顶块、顶杆以及弹簧，所述框架套设于所述横梁及条状垫片的外侧，所述框架上与所述横梁相接触的表面设有滚珠，所述框架靠近底板的一侧设有供所述刀具的所述刀轴穿越的通孔，所述刀轴的另一端通过所述顶杆与位于所述框架内的所述顶块固定连接，所述弹簧套设于所述顶杆的外侧，所述框架通过所述弹簧将所述顶块顶向所述横梁，所述顶块上与所述横梁或者条状垫片相接触的表面设有另一滚珠。
5.根据权利要求4所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述刀具驱动机构还包括手柄，所述手柄设置于所述框架远离底板的一端。
6.根据权利要求4所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述框架上与所述横梁相接触的表面设有两个相间隔的滚珠，所述顶块上与所述横梁相接触的表面设有一滚珠，设于所述顶块上的滚珠与所述两个相间隔的滚珠的距离相等。
7.根据权利要求1所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述掩模板样品固定机构包括两对滑动锁紧机构，每个滑动锁紧机构包括滑块和锁紧件，所述底板上开设有与所述滑块相匹配的滑槽，所述滑块通过所述锁紧件固定于所述底板的所述滑槽内。
8.根据权利要求7所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述滑槽与所述横梁相互垂直。
9.根据权利要求1所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述第一标尺的两端分别通过连接板与所述底板活动连接。
10.根据权利要求1 9中任意一项所述的掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，所述两块条状垫片的相对端分别设有导向坡。
专利摘要本实用新型公开了一种掩模板样品横断面切割工具，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。
文档编号B28D5/04GK203046015SQ20132002890
公开日2013年7月10日 申请日期2013年1月18日 优先权日2013年1月18日
发明者田明静 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司