玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜层叠体的制作方法
【专利摘要】本发明的玻璃薄膜的切割方法具有整体切割工序，通过对厚度为200μm以下的玻璃薄膜(GF)进行基于激光(9)的加热及追随于该加热的冷却，使初期裂缝(8)沿着切割预定线(4、5)进展，从而对玻璃薄膜(GF)进行整体切割，该方法中，具有层叠体制作工序，将玻璃薄膜(GF)及支承该玻璃薄膜(GF)的支承玻璃(GS)的、各自相互接触的一侧的表面的表面粗糙度Ra设为2.0nm以下，通过使该两表面面接触来制作玻璃薄膜层叠体(S)，在执行层叠体制作工序之后，执行整体切割工序。
【专利说明】玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜层叠体
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜层叠体，详细而言，涉及一种利用了激光加热的玻璃薄膜的整体切割。
【背景技术】
[0002]众所周知，在以平板显示器等玻璃基板为代表的板状玻璃产品的制造工序中，通过从大面积的板状玻璃切出小面积的板状玻璃、修剪沿着板状玻璃的边的边缘部，从而进行板状玻璃的切割。作为其方法，举出对板状玻璃进行切割的方法。
[0003]作为切割板状玻璃的方法之一，已知有图7所示那样的、利用了激光加热的切割的方法(以下，称作激光切割法)。如图7所示，该方法是，一边使板状玻璃G在沿着切割预定线4的方向X上移动、一边使激光9沿着切割预定线4而呈点状地照射，并且使水等制冷剂10追随于激光9而进行喷射。
[0004]而且，还具有如下所述的方法:利用缘于由激光9加热的加热部6与借助制冷剂10冷却了加热部6的一部分的冷却部7之间的温度差而进行作用的热应力，使刻于板状玻璃G的端部的初期裂缝8沿着切割预定线4进展，通过连续地形成切割部11而对板状玻璃G进行整体切割(例如，参照专利文献I)。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2011-116611号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
[0009]然而，近年来提出作为挠性显示器、应用部件的原材料而采用厚度为200 μ m以下的板状玻璃、即玻璃薄膜的方案，板状玻璃的薄壁化得以推进。上述专利文献I所公开的技术不仅以厚度较大的板状玻璃为对象，还以上述那样的玻璃薄膜的整体切割为对象，但当使用上述专利文献I所公开的技术来进行玻璃薄膜的切割时，产生下述这样的问题。
[0010]即，在利用激光切割法来切割厚度较大的板状玻璃的情况下，因其厚度的大小的缘故，如图8a所示，在板状玻璃G的厚度方向D上，能够容易生成加热部6与冷却部7这两者。因此，利用缘于该加热部6与冷却部7之间的温度差而进行作用的热应力，使切割部11沿着厚度方向D进展，由此能够顺利地进行板状玻璃G的切割。
[0011]另一方面，由于厚度为200 μ m以下的玻璃薄膜的厚度极薄，因此，如图8b所示，不具有用于沿着厚度方向D而生成加热部6与冷却部7这两者的足够厚度，加热部6的生成变得不充分。因此，在进行玻璃薄膜GF的切割的情况下，如图Sc所示，利用缘于沿着玻璃薄膜GF的表面生成的加热部6与冷却部7之间的温度差而进行作用的热应力，通过使切割部11沿着C方向进展，由此进行玻璃薄膜GF的切割。
[0012]然而，如该图所示，在切割的行进方向C上的切割预定线4的终端部E，由于在切割预定线4的延长线上不存在玻璃薄膜GF，因此存在能够仅生成冷却部7、而无法生成由双点划线表示的加热部6这样的问题。其结果是，在终端部E中，无法利用用于使切割部11进展所需要的热应力，从而难以顺利地进行玻璃薄膜GF的切割。
[0013]因此，在利用激光切割法来切割厚度为200 μ m以下的玻璃薄膜的情况下，如上述那样，现状是以往使用的使切割部沿着玻璃薄膜的厚度方向进展的方法、使切割部在沿着玻璃薄膜的表面的方向上进展的方法中的任一种方法都难以适宜地进行切割。
[0014]本发明鉴于上述情况，其技术性课题在于，利用激光切割法顺利地切割厚度为200 μ m以下的玻璃薄膜。
[0015]解决方案
[0016]为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的方法是一种玻璃薄膜的切割方法，该玻璃薄膜的切割方法具有整体切割工序，在该整体切割工序中，通过对于厚度为200μπι以下的玻璃薄膜进行基于激光的加热及追随于该加热的冷却，使初期裂缝沿着切割预定线进展，从而对所述玻璃薄膜进行整体切割，所述玻璃薄膜的切割方法的特征在于，具有层叠体制作工序，在该层叠体制作工序中，将所述玻璃薄膜及支承该玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接触的一侧的表面的表面粗糙度Ra设为2.0nm以下，通过使该两表面面接触来制作玻璃薄膜层叠体，在所述层叠体制作工序的执行后，执行所述整体切割工序。
[0017]根据上述方法，在玻璃薄膜与支承玻璃各自中，接触一侧的面成为表面粗糙度为
2.0nm以下的平滑的面，由此在层叠体制作工序中层叠的玻璃薄膜与支承玻璃之间产生适度的密接力。在此，该密接力被假定为基于氢键而产生。由此，原本应作为玻璃薄膜层叠体的不同构成要素的玻璃薄膜与支承玻璃形成为厚度较大的一片板状玻璃。而且，通过充分确保厚度的大小，能够在层叠体的厚度方向上容易地生成由激光加热的加热部、和对加热部的一部分进行了冷却的冷却部这两者。其结果是，在整体切割工序中，利用缘于加热部与冷却部之间的温度差而进行作用的热应力，能够使形成于玻璃薄膜的切割部沿着厚度方向进展，从而能够顺利地进行玻璃薄膜的切割。
[0018]以上述的方法为基础，所述支承玻璃也可以以沿着所述切割预定线延伸的方式排列。
[0019]如此一来，通过使玻璃薄膜与支承玻璃之间的接触面的面积变窄，与使两片玻璃在整面的范围内接触而进行层叠的情况相比，能够在层叠体制作工序中避免玻璃薄膜局部地从支承玻璃浮起且产生皱褶那样的情况。因此，能够减少因该浮起而在玻璃薄膜产生变形的可能性。另外，在整体切割工序结束之后，在将玻璃薄膜从支承玻璃剥离的情况下，变得容易剥离玻璃薄膜。此外，在将玻璃薄膜从支承玻璃剥离之后，在进行支承玻璃的清洗、干燥或检查异物的残留的有无的情况下，能够减少这些操作所需要的时间、劳力。
[0020]以上述的方法为基础，优选所述切割预定线包括:沿着所述玻璃薄膜的第一方向延伸的第一切割预定线；以及沿着与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二切割预定线。
[0021]如此一来，由于能够将整体切割工序后的玻璃薄膜设为矩形，因此能够获得使用频率高的玻璃薄膜。另外，通过本申请的
【发明者】等的深入研究而判明了，在进行了沿着第一切割预定线的整体切割工序(以下，称作第一切割工序)之后，在进行沿着第二切割预定线的整体切割工序(以下，称作第二切割工序)时获得下述那样的优选方式。即，一直以来，为了进行第二切割工序，需要在通过第一切割工序切割了的各玻璃薄膜的端部与第二切割预定线之间的交点逐一地刻有初期裂缝。然而，根据本发明所涉及的方法判明了:只要在上述交点中、仅在位于第二切割预定线的最始端侧的交点刻有初期裂缝，便能够进行第二切割工序，从制造效率的观点出发非常有利。该优选方式被假定为通过以下那样的理由获得。换句话说，利用在玻璃薄膜与支承玻璃之间产生的密接力，层叠的玻璃薄膜与支承玻璃难以错动。因此，在通过第一切割工序而形成的玻璃薄膜的切割部中，在切割了的玻璃薄膜彼此的对置的切割面间形成的间隙变小为被看作是基本不存在的程度。由此，假定为这是为了能够使在第二切割工序中形成的切割部横跨该间隙而进展。其结果是，在第二切割工序中，也能够顺利地切割玻璃薄膜。
[0022]另外，本发明所涉及的玻璃薄膜层叠体的特征在于，厚度为200 μ m以下的玻璃薄膜与支承该玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接触的一侧的表面的表面粗糙度Ra为2.0nm以下，且使该两表面面接触而层叠，并且，所述玻璃薄膜通过基于激光的加热及追随于该加热的冷却而使初期裂缝进展，由此被整体切割。
[0023]根据上述结构，关于上述的玻璃薄膜的切割方法，能够获得与已经说过的事项相同的作用效果，玻璃薄膜处于被顺利地切割的状态。因此，在进行了整体切割之后，在使切割好的玻璃薄膜彼此相互分离的情况下，能够良好地进行玻璃薄膜的切割。
[0024]发明效果
[0025]如上所述，根据本发明，能够利用激光切割法顺利地切割厚度为200μπι以下的玻
璃薄膜。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]图1a是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的层叠体制作工序的立体图。
[0027]图1b是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的层叠体制作工序的立体图。
[0028]图2是表示在本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中使用的玻璃薄膜的切割装置的立体图。
[0029]图3a是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的整体切割工序的俯视图。
[0030]图3b是图3a所示的A-A中的剖视图。
[0031]图4a是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的整体切割工序的俯视图。
[0032]图4b是图4a所示的B点的放大图。
[0033]图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的层叠体制作工序的立体图。
[0034]图6是表示玻璃薄膜的弯曲断裂应力的测定方法的侧视图。
[0035]图7是表示现有的板状玻璃的切割方法的立体图。
[0036]图8a是表示现有的板状玻璃的切割方法的剖视图。
[0037]图8b是表示现有的玻璃薄膜的切割方法的剖视图。[0038]图8c是表示现有的玻璃薄膜的切割方法的俯视图。
【具体实施方式】
[0039]以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法进行说明。需要说明的是，在以下的实施方式中，对利用激光切割法从一片玻璃薄膜(基样玻璃)切割为九片玻璃薄膜的情况进行说明。
[0040]图la、图1b是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的层叠体制作工序的立体图。如图1a和图1b所示，玻璃薄膜GF与支承玻璃GS各自的接触一侧的面具有相等的面积，并且成为表面粗糙度Ra为2.0nm以下的平滑的面。另外，玻璃薄膜GF的厚度为200 μ m,支承玻璃薄膜GF的支承玻璃的厚度为500 μ m。此外，玻璃薄膜GF、支承玻璃GS的玻璃的种类都是无碱玻璃。需要说明的是，作为玻璃薄膜GF的厚度而优选为I~200 μ m，作为支承玻璃GS的厚度而优选为300~1100 μ m。
[0041]通过层叠玻璃薄膜GF与支承玻璃GS，当制作玻璃薄膜层叠体S (以下，仅称作层叠体S)时，在玻璃薄膜GF与支承玻璃GS之间产生适度的密接力。该密接力被假定为基于氢键而产生的。由此，原本应作为层叠体S的不同构成要素的玻璃薄膜GF与支承玻璃GS形成为厚度较大的一片板状玻璃(一体构件)。在此，在本实施方式中使用的层叠体S的厚度为700 μ m(玻璃薄膜GF:200 μ m，支承玻璃GS:500 μ m)，但并不局限于此，可以使用300~1300 μ m的层叠体。
[0042]图2是表示在本发明的第一实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中使用的玻璃薄膜的切割装置I (以下，仅称为切割装置I)的立体图。切割装置I具备:支承层叠体S且在水平面上移动的未图示的加工台；向支承于加工台的层叠体S的玻璃薄膜GF照射激光9的激光照射装置2 ;追随于激光9而向玻璃薄膜GF喷射制冷剂10的制冷剂喷射喷嘴3。
[0043]加工台能够沿着图2所示的X方向和与X方向正交的Y方向而在水平面上移动。
[0044]激光照射装置2固定于定点,加工台伴随着沿着X方向、Y方向移动而沿着玻璃薄膜GF的第一切割预定线4和与第一切割预定线4正交的第二切割预定线5呈点状地照射激光9，由此加热玻璃薄膜GF而生成加热部6。
[0045]制冷剂喷射喷嘴3与激光照射装置2相同地固定于定点，追随着激光9而将制冷剂10向加热部6喷射，由此冷却加热部6的一部分而在玻璃薄膜GF生成冷却部7。
[0046]以下，对使用了上述切割装置I的玻璃薄膜的切割方法进行说明。
[0047]首先，如图3a所示，使未图示的加工台沿着X方向移动。然后，利用缘于在沿着玻璃薄膜GF的面的方向上生成的加热部6与冷却部7之间的温度差而进行作用的热应力，使用金刚石刀具等而使刻于玻璃薄膜GF的端部的初期裂缝8进展。然后，通过沿着第一切割预定线4而连续地形成切割部11，进行第一方向上的玻璃薄膜GF的整体切割工序。
[0048]在该情况下，在第一切割预定线4的终端部E处，由于在第一切割预定线4的延长线上不存在玻璃薄膜GF，因此在沿着玻璃薄膜GF的面的方向上仅生成冷却部7，而不生成由双点划线表示的加热部6。
[0049]然而，通过层叠玻璃薄膜GF与支承玻璃GS而使厚度的大小得以充分确保，并且通过玻璃薄膜GF与支承玻璃GS形成为厚度较大的一片板状玻璃(一体构件)，从而如图3b所示，加热部6与冷却部7这两者能够在层叠体S的厚度方向上容易地生成。其结果是，利用缘于加热部6与冷却部7之间的温度差而进行作用的热应力，能够使形成于玻璃薄膜GF的切割部11沿着图3b所示的D方向进展，因此在终端部E也能够顺利地进行玻璃薄膜GF的切割。
[0050]如上述那样，当第一方向上的玻璃薄膜GF的整体切割工序结束时，如图4a所示，使未图示的加工台沿着Y方向移动，沿着第二切割预定线5而连续地形成切割部12，由此进行第二方向上的玻璃薄膜GF的整体切割工序。
[0051]该情况下，一直以来，为了进行第二方向上的整体切割工序，需要在第一方向上的整体切割工序时切割好的各玻璃薄膜GF的端部与第二切割预定线5之间的交点逐一地刻有初期裂缝8。
[0052]然而，根据本实施方式所涉及的方法判明:只要在上述交点中的、仅在位于第二切割预定线5的最始端侧的交点刻有初期裂缝8，便能够进行第二方向上的整体切割工序，从制造效率的观点出发非常有利。该优选的方式被假定为通过以下那样的理由而获得。
[0053]即，通过玻璃薄膜GF与支承玻璃GS之间的密接力，而使层叠的玻璃薄膜GF与支承玻璃GS难以错动。因此，在由第一方向上的整体切割工序形成的玻璃薄膜的切割部11中，在切割了的玻璃薄膜GF彼此的对置的切割面间形成的间隙变小为被看作是基本不存在的程度。由此，如图4b所示，假定为这是为了能够横跨该间隙而使切割部12进展。其结果是，在第二方向上的整体切割工序中也能够顺利地切割玻璃薄膜。
[0054]另外，根据以上那样的方法，由于在层叠玻璃薄膜GF与支承玻璃GS并使其密接时无需使用粘合剂等，因此还能够防止玻璃薄膜GF中的与支承玻璃GS接触一侧的面被污染。此外，由于玻璃薄膜GF与支承玻璃GS并不是以原子等级稳固地结合，因此能够避免切割部 11、12不仅进展至玻璃薄膜GF，还进展至支承玻璃GS的情况。因此，在整体切割工序中，能够防止在支承玻璃GS产生伤痕，由此能够再利用支承玻璃GS。其结果是，该方法从制造成本的观点出发非常有利。
[0055]此外，如上述那样，在使完成了整体切割工序的玻璃薄膜GF彼此相互分离的情况下，由于玻璃薄膜GF被顺利地切割，因此能够良好地进行玻璃薄膜的切割。
[0056]需要说明的是，在上述的整体切割工序中，优选将层叠的玻璃薄膜GF与支承玻璃GS各自之中接触一侧的面的温度设为低于250°C。当这些温度上升至250°C以上时，在整体切割工序结束之后，变得难以将玻璃薄膜GF从支承玻璃GS剥离。这被假定为是由于，伴随着两玻璃中的接触一侧的面的温度上升，使玻璃薄膜GF与支承玻璃GS密接的力的来源从氢键向产生更为强力的密接力的共价键变化。
[0057]图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的层叠体制作工序的立体图。该第二实施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的层叠体制作工序与上述第一实施方式的不同之处在于，支承玻璃GS以沿着第一切割预定线4、及第二切割预定线5延伸的方式排列。
[0058]支承玻璃GS由在沿着第一切割预定线4的方向上延伸的两根较长的支承玻璃GS、和在沿着第二切割预定线5的方向上延伸的六根较短的支承玻璃GS构成。较短的支承玻璃GS的两端部或单侧端部与较长的支承玻璃GS抵接，并且夹着较长的支承玻璃GS而在与较长的支承玻璃GS正交的方向上排列。
[0059]即便如上述那样将玻璃薄膜GF与支承玻璃GS层叠，与上述第一实施方式相同地，也能够顺利地进行玻璃薄膜GF的整体切割。另外，如此一来，通过使玻璃薄膜GF与支承玻璃GS之间的接触面的面积变窄，与使两玻璃GF、GS在整面的范围内接触而进行层叠的情况相比，能够在层叠体制作工序中避免玻璃薄膜GF局部地从支承玻璃GS浮起并产生皱褶这样的情况。因此，能够减小出自于该浮起而在玻璃薄膜GF产生变形的可能性。
[0060]另外，在完成了整体切割工序之后，在将玻璃薄膜GF从支承玻璃GS剥离的情况下，变得容易剥离玻璃薄膜GF。此外，在将玻璃薄膜GF从支承玻璃GS剥离之后，在进行支承玻璃GS的清洗、干燥或检查异物的残留的有无的情况下，能够减少这些操作所需要的时间、劳力。
[0061]在此，本发明所涉及的玻璃薄膜的切割方法并不局限于上述的各实施方式。例如，在上述的各实施方式中，玻璃薄膜GF与支承玻璃GS都为无碱玻璃，但也可以使用碱石灰玻璃等各个种类的玻璃。然而，从强度、耐久性的观点出发，最优选采用无碱玻璃。另外，玻璃薄膜GF与支承玻璃GS也可以是不同种类的玻璃。
[0062]此外，支承玻璃薄膜GF的支承玻璃GS的端部整周上也可以从玻璃薄膜GF的端部整周上向第一方向及第二方向伸出。另外，在上述的第二实施方式中，支承玻璃GS由较长的支承玻璃GS与较短的支承玻璃构成，但也可以将这些较长的支承玻璃GS与较短的支承玻璃形成为一体而用作支承玻璃GS。
[0063]此外，在上述的各实施方式中，通过将激光照射装置2及制冷剂喷射喷嘴3固定于定点并使层叠体S移动，从而在玻璃薄膜GF生成加热部6与冷却部7，但也可以通过固定层叠体S而使激光照射装置2及制冷剂喷射喷嘴3移动，从而在玻璃薄膜GF生成加热部6与冷却部7。
[0064]实施例
[0065]作为本发明的实施例，在下述所示的条件(实施例7个，比较例4个)之下尝试利用激光切割法来进行玻璃薄膜的第一方向上的整体切割和与第一方向正交的第二方向上的整体切割(以下，称作交错切割)，并调查各条件下的交错切割的成功与否。
[0066]使用的玻璃薄膜及支承玻璃是日本电气硝子株式会社制的无碱玻璃(产品名:OA-10G) ο其尺寸为纵向:300_、横向:300mm,厚度分别如下述的表1那样。当未研磨地使用利用溢流下拉法而成形的玻璃、或对利用溢流下拉法而成形的玻璃进行研磨及化学蚀刻时，通过调整蚀刻液的浓度、液温、处理时间来控制玻璃薄膜的表面粗糙度Ra。
[0067]表面粗糙度Ra的测定使用SII公司制扫描式探测显微镜(NanoNaviIl/S-1mage)，且在扫描区域:2000nm、扫描频率:0.95Hz、扫描数据数X(第一方向):256、Y(第二方向):256的条件下进行测定。然后，在支承玻璃与玻璃薄膜各自之中，在中央部一点与角部一点合计两点处测定表面粗糙度Ra，并将其平均值设为表面粗糙度Ra。
[0068]玻璃薄膜与支承玻璃在无尘室内清洗、干燥，使用东丽工程公司制(HS-830)对这些分别接触一侧的面进行检查，存在于玻璃上的尺寸为I μ m以上的异物的数量达到500个M2以下。并且，在检查后层叠玻璃薄膜与支承玻璃，并以下述的表1的组合制作玻璃薄膜层叠体。
[0069]当进行玻璃薄膜的整体切割时，首先，使玻璃薄膜层叠体吸附于切割用的常盘(常盤)。然后，使用三星金刚石公司制的烧结金刚石制划线轮(直径:2.5mm，刃的厚度:
0.65mm， 刃尖角度:100° )并以0.05MPa的按压压力对玻璃薄膜的端部进行划线，由此刻有初期裂缝。
[0070]向玻璃薄膜照射的激光是，使用光学透镜将相干公司制的二氧化碳气体激光设为沿着切割预定线的方向成为长径的椭圆形的光束。另外，激光的输出为160W,以400mm/sec的速度沿着切割预定线照射，由此进行了玻璃薄膜层叠体的加热。然后，通过追随于激光而喷出喷射压力:0.4MPa、喷射量:2CC/min的水来进行冷却，利用缘于加热部与冷却部之间的温度差而进行作用的热应力使初期裂缝(切割部)进展。
[0071]如以上那样，尝试在第一方向及第二方向各自之中对纵向:300mm、横向:300mm的玻璃薄膜以10mm间隔实施整体切割，来进行交错切割。需要说明的是，在比较例4中不设置支承玻璃而尝试玻璃薄膜的交错切割。
[0072]另外，对交错切割成功的玻璃薄膜实施弯曲断裂试验。该弯曲断裂试验如图6所示，将交错切割好的玻璃薄膜GF依次由两片板状体22夹住且以使其呈U字状地产生弯曲的方式逐渐压弯，根据所谓两点弯曲来评价强度。基于因压弯而破坏时的两片板状体22的间隔Z来计算弯曲断裂应力，由此进行该评价。
[0073]表1表示在各个条件下的交错切割的成功与否、及弯曲断裂应力的值。
[0074][表 I]
[0075]
【权利要求】
1.一种玻璃薄膜的切割方法，该方法具有整体切割工序，在该整体切割工序中，通过对于厚度为200 μ m以下的玻璃薄膜进行基于激光的加热及追随于该加热的冷却，使初期裂缝沿着切割预定线进展，从而对所述玻璃薄膜进行整体切割， 所述玻璃薄膜的切割方法的特征在于， 具有层叠体制作工序，在该层叠体制作工序中，将所述玻璃薄膜及支承该玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接触的一侧的表面的表面粗糙度Ra设为2.0nm以下，通过使该两表面面接触来制作玻璃薄膜层叠体， 在所述层叠体制作工序的执行后，执行所述整体切割工序。
2.根据权利要求1所述的玻璃薄膜的切割方法，其特征在于， 所述支承玻璃以沿着所述切割预定线延伸的方式排列。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃薄膜的切割方法，其特征在于， 所述切割预定线包括:沿着所述玻璃薄膜的第一方向延伸的第一切割预定线；以及沿着与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二切割预定线。
4.一种玻璃薄膜层叠体,其特征在于， 厚度为200 μ m以下的玻璃薄膜与支承该玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接触的一侧的表面的表面粗糙度Ra为2.0nm以下，且使该两表面面接触而层叠，并且， 所述玻璃薄膜通过基于激光的加热及追随于该加热的冷却而使初期裂缝进展，由此被整体切割。
【文档编号】C03C27/06GK104039719SQ201380004902
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2013年4月3日 优先权日:2012年4月5日
【发明者】松本保弘, 八木直彦 申请人:日本电气硝子株式会社