一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置的制造方法

文档序号:9109216阅读:606来源:国知局
一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及领域,具体涉及一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置。
【背景技术】
[0002]金刚石线切割机,是利用金刚石纱线上下往复、旋转运动对半导体材料进行切割的设备。
[0003]现有技术中,金刚石纱线切割机主要分为往复式和单向循环式两种。无论哪种机床,其运丝机构一般都为固定形式,金刚石线通过纱线轮与纱线滚筒等机构形成循环之后,其空间位置就无法再改变,因此其切割方式比较单一,通常只能进行单向直线切割。
[0004]如何设计出一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置,对切割线的位置与角度进行调节,成为我们急需解决的技术问题。

【发明内容】

[0005]本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足,而提供一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置。
[0006]本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的,一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置,包括墙板Ia以及固定在墙板Ia上的丝杆座lb,丝杆座Ib中设有滑座槽lc,滑座槽Ic中设有滑座ld,滑座Id与丝杆座Ib之间设有X轴丝杆le、Z轴丝杆If,所述墙板Ia上固定有两个电机lg,两个电机Ig分别与X轴丝杆le、Z轴丝杆If的端部固定,滑座Ib下固定有第一丝架li,第一丝架Ii的两端分别固定有纱线轮lh,金刚石纱线L相切在第一丝架Ii两端的纱线轮Ih上。
[0007]所述墙板Ia上固定有位置检测器Ir,位置检测器Ir设在纱线轮Ih的下部,位置检测器Ir对应在金刚石纱线L沿着Y轴运行的位置。
[0008]所述墙板Ia下部固定有第二丝架lj,第二丝架Ij的两端分别固定有纱线轮lh,第二丝架Ij的左部固定有纱线滚筒lp,金刚石纱线L沿着纱线滚筒Ip下边缘与第二丝架Ij右端的纱线轮Ih下边缘相切。
[0009]所述第二丝架Ij与纱线滚筒Ip之间空隙处设有一个纱线轮lh,该纱线轮Ih固定在墙板Ia上,该纱线轮Ih的下边缘与纱线滚筒Ip下边缘以及第二丝架Ij右端的纱线轮Ih下边缘在一条直线上。
[0010]所述第二丝架Ij的两端分别固定有纱线轮lh,第二丝架Ij右端的纱线轮Ih直径大于第二丝架Ij左端的纱线轮Ih直径。
[0011]所述第一丝架Ii的左部固定有张力器lm,张力器Im可伸缩的固定在墙板Ia上,张力器Im的端部设有一个纱线轮lh,金刚石纱线L与张力器Im上的纱线轮Ih的外侧边缘相切。
[0012]所述第一丝架Ii的左部铰接有第三丝架lk,第三丝架Ik上端与第一丝架Ii的左端部铰接,第三丝架Ik下端铰接有第二丝架lj,第二丝架Ij的左端部与第三丝架Ik的下端奴接。
[0013]所述第一丝架Ii的两端分别固定有纱线轮lh,第一丝架Ii右端的纱线轮Ih直径大于第一丝架Ii左端的纱线轮Ih直径。
[0014]所述墙板Ia中共设有6个纱线轮lh,金刚石纱线L呈凹形状缠绕在6个纱线轮Ih上。
[0015]所述第一丝架I i下固定有导轮座11。
[0016]本实用新型至少具有调节切割线的位置与角度的效果。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型的结构示意图;
[0018]图中,墙板la、丝杆座lb、滑座槽lc、滑座ld、X轴丝杆le、Z轴丝杆If、电机lg、纱线轮lh、第一丝架l1、第二丝架lj、第三丝架lk、张力器lm、纱线滚筒lp、位置检测器Ir、导轮座11、切削台2、物料21 ;
[0019]L为金刚石纱线;0ΧΥΖ为空间直角坐标系;Χ为水平线,Y为竖向垂直水平线,Z为纵向垂直水平线。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合附图对本实用新型作详细的介绍:如图1中所示,本实用新型所述的一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置,包括墙板Ia以及固定在墙板Ia上的丝杆座lb,丝杆座Ib中设有滑座槽lc,滑座槽Ic中设有滑座ld,滑座Ib与丝杆座Ib之间设有X轴丝杆le、Z轴丝杆If,所述墙板Ia上固定有两个电机lg,两个电机Ig分别与X轴丝杆le、Z轴丝杆If的端部固定,滑座Ib下固定有第一丝架li,第一丝架Ii的两端分别固定有纱线轮lh,金刚石纱线L相切在第一丝架Ii两端的纱线轮Ih上;至少具有调节切割线的位置与角度的效果。
[0021]如图1中所示,一种金刚石砂线切割机的切削线调节装置,包括墙板Ia以及固定在墙板Ia上的丝杆座lb,丝杆座Ib中设有滑座槽lc,滑座槽Ic中设有滑座ld,滑座Ib与丝杆座Ib之间设有X轴丝杆le、Z轴丝杆If,X轴丝杆Ie固定在滑座Ib上,X轴丝杆Ie的旋转带动滑座Ib在X轴的方向进行左右滑动,Z轴丝杆Ie固定在滑座Ib上,Z轴丝杆If的旋转带动滑座Ib在Z轴的方向进行前后滑动,从而实现滑座Ib在滑座槽Ic中沿着OXZ平面进行调节,滑座Ib下固定有第一丝架li,金刚石纱线L穿过第一丝架li,对第一丝架Ii进行前后左右的调节,便可以调节,金刚石纱线L的前后左右的位置。
[0022]墙板Ia为总体支撑的固定结构,墙板Ia采用铸铁材料制作,墙板Ia是平面的结构体,将长方体形的丝杆座Ib垂直固定在墙板Ia的平面上,在丝杆座Ib中设有空心长方体形的滑座槽lc,滑座Ib是体积小于滑座槽Ic的长方体,滑座Ib与滑座槽Ic之间具有间隙,该间隙为滑座Ib在滑座槽Ic中的滑动空间,将该间隙扩大,即将滑座槽Ic的长方体扩大即可,X轴丝杆Ie与Z轴丝杆If固定在滑座Ib上,采用丝杆结构调节滑座Ib的位置较为精细,可以提高加工时的精度。
[0023]所述墙板Ia上固定有两个电机lg,两个电机Ig分别与X轴丝杆le、Z轴丝杆If的端部固定,两个电机Ig分别固定在墙板Ia上,电机Ig与墙板Ia固定并对X轴丝杆le、Z轴丝杆If上连接的滑座Ib进行调节,电机Ig的运行状态可以由中央处理器CPU进行控制,便于实现自动化控制。
[0024]滑座Ib下固定有第一丝架Ii,第一丝架Ii为长轴、也可以是空心轴有助于减缓金刚石纱线L的震动,该轴也可以是长度可调节的伸缩轴,通过第一丝架Ii的两端分别固定的纱线轮Ih对金刚石纱线L的轨迹进行控制,金刚石纱线L相切在第一丝架Ii两端的纱线轮Ih上,当第一丝架Ii的位置随着滑座Ib进行前后左右的运动时,金刚石纱线L也跟从第一丝架Ii两端的纱线轮Ih进行前后左右位置的调节;因为金刚石纱线L在第一丝架Ii右端的纱线轮Ih处向下转折延伸至切削台2的物料21上进行切削,当第一丝架Ii右端纱线轮Ih进行前后左右调节时,金刚石纱线L将沿着切削台2进行前后左右的调节,金刚石纱线L与物料21之间的切割角度也将随着金刚石纱线L位置的调节而改变。
[0025]所述墙板Ia上固定有位置检测器Ir,位置检测器Ir可以是光电传感器,当金刚石纱线L被第一丝架Ii带动时,光电传感器对金刚石纱线L相对墙体Ia的位置进行检测,光电传感器将接收的位置信号传输至中央处理器CPU中,通过中央处理器CPU的判断金刚石纱线L当前位置,从而使中央处理器CPU对X轴丝杆le、Z轴丝杆If上连接的两个电机Ig运行状态进行调节,实现位置检测器Ir反馈与电机Ig调节相互配合的自动化运行。
[0026]位置检测器Ir设在第一丝架Ii右端的纱线轮Ih下部,第一丝架Ii右端的纱线轮Ih下部为金刚石纱线L的转折点,位置检测器Ir对应在金刚石纱线L沿着Y轴运行的位置,使位置检测器Ir检测金刚石纱线L在OXZ平面的位置,该OXZ平面与滑座Ib运行的平面为平行面;位置检测器Ir检测的平面与滑座Ib运行的平面同时垂直于Y轴,即位置检测器Ir检测的平面与滑座Ib运行的平面同时垂直于金刚石纱线L,反馈与调节同步运行,金刚石纱线L发生偏差时会及时调节恢复,提高金刚石纱线L运行的精度。
[0027]所述墙板Ia下部固定有第二丝架lj,
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