专利名称：传送手臂的制作方法
技术领域：
传送手臂所属駄领域本实用新型涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安 全传躯载带魏曲变型的晶片的机械传送手臂。 背景駄目前，半导体设备的传送机器人上安装的传送手臂有用真空吸附式的，但 制品在制作过程中有时会发生翘曲，翘曲有时为上，有时向下，不固定。这时， 普通的传送手臂在传送过程中，由于制品的翘曲，手臂不能完全吸住制品，制 品会造成位置偏移造成不良品，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。 实用新型内容为了克服现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲变型的晶片的不足，本 实用新型提供一种新型的传送手臂，这种手臂不仅可以传送标准的晶圆，也可 以紧紧的吸附住带鄉曲变型的晶片，使之在传送过程中不会发生偏移和掉片。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种传送手臂，在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与 吸盘相通的真空通道。所述传送手臂本体为双叉形结构。戶脱吸盘在传送手臂本体上均布，与其传送的晶片相对应。 本实用新型的有益效果是-1、 本实用新型在手臂与晶片真空吸附处安,软的微型吸盘，吸盘的最上 表面要保持在一个平面上，且与手臂的基面保持平行。2、 无论机器人传送的晶片是不是有翘曲变型，本实用新型都可以安^载 传送，不掉片，结构简单。
图1是本实用新型结构示意图。图中，1、传送手臂本体；2、真空通道；3、吸盘。具敝施力式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。如图1所示，本实用新型传送手臂，在传送手臂本体1上设有吸盘3，在传 送手臂本体1内部设有与吸盘3相通的真空通道2，传送手臂本体1为双叉形结 构，吸盘3在传送手臂本体1上均布，与所传送的晶片相对应。本实用新型吸 盘的材料可以为硅橡胶。当为没有变形的标准晶片装载传送时，晶片底面和吸盘3完全吸附上，和 普通传送手臂相同；当带有翘曲变型的晶片装载时，由于重力的作用，吸盘3 会随着晶片翘曲变型的方向发生变型，使吸盘的上圈完全和变型的晶片重合。 当真空通过传送手臂内部的真空通道2开启后，由于变型的吸盘3和变型晶片 完^^寸闭形成负压就会和传送手臂本体1牢牢吸附在一起，即使在急速运行中 也不会掉下，当运行到指定位置后，真空阀关闭，卸载晶片。
权利要求1、一种传送手臂，其特征在于在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。
2、 按照权利要求1所述的传送手臂，其特征在于传送手臂本体为双叉形 结构。
3、 按照权利要求1戶脱的传送手臂，其特征在于吸盘在传送手臂本体上 均布，与其传送的晶片相对应。
专利摘要本实用新型涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安全传送运载带有翘曲变型的晶片的机械传送手臂，在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。本实用新型可以解决现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲变型的晶片等问题，这种手臂不仅可以传送标准的晶圆，也可以紧紧的吸附住带有翘曲变型的晶片，使之在传送过程中不会发生偏移和掉片。
文档编号B25J15/06GK201102246SQ20072001594
公开日2008年8月20日 申请日期2007年11月16日 优先权日2007年11月16日
发明者王绍勇 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司