一种多线切割机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及切割设备领域，尤其是一种多线切割机。
【背景技术】
[0002]多线切割是切割硅片非常有效的方法之一。多线切割机以其极高的生产效率和出片率，所切硅片具有弯曲度小、翘曲度小、平行度好、总厚度公差(TTV)离散性小、刃口切割损耗小、表面损伤层浅、硅片表面粗糙度小等特点；其切割材料涵盖各类半导体材料，如硅、锗、铌酸锂、砷化镓、磷化铟、人造宝石、碳化硅等，因此多线切割技术的应用也越来越广泛。
[0003]多线切割中必须使用一种具有流动性的混合研磨剂-切割砂浆(以下简称砂浆)。实际切割过程中，砂浆被往复运动的钢线带到切割区，被带入的砂浆决定硅片的切割质量；而钢线所带砂浆中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是决定切割材料成品片表面光洁程度和切割能力的关键。若碳化硅微粉的粒型规则，切出来的成品片表面光洁度就会很好；碳化硅微粉的粒度分布均匀，会提高切割机的切割能力。
[0004]现有的多线切割机，包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，所述第一砂浆管上设置有第一砂浆栗，所述切割箱体内设置有两根互相平行的线辊，线辊表面设置有多个环形线槽，金属线设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊绷紧，所述第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置，切割箱底部设置有砂浆收集口，砂浆收集口上连接有砂浆收集管，砂浆收集管的末端与砂浆桶相连，在切割时，砂浆桶内的砂浆在砂浆栗的作用下先进入热交换器中进行换热使其砂浆的温度达到一定的温度，然后砂浆沿第二砂浆管进入砂浆供给装置，砂浆供给装置将砂浆附着到金属线表面以便切割硅棒，切割硅棒后产生的废砂浆通过切割箱底部的砂浆收集孔沿砂浆收集孔流回砂浆桶以便再次利用，由于金属线在切割硅棒的过程中会产生大量的废砂浆，这些废砂浆中含有的杂质主要为切割硅棒时产生的硅粉颗粒，砂浆中含有的这些硅粉颗粒较多就会对严重影响切割硅片的质量，因此，必须保证砂浆桶内的硅粉含量不能超过一定的比例，目前，为了避免砂浆桶内的硅粉含量超标通常都是采用更换砂浆桶内砂浆的方法，具体的，现有的砂浆桶都是统一规格的，其内盛装的砂浆一般为270公斤，当多线切割机切割完一刀以后，产生的废砂浆被回收到砂浆桶内，此时，砂浆桶内硅粉的含量已达到临界线，为此利用砂浆栗将砂浆桶内的砂浆抽走80公斤，然后再补入80公斤新的砂浆，便可以降低砂浆内硅粉的百分比含量，之后切割机再进行第二刀的切割，当多线切割机切割完第二刀以后，砂浆桶内的硅粉已严重超标无法再重复使用，此时就必须更换新的砂浆桶，再重复上述步骤，由此可以看出，现有的多线切割机切割两刀需消耗350公斤的砂浆，砂浆的消耗量巨大，导致硅片的切割成本较高，而且切割两刀后的废砂浆内还含有大量的可以利用的砂浆，但是由于现有的多线切割机没有相应的分离设备，无法分离砂浆中含有的硅粉杂质，因此，为了保证硅片的切割质量，只能将废砂浆排出，造成浪费。【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够降低硅片切割成本的多线切割机。
[0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该多线切割机，包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，所述第一砂浆管上设置有第一砂浆栗，所述切割箱体内设置有两根互相平行的线辊，线辊表面设置有多个环形线槽，金属线设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊绷紧，所述第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置，切割箱底部设置有砂浆收集口，砂浆收集口上连接有砂浆收集管，砂浆收集管的末端与砂浆桶相连，所述砂浆收集管与砂浆桶之间设置有至少一个用于分离砂浆和硅粉的旋流器，所述每个旋流器的进口与砂浆收集管通过第一分离管连通，所述每个旋流器的用于排出砂浆的出口与砂浆桶之间通过第二分离管连通，所述旋流器的用于排出硅粉的出口连接有第三分离管，第三分离管的末端连接有硅粉杂质收集桶。
[0007]进一步的是，所述砂浆桶上连接有砂浆补充管与砂浆排放管，所述砂浆补充管的末端连接有砂浆补充桶，所述砂浆补充管上设置有第二砂浆栗，砂浆排放管上设置有第三砂浆栗。
[0008]进一步的是，所述砂浆供给装置包括设置在两个线辊之间的盒体，所述盒体由底板和位于底板四周的侧板组成，所述盒体上连接有砂浆供给管，所述砂浆供给管的末端与第二砂浆管连通，所述盒体的左右两侧的侧板顶端分别设置有第一支撑辊、第二支撑辊，所述盒体上方设置有压辊，所述压辊和盒体分别位于上层金属线的上下两侧，所述第一支撑辊、第二支撑辊分别位于压辊的左右两侧，所述盒体长度方向与金属线的运动方向互相垂直且盒体的长度大于线辊的长度，所述金属线依次绕过第一支撑辊、压辊、第二支撑辊呈V形，所述金属线与压辊的接触点与底板之间的距离小于侧板的高度。
[0009]进一步的是，所述盒体内设置有微型搅拌器。
[0010]进一步的是，所述砂浆桶内设置有搅拌装置，所述搅拌装置包括设置在砂浆桶中央的旋转轴，所述旋转轴上设置有多个搅拌叶片。
[0011]进一步的是，所述金属线的直径为0.1mm。
[0012]进一步的是，所述金属线为钢线。
[0013]本实用新型的有益效果是:通过在砂浆收集管与砂浆桶之间设置至少一个用于分离砂浆和硅粉的旋流器，所述每个旋流器的进口与砂浆收集管通过第一分离管连通，所述每个旋流器的用于排出砂浆的出口与砂浆桶之间通过第二分离管连通，所述旋流器的用于排出硅粉的出口连接有第三分离管，第三分离管的末端连接有硅粉杂质收集桶，在多线切割机工作的整个过程中，切割完产生的砂浆废液先沿第一分离管进入旋流器内，由于砂浆和硅粉的比重不一样，因此在旋流器内砂浆和硅粉被分离，砂浆沿第二分离管重新回到砂浆桶内，分离出的硅粉沿第三分离管进入硅粉杂质收集桶内，这样整个砂浆桶就不会流入硅粉，砂浆便可以多次重复利用，只需适当的补充一些新的砂浆以补充消耗即可，砂浆的使用量大大减小，大大降低了硅片的切割成本。
【附图说明】
[0014]图1本实用新型多线切割机的结构示意图；
[0015]图2本图1的A局部放大图；
[0016]图中标记说明:切割箱体1、砂浆桶2、热交换器3、金属线4、第一砂浆管5、第二砂浆管6、第一砂浆栗7、线辊8、砂浆供给装置9、盒体901、底板9011、侧板9012、砂浆供给管902、第一支撑辊903、第二支撑辊904、压辊905、微型搅拌器906、砂浆收集口 10、砂浆收集管11、第一分离管12、旋流器13、第二分离管14、第三分离管15、硅粉杂质收集桶16、砂浆补充管17、砂浆排放管18、砂浆补充桶19、第二砂浆栗20、第三砂浆栗21、搅拌装置22、旋转轴2201、搅拌叶片2202。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型进一步说明。
[0018]如图1、2所示，该多线切割机，包括切割箱体1、砂浆桶2、热交换器3、金属线4，砂浆桶2与热交换器3的进口之间通过第一砂浆管5连通，热交换器3的出口连接有第二砂浆管6，所述第一砂浆管5上设置有第一砂浆栗7，所述切割箱体I内设置有两根互相平行的线辊8，线辊8表面设置有多个环形线槽，金属线4设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊8绷紧，所述第二砂浆管6的末端连接有用于将砂浆附着到金属线4表面的砂浆供给装置9，切割箱底部设置有砂浆收集口 10，砂浆收集口 10上连接有砂浆收集管11，砂浆收集管11的末端与砂浆桶2相连，所述砂浆收集管11与砂浆桶2之间设置有至少一个用于分离砂浆和硅粉的旋流器13，所述每个旋流器13的进口与砂浆收集管11通过第一分离管12连通，所述每个旋流器13的用于排出砂浆的出口与砂浆桶2之间通过第二分离管14连通，所述旋流器13的用于排出硅粉的出口连接有第三分离管15，第三分离管15的末端连接有硅粉杂质收集桶16。在切割时，砂浆桶2内的砂浆在第一砂浆栗7的作用下先进入热交换器3中进行换热使其砂浆的温度达到一定的温度，然后砂浆沿第二砂浆管6进入砂浆供给装置9，砂浆供给装置9将砂浆附着到金属线4表面以便切割硅棒，切割硅棒后产生的废砂浆通过切割箱底部的砂浆收集孔沿砂浆收集孔流回砂浆桶2以便再次利用，通过在砂浆收集管11与砂浆桶2之间设置有至少一个用于分离砂浆和硅粉的旋流器13，所述每个旋流器13的进口与砂浆收集管11通过第一分离管12连通，所述每个旋流器13的用于排出砂浆的出口与砂浆桶2之间通过第二分离管14连通，所述旋流器13的用于排出硅粉的出口连接有第三分离管15，第三分离管15的末端连接有硅粉杂质收集桶16，在多线切