硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统与流程

文档序号:18467267发布日期:2019-08-17 02:42阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请公开一种硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统,该硅棒多线切割设备包括工作台、硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的硅棒在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换,利用线切割装置中的至少一第一线切割单元对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割以及利用线切割装置中的至少一第二线切割单元对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割,如此,可实现硅棒的快速且便捷地转换,能一并完成硅棒的开方切割和倒角切割,提高了硅棒的切割作业效率。

技术研发人员:卢建伟;潘雪明
受保护的技术使用者:浙江集英精密机器有限公司
技术研发日:2018.02.09
技术公布日:2019.08.16
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