一种半导体设备的真空密封门装置的制作方法

本发明涉及半导体真空设备，尤其涉及一种半导体设备的真空密封门装置。

背景技术：

半导体真空设备经常需要将设备内部腔体抽真空从而完成工艺过程，但是也并非一直处于真空状态，在工艺过程完成后，需要打开设备的密封门取出工艺样片，从而暴露真空腔体内部空间。目前，密封门大多为常规的铰链式结构，开关门过程对应的运动轨迹为圆弧状，不利于自动化控制。开关门方式通常都是待真空腔体充气回归至大气压后，人工手动打开，随后完成腔体内部工艺样片的取片工作。现有结构的半导体真空设备的密封门装置，采用多套气缸控制，结构相对复杂，成本较高。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种大大降低了成本、简化了结构、避免了真空门与真空腔体之间相对运动摩擦的半导体设备的真空密封门装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种半导体设备的真空密封门装置，包括真空腔体、真空门和升降压紧机构，所述升降压紧机构包括升降驱动、导向架和两个升降滑轨，两个升降滑轨分别固定在真空腔体的门口两侧的侧壁上，所述升降驱动设于真空腔体的下方，所述导向架包括两个导向板和连接座，所述两个导向板对称固定在连接座的两端，所述两个导向板分别滑设在对应的升降滑轨上，所述连接座设于升降驱动的驱动端，所述真空门两侧设有真空门连接板，各真空门连接板通过斜拉件与对应的导向板连接，且斜拉件的两端分别铰接在真空门连接板和导向板上，所述真空门连接板与导向板之间还设有拉力弹簧，所述拉力弹簧的上端与导向板连接，下端与真空门连接板连接。

作为上述技术方案的进一步改进，所述斜拉件的两端分别设为斜拉第一端和斜拉第二端，所述斜拉第一端在真空门连接板上，斜拉第二端在导向板上，所述真空门连接板上设有定位块，所述定位块位于斜拉件的下方用于防止斜拉第二端低于斜拉第一端。

作为上述技术方案的进一步改进，所述真空门连接板与真空腔体之间设有限定真空门上升的定位结构。

作为上述技术方案的进一步改进，所述定位结构包括定位轮和可与定位轮抵接的定位凸台，所述定位轮通过定位螺栓固定在真空门连接板的内侧，所述定位凸台设于真空腔体上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述升降滑轨上设有滑块，所述导向板固定在所述滑块上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述斜拉件为斜拉板，所述斜拉板一端通过销轴铰接在真空门连接板上，另一端通过销轴铰接在导向板上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述斜拉件设置多个，多个斜拉件之间相互平行。

作为上述技术方案的进一步改进，所述升降驱动为升降气缸。

作为上述技术方案的进一步改进，所述导向板和真空门连接板上设有弹簧螺栓，所述拉力弹簧两端穿设在各弹簧螺栓上。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明半导体设备的真空密封门装置，通过拉力弹簧和斜拉件的作用，实现真空门升降同时改变真空门与真空腔体密封面的贴合或脱离，仅通过一个升降驱动即可实现真空门的打开与密封，大大降低了成本，简化了结构，在开门过程中，通过斜拉杆推动真空门与真空腔体门口密封面分离，避免了真空门与真空腔体之间的相对运动摩擦。该结构可以将导向架设置在真空腔体的侧面，不需要设置在真空腔体门口的前面，布局合理，整体结构紧凑，不会与真空门一侧的其他零部件产生干涉。

附图说明

图1是本发明半导体设备的真空密封门装置的立体结构示意图。

图2是本发明中真空门与升降压紧机构的结构的示意图。

图3是图2的p处放大图。

图4是本发明中真空门关闭时的状态示意图。

图5是本发明中真空门打开时的状态示意图。

图中各标号表示：

1、真空腔体；2、真空门；21、真空门连接板；3、升降驱动；4、导向架；41、导向板；42、连接座；5、升降滑轨；51、滑块；6、斜拉件；61、斜拉第一端；62、斜拉第二端；63、销轴；7、拉力弹簧；71、弹簧螺栓；8、定位块；9、定位轮；91、定位螺栓。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1至图3所示，本实施例的半导体设备的真空密封门装置，包括真空腔体1、真空门2和升降压紧机构，升降压紧机构包括升降驱动3、导向架4和两个升降滑轨5，两个升降滑轨5分别固定在真空腔体1的门口两侧的侧壁上，升降驱动3设于真空腔体1的下方，导向架4包括两个导向板41和连接座42，两个导向板41对称固定在连接座42的两端，两个导向板41分别滑设在对应的升降滑轨5上，连接座42设于升降驱动3的驱动端，真空门2两侧设有真空门连接板21，各真空门连接板21通过斜拉件6与对应的导向板41连接，且斜拉件6的两端分别铰接在真空门连接板21和导向板41上，真空门连接板21与导向板41之间还设有拉力弹簧7，拉力弹簧7的上端与导向板41连接，下端与真空门连接板21连接。

本实施例中，设真空腔体1的门口(图中未示出)设置在前侧面(图1中面a为前侧面，面d为后侧面，面b和c为左右侧面)上，真空门2用于密封真空腔体1的门口。升降驱动3设置在门口的下方。两个升降滑轨5设置在真空腔体1左侧面和右侧面上，两个导向板41也对应设置在真空腔体1左侧面和右侧面上。拉力弹簧7给真空门连接板21一个向上的拉力，使得真空门连接板21上的斜拉件6初始位置能够保持水平。斜拉件6的两端分别设为斜拉第一端61和斜拉第二端62，斜拉第一端61在真空门连接板21上，斜拉第二端62在导向板41上。

工作原理：

1)关门

初始状态真空门2在门口的下方，斜拉件6保持水平，此时真空门与导向板41之间的间距最大。启动升降驱动3，升降驱动3驱动导向架4沿升降滑轨5上升，导向架4带着真空门连接板21上升，进而带着真空门2上升接近门口，此过程斜拉件6一致处于水平，当真空门2到达门口的指定位置，真空门2阻挡停止上升，而导向板41依然可以上升，拉力弹簧7的拉力增大。真空门2停止上升之后真空门连接板21也停止上升，导向板41上升，使得斜拉件6发生向上倾斜(斜拉第二端62随导向板41上升，斜拉第一端61位置不变)，斜拉件6倾斜时会拉动真空门2，向真空腔体1靠紧，实现真空门2与真空腔体1之间的密封，此时真空门2与真空腔体1之间间距最小，如图4所示。

2)开门

启动升降驱动3，升降驱动3驱动导向架4下降，导向板41下降，由于导向板41与真空门连接板21之间有拉力弹簧7的拉力的存在(真空门还处于夹紧状态)，真空门连接板21位置保持不变，真空门2的位置也保持不变，随着导向板41继续下降，斜拉件6的斜拉第二端62下降，斜拉件6趋近水平，此时斜拉件6与真空门2的间距增大，推动真空门2脱离门口的密封面，之后导向板41在带着真空门2一起下降，实现开门，如图5所示。由于拉力弹簧7的作用，斜拉件6的斜拉第一端61不会低于斜拉第二端62。

该真空密封门装置，通过拉力弹簧7和斜拉件6的作用，实现真空门升降同时改变真空门与真空腔体密封面的贴合或脱离，仅通过一个升降驱动3即可实现真空门的打开与密封，大大降低了成本，简化了结构，在开门过程中，通过斜拉件6推动真空门2与真空腔体1门口密封面分离，避免了真空门2与真空腔体1之间的相对运动摩擦。该结构可以将导向板41设置在真空腔体1的侧面，不需要设置在真空腔体1门口的前面，布局合理，整体结构紧凑，不会与真空门2(前侧)一侧的其他零部件产生干涉。如果没有拉力弹簧7，真空门连接板21在重力作用下下降，斜拉件6的第一端会低于第二端。

本实施例中，真空门连接板21上设有定位块8，定位块8位于斜拉件6的下方用于防止斜拉第二端62低于斜拉第一端61。斜拉件6只有两个状态，水平状态和斜向上状态(斜拉第二端62朝上)。尽管拉力弹簧7能够给予真空门连接板21足够的拉力使斜拉件6维持水平状态，但是为了保证稳定性，在斜拉件6的下方一定位置设置定位块8。当真空门2从关闭的状态到打开的状态时，导向板41下降，斜拉第二端62下降，至斜拉件6水平位置时，斜拉第二端62被定位块8阻挡无法继续下降，此时真空门2与门口密封面脱离，斜拉件6水平支撑在定位块8上，此时，斜拉件6、其一端的真空门2、另一端的导向板41，三者维持一个平衡一起随着导向板41下降。

本实施例中，真空门连接板21与真空腔体1之间设有限定真空门2上升的定位结构。优选的定位结构包括定位轮9和可与定位轮9抵接的定位凸台，定位轮9通过定位螺栓91固定在真空门连接板21的内侧，定位凸台(图中未示出)设于真空腔体1上。当真空门2上升到指定位置后，与定位凸台碰触，阻止真空门2再往上运动。

本实施例中，升降驱动3优选为升降气缸。

本实施例中，斜拉件6为斜拉板，斜拉板一端通过销轴63铰接在真空门连接板21上，另一端通过销轴63铰接在导向板41上。升降滑轨5上设有滑块51，导向板41固定在滑块51上。

本实施例中，导向板41和真空门连接板21上设有弹簧螺栓71，拉力弹簧7两端穿在各弹簧螺栓71上。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。