一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蓝宝石专用切割设备技术领域，特别涉及一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机。
【背景技术】
[0002]蓝宝石单晶体的莫氏硬度为9，其硬度仅次于金刚石，所以长期以来多是用镀有金刚石颗粒的圆盘锯片来进行切割。为了得到较好的表面质量，蓝宝石单晶体也采用镀有金刚石颗粒的内圆式刀片和线锯来切割。同时圆盘锯片的厚度最薄的也在Imm以上，加工时蓝宝石单晶体材料浪费严重。而金刚石线锯的锯缝仅为0.2-0.4_，所以采用金刚石线锯能够减少原材料浪费。
[0003]在用蓝宝石晶圆制作方形晶体块时，需要使用开方机对其进行开方处理，现有技术所公开的开方机存在以下缺陷:
[0004]1、因为蓝宝石单晶体的硬度高，即使使用金刚石线来对其进行切割，切割效率也还是很低下，特别是在金刚石线所切割的工件截面较大时，工件单位面积上所受到的压力小，切割效率尤为低下，而目前现有技术所公开的开方机为不摇摆方式。
[0005]2、现有技术所公开的开方机是采用分为上下二层十字交叉的线网布置，二层的线网之间的间隔一般在50mm左右，下层的线网先接触到工件进行切割，而上层的线网处于空转状态，同理，当下层的线网切穿工件后，上层的线网还在切割，而下层的线网处于空转状态，由于蓝宝石切割较慢，大大浪费了切割时间。
[0006]3、切割机头布线不方便，无法布置很小的线网间隔，一般金刚石线之间的间隔均在50mm以上,无法开方切割小于50mm以下的方块。
【发明内容】
[0007]为解决上述技术问题，本发明提供了一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机，以达到提升开方的切割效率，减少金刚石线在切割过程中的断线现象，并使切割机头布线更为方便的目的。
[0008]为达到上述目的，本发明的技术方案如下:
[0009]一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机，包括机架，还包括放线机构、收线机构、相互成90度或180度夹角设置的两个切割机头、切割机头升降机构和回转工作台。
[0010]所述放线机构和所述收线机构分别位于所述机架的两端。
[0011]两个所述切割机头位于所述机架的中部。
[0012]所述回转工作台的回转角度为90度或180度或270度或360度，所述回转工作台包括第一工作台和第二工作台，所述第一工作台和所述第二工作台分别位于两个所述切割机头下方。
[0013]所述切割机头包括与所述切割机头升降机构连接的滑板，还包括摇摆机架，所述摇摆机架上设有圆弧线轨和位于所述圆弧线轨圆心处的摆动轴，所述摇摆机架通过所述圆弧线轨和所述摆动轴与所述滑板连接，所述滑板上同轴设置有伺服电机、第一减速器和齿轮，所述摇摆机架上还设有与所述齿轮的齿纹相啮合的弧形齿条。
[0014]所述摇摆机架下部关于所述摆动轴对称设有两组切割组件，所述摇摆机架上部设有绕线组件。
[0015]优选的，所述切割组件包括切割滚轮和滚轮驱动电机，所述切割滚轮和所述滚轮驱动电机之间通过带轮和皮带传动。
[0016]优选的，所述绕线组件包括两组分别设置在两个所述切割组件上方的平行导轮组，所述平行导轮组的轴线与所述切割滚轮的轴线平行。
[0017]优选的，所述切割机头升降机构包括从上至下依次设置的升降电机、第二减速器和丝杆。
[0018]优选的，两个所述切割机头之间设置有过渡导轮组和张力调节机构。控制两个切割机头之间出线端和进线端的张力，保证两个切割机头的切割效率相同，同时有效的降低了断线机率。
[0019]通过上述技术方案，本发明提供的一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机的切割机头在切割过程中可以小幅摇摆，在摆动过程中金刚石线所切割的工件截面相对于固定不动时大大的减小，从而提高了单位面积的下压力，提升了切割效率；采用了切割机头在上工件在下的切割方式，方便工件装夹，加工时金刚石线从上往下进给；切割机头采用敞开式布线，布线方便，且切割机头布线可以布置很小的线网间隔，金刚石线之间的最小间隔可以达到25mm，可以开方切割最小为25X25mm的方块；两边的线网同时接触到工件实施切割，无空转等待时间，缩短了切割时间。
【附图说明】
[0020]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0021]图1为本发明实施例所公开的一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机的整机结构示意图；
[0022]图2为本发明切割机头的结构示意图；
[0023]图3为滑板与摇摆机架连接处的局部爆炸示意图；
[0024]图4为本发明切割组件的结构示意图。
[0025]图中数字所表示的相应部件名称:
[0026]1、机架2、放线机构3、收线机构4、切割机头升降机构4-1、升降电机4-2、第二减速器4-3、丝杆5、回转工作台5-1、第一工作台5-2、第二工作台6、切割机头6_1、滑板6_2、摇摆机架6-3、圆弧线轨6-4、摆动轴6-5、伺服电机6-6、第一减速器6_7、齿轮6_8、弧形齿条6-9、切割组件6-9-1、切割滚轮6-9-2、滚轮驱动电机6_10、绕线组件7、过渡导轮组8、张力调节机构。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028]实施例1
[0029]根据图1，本发明提供了一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机，包括机架(1)，还包括放线机构(2)、收线机构(3)、相互成90度夹角设置的两个切割机头(6)、切割机头升降机构(4)和回转工作台(5)。
[0030]放线机构和收线机构分别位于机架的左右两端。
[0031 ] 两个切割机头位于机架的中部。
[0032]回转工作台的回转角度为90度或180度或270度或360度，回转工作台包括第一工作台(5-1)和第二工作台(5-2)，第一工作台和第二工作台分别位于两个切割机头下方。
[0033]切割机头的切割中心位于回转工作台的圆盘分度头圆心所在的圆