工业用机器人的制作方法

本发明涉及一种对指定的搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术：

以往，已知对液晶显示器用玻璃基板进行搬运的工业用机器人(例如参考专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有供玻璃基板装载的第一手以及第二手这两个手、固定有第一手的第一手支承部件、固定有第二手的第二手支承部件、保持第一手支承部件以及第二手支承部件的臂。第一手支承部件以及第二手支承部件以能够呈直线地沿水平方向的同一方向往返移动的方式保持于臂。从第一手支承部件以及第二手支承部件相对于臂的移动方向观察时，第一手与第二手在上下方向上重叠。

专利文献1：日本特开2015-80828号公报

技术实现要素：

近几年，在设置有对玻璃基板等搬运对象物进行搬运的工业用机器人的制造系统中，需要缩短生产节拍时间。因此，本发明的课题是提供一种能够缩短设置有工业用机器人的制造系统的生产节拍时间的工业用机器人。

为了解决上述的课题，本发明的工业用机器人的特征在于，其具有：多个手，其供搬运对象物个别地装载且配置在同一高度上；多个手支承部件，其分别固定有多个手；保持部件，其以多个手支承部件能够沿水平方向的同一方向呈直线地往返移动的方式保持多个手支承部件；以及多个手驱动机构，其使多个手支承部件分别相对于保持部件个别地往返移动。

本发明中的工业用机器人具有供搬运对象物个别地装载且配置在同一高度上的多个手。因此，在本发明中，通过多个手能够同时地搬出以同一高度容 纳的多个搬运对象物，且通过多个手能够同时地搬入以同一高度容纳的多个搬运对象物。因此，在本发明中，能够缩短设置有工业用机器人的制造系统的生产节拍时间。另一方面，例如，在搬出或搬入搬运对象物时，若使所有手同时地往返移动，则存在如下隐患：多个手中的几个手与构成制造系统的制造装置或容纳搬运对象物的存储盒等接触。由于本发明的工业用机器人具有使多个手支承部件分别相对于保持部件个别地往返移动的多个手驱动机构，因此能够使在搬出或搬入搬运对象物时可能与制造装置等接触的手停止。因此，在本发明中，能够防止搬出或搬入搬运对象物时制造装置等与手接触，能够防止手等损伤。

在本发明中，将手支承部件相对于保持部件的移动方向作为第一方向，将水平方向中的与第一方向正交的方向作为第二方向，在工业用机器人中，例如手具有：第一手以及第二手，其从第一方向观察时以在第二方向上相邻的方式配置在同一高度上；第三手，其从第一方向观察时以在上下方向上与第一手重叠的方式配置在第一手的下侧；以及第四手，其从第一方向观察时以在上下方向上与第二手重叠的方式与第三手配置在同一高度上且配置在第二手的下侧，手支承部件具有：第一手支承部件，其固定有第一手；第二手支承部件，其固定有第二手；第三手支承部件，其固定有第三手；以及第四手支承部件，其固定有第四手，手驱动机构具有：第一手驱动机构，其使第一手支承部件往返移动；第二手驱动机构，其使第二手支承部件往返移动；第三手驱动机构，其使第三手支承部件往返移动；以及第四手驱动机构，其使第四手支承部件往返移动，保持部件具有：第一保持部件，其将第一手支承部件与第三手支承部件保持成能够往返移动；以及第二保持部件，其将第二手支承部件与第四手支承部件保持成能够往返移动。在该情况下，使用第一手和第二手，或使用第三手和第四手，能够同时地搬出以同一高度容纳的多个搬运对象物，且能够同时地搬入以同一高度容纳的多个搬运对象物。

在本发明中，优选手驱动机构具有：手驱动马达，其作为驱动源；运送机构，其具有螺纹轴以及螺母部件且沿第一方向运送手支承部件，螺纹轴以手驱动马达的动力旋转，螺母部件在内周侧形成有与形成于螺纹轴的外周面的外螺 纹卡合的内螺纹；以及手引导机构，其沿第一方向引导手支承部件，将第一手驱动机构的运送机构作为第一运送机构，将第一手驱动机构的手引导机构作为第一手引导机构，将第二手驱动机构的运送机构作为第二运送机构，将第二手驱动机构的手引导机构作为第二手引导机构，将第三手驱动机构的运送机构作为第三运送机构，将第三手驱动机构的手引导机构作为第三手引导机构，将第四手驱动机构的运送机构作为第四运送机构，将第四手驱动机构的手引导机构作为第四手引导机构，第一运送机构、第一手引导机构、第三运送机构以及第三手引导机构从第一方向观察时，配置在比四个手驱动马达靠第二方向的一侧的位置，第二运送机构、第二手引导机构、第四运送机构以及第四手引导机构从第一方向观察时，配置在比四个手驱动马达靠第二方向的另一侧的位置。

若如此构成，则能够确保具有可动部件的第一运送机构、第一手引导机构、第三运送机构以及第三手引导机构同具有可动部件的第二运送机构、第二手引导机构、第四运送机构以及第四手引导机构的第二方向的距离。因此，能够防止配置在比四个手驱动马达靠第二方向的一侧的位置的可动部件与配置在比四个手驱动马达靠第二方向的另一侧的位置的可动部件干涉。

在本发明中，优选将第一手驱动机构的手驱动马达作为第一手驱动马达，将第二手驱动机构的手驱动马达作为第二手驱动马达，将第三手驱动机构的手驱动马达作为第三手驱动马达，将第四手驱动机构的手驱动马达作为第四手驱动马达，第三手驱动马达与第一手驱动马达从第一方向观察时，以在上下方向上重叠的方式且从上侧按照该顺序配置在第三手的下侧，第四手驱动马达与第二手驱动马达从第一方向观察时，以在上下方向上重叠的方式且从上侧按照该顺序配置在第四手的下侧，第一运送机构以及第一手引导机构从第一方向观察时，以与第一手驱动马达在第二方向上相邻的方式配置，第二运送机构以及第二手引导机构从第一方向观察时，以与第二手驱动马达在第二方向上相邻的方式配置，第三运送机构以及第三手引导机构从第一方向观察时，以与第三手驱动马达在第二方向上相邻的方式配置，第四运送机构以及第四手引导机构从第一方向观察时，以与第四手驱动马达在第二方向上相邻的方式配置。

若如此构成，则与第一手驱动马达、第一运送机构以及第一手引导机构配 置在第三手驱动马达、第三运送机构以及第三手引导机构的上侧的情况相比，能够简化第一手支承部件以及第三手支承部件的结构。并且，若如此构成，则与第二手驱动马达、第二运送机构以及第二手引导机构配置在第四手驱动马达、第四运送机构以及第四手引导机构的上侧的情况相比，能够简化第二手支承部件以及第四手支承部件的结构。

在本发明中，优选工业用机器人具有变更第二方向的第一保持部件与第二保持部件的间距的手间距变更机构。在该情况下，优选手间距变更机构在工业用机器人对搬运对象物进行搬运的搬运动作中，变更第二方向的第一保持部件与第二保持部件的间距。若如此构成，则即使在以同一高度容纳于搬运源头的多个搬运对象物的第二方向的间距与以同一高度容纳于搬运目的地的多个搬运对象物的第二方向的间距不同的情况下，也能够在短时间内恰当地从搬运源头向搬运目的地搬运搬运对象物。

在本发明中，优选手间距变更机构具有：保持部件驱动马达，其作为驱动源；第一杆部件，其中心位置固定于保持部件驱动马达的输出轴；第二杆部件，其一端侧能够转动地连接于第一保持部件且其另一端侧能够转动地连接于第一杆部件的一端侧；第三杆部件，其一端侧能够转动地连接于第二保持部件且其另一端侧能够转动地连接于第一杆部件的另一端侧；第一保持部件引导机构，其沿第二方向引导第一保持部件；以及第二保持部件引导机构，其沿第二方向引导第二保持部件。若如此构成，则能够通过使用了三个杆部件的比较简易的结构变更第二方向的第一保持部件与第二保持部件的间距。

在本发明中，优选将手支承部件相对于保持部件的移动方向作为第一方向，将水平方向中的与第一方向正交的方向作为第二方向，手具有：两根叉，其以在第二方向上相邻的方式配置，且供搬运对象物装载；以及叉间距变更机构，其变更第二方向的两根叉的间距。若如此构成，则能够通过变更叉的间距搬运各种尺寸的搬运对象物。

在本发明中，优选叉间距变更机构具有：叉驱动马达，其带有减速机，并作为驱动源；螺纹部件，其具有形成有右旋螺纹的右旋螺纹部和形成有左旋螺纹的左旋螺纹部，且连接于叉驱动马达的输出轴；第一螺母部件，其固定于两 根叉中的一根且与右旋螺纹部卡合；第二螺母部件，其固定于两根叉中的另一根且与左旋螺纹部卡合；第一叉引导机构，其沿第二方向引导两根叉中的一根；以及第二叉引导机构，其沿第二方向引导两根叉中的另一根。若如此构成，则能够通过使用了一根螺纹部件的比较简易的结构变更第二方向的两根叉的间距。并且，若如此构成，则通过增大叉驱动马达的减速机的减速比，即使第二方向的外力作用于移动至指定位置的两根叉，两根叉也不从该位置移动。因此，通过增大叉驱动马达的减速机的减速比，即使不设置特别的固定机构，也能够将移动至指定位置的两根叉固定在该位置。

如上所述，在本发明中，能够缩短设置有工业用机器人的制造系统的生产节拍时间。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的主视图。

图2是从图1的E-E方向示出工业用机器人的侧视图。

图3是从图2的F-F方向示出工业用机器人的俯视图。

图4是用于说明图1所示的臂以及臂支承部件的内部的结构的图。

图5是示出第一臂与第二臂的间距从图4所示的状态扩展时的状态的图。

图6是用于从图4的G-G方向说明手间距变更机构的结构的图。

图7是用于说明图1所示的手的基部的内部的结构的俯视图。

图8是用于说明图1所示的手的基部的内部的结构的侧视图。

图9是用于说明图3所示的叉的末端侧部分的结构的俯视图。

(符号说明)

1 机器人(工业用机器人)；

2 基板(玻璃基板、搬运对象物)；

3 手(第一手)；

4 手(第二手)；

5 手(第三手)；

6 手(第四手)；

7 手支承部件(第一手支承部件)；

8 手支承部件(第二手支承部件)；

9 手支承部件(第三手支承部件)；

10 手支承部件(第四手支承部件)；

11 臂(保持部件)；

22 手驱动机构(第一手驱动机构)；

23 手驱动机构(第二手驱动机构)；

24 手驱动机构(第三手驱动机构)；

25 手驱动机构(第四手驱动机构)；

27 叉：

29 第一臂(第一保持部件)；

30 第二臂(第二保持部件)；

31 手间距变更机构；

35 马达(手驱动马达、第一手驱动马达)；

36 马达(手驱动马达、第二手驱动马达)；

37 马达(手驱动马达、第三手驱动马达)；

38 马达(手驱动马达、第四手驱动马达)；

39 运送机构(第一运送机构)；

40 运送机构(第二运送机构)；

41运送机构(第三运送机构)；

42 运送机构(第四运送机构)；

43 引导机构(手引导机构、第一手引导机构)；

44 引导机构(手引导机构、第二手引导机构)；

45 引导机构(手引导机构、第三手引导机构)；

46 引导机构(手引导机构、第四手引导机构)；

48～51 螺纹轴；

52～55 螺母部件；

67马达 (保持部件驱动马达)；

68 杆部件(第一杆部件)；

69 杆部件(第二杆部件)；

70 杆部件(第三杆部件)；

75 引导机构(第一保持部件引导机构)；

76 引导机构(第二保持部件引导机构)；

78 叉间距变更机构；

79 马达(叉驱动马达)；

80 螺纹部件；

80a 右旋螺纹部；

80b 左旋螺纹部；

81 螺母部件(第一螺母部件)；

82 螺母部件(第二螺母部件)；

92 引导机构(第一叉引导机构)；

93 引导机构(第二叉引导机构)；

X 第一方向；

Y 第二方向。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的示意结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的主视图。图2是从图1的E-E方向示出工业用机器人1的侧视图。图3是从图2的F-F方向示出工业用机器人1的俯视图。图4是用于说明图1所示的臂11以及臂支承部件16的内部的结构的图。

本实施方式中的工业用机器人1(以下称作“机器人1”)是用于对作为搬运对象物的液晶显示用玻璃基板2进行搬运的机器人。具体地说，机器人1是用于对用于智能手机等便携式设备的比较小型的玻璃基板2(以下称作“基板2”)进行搬运的机器人。该机器人1组装于液晶显示器的制造系统而使用。

机器人1具有供基板2个别地装载的四个手3～6、分别固定有四个手3～6的四个手支承部件7～10、保持四个手支承部件7～10的作为保持部件的臂11、支承臂11的主体部12以及以主体部12能够沿水平方向移动的方式支承主体部12的基底部件13。本实施方式中的手3是第一手，手4是第二手，手5是第三手，手6是第四手。并且，手支承部件7是固定有手3的第一手支承部件，手支承部件8是固定有手4的第二手支承部件，手支承部件9是固定有手5的第三手支承部件，手支承部件10是固定有手6的第四手支承部件。

主体部12具有保持臂11的臂支承部件16、将臂支承部件16支承成能够在上下方向上移动的柱状部件17、构成主体部12的下端部分且能够相对于基底部件13水平移动的基台18以及固定有柱状部件17的下端且能够相对于基台18回转的回转部件19。臂11保持于臂支承部件16的末端侧。具体地说，臂11的下端侧保持于臂支承部件16的末端侧。

臂支承部件16的基端侧支承于柱状部件17。臂支承部件16通过省略图示的升降机构的动力，相对于以上下方向为长边方向的呈柱状形成的柱状部件17与臂11等一同上下移动。基台18通过省略图示的移动机构的动力，相对于基底部件13沿水平方向呈直线地往返移动。即，主体部12通过该移动机构的动力，相对于基底部件13沿水平方向往返移动。并且，回转部件19通过省略图示的回转机构的动力，相对于基台18回转。

手支承部件7～10以能够向水平方向的同一方向呈直线地往返移动的方式保持于臂11。机器人1具有能够使手支承部件7～10分别相对于臂11个别地往返移动的四个手驱动机构22～25(参照图4)。本实施方式中的手驱动机构22是使手支承部件7往返移动的第一手驱动机构，手驱动机构23是使手支承部件8往返移动的第二手驱动机构，手驱动机构24是使手支承部件9往返移动的第三手驱动机构，手驱动机构25是使手支承部件10往返移动的第四手驱动机构。

在以下的说明中，将手支承部件7～10相对于臂11的移动方向(图2等的X方向)作为前后方向，将水平方向中的与前后方向正交的方向(图1等的Y方向)作为左右方向。并且，将左右方向的一侧(Y1方向侧)作为“右”侧， 将与其相反的一侧(Y2方向侧)作为“左”侧。本实施方式的前后方向是第一方向，左右方向是第二方向。

手3～6具有固定于手支承部件7～10的基部26和从基部26向前后方向的一侧突出的两根叉27。基部26呈中空状且扁平的大致长方体状形成。叉27呈中空状且在前后方向上细长的大致长方体状形成，叉27的末端侧部分的上表面是供基板2装载的基板装载面。两根叉27以在左右方向上相邻的方式配置。

手3与手4配置在同一高度上。具体地说，以装载基板2的手3的基板装载面的高度(即，叉27的上表面的高度)与装载基板2的手4的基板装载面的高度一致的方式配置手3、4。并且，手3与手4从前后方向观察时以在左右方向上相邻的方式配置。在本实施方式中，手3配置在左侧，手4配置在右侧。

手5与手6配置在同一高度上。具体地说，以装载基板2的手5的基板装载面的高度与装载基板2的手6的基板装载面的高度一致的方式配置手5、6。并且，手5与手6从前后方向观察时以在左右方向上相邻的方式配置。在本实施方式中，手5配置在左侧，手6配置在右侧。并且，手5从前后方向观察时以与手3在上下方向上重叠的方式配置在手3的下侧，手6从前后方向观察时以与手4在上下方向上重叠的方式配置在手4的下侧。

臂11配置在手3～6的下侧。该臂11由在左右方向上被分割的第一臂29和第二臂30构成。第一臂29将手支承部件7、9保持成能够往返移动，第二臂30将手支承部件8、10保持成能够往返移动。第一臂29与第二臂30以能够沿左右方向往返移动的方式保持于臂支承部件16。机器人1具有变更左右方向上的第一臂29与第二臂30的间距的手间距变更机构31(参照图4)。本实施方式中的第一臂29是第一保持部件，第二臂30是第二保持部件。

(手驱动机构的结构)

手驱动机构22～25具有作为驱动源的马达35～38、沿前后方向运送手支承部件7～10的运送机构39～42以及沿前后方向引导手支承部件7～10的引导机构43～46。本实施方式中的马达35～38是手驱动马达，引导机构43～46是手引导机构。并且，手驱动机构22的马达35是第一手驱动马达，手驱动机 构23的马达36是第二手驱动马达，手驱动机构24的马达37是第三手驱动马达，手驱动机构25的马达38是第四手驱动马达。另外，手驱动机构22的运送机构39是第一运送机构，手驱动机构23的运送机构40是第二运送机构，手驱动机构24的运送机构41是第三运送机构，手驱动机构25的运送机构42是第四运送机构。并且，手驱动机构22的引导机构43是第一手引导机构，手驱动机构23的引导机构44是第二手引导机构，手驱动机构24的引导机构45是第三手引导机构，手驱动机构25的引导机构46是第四手引导机构。

马达35～38以马达35～38的输出轴的轴向与前后方向一致的方式安装于臂11。并且，马达35～38以马达35～38的输出轴在前后方向上向同一方向突出的方式安装于臂11。另外，马达35～38安装于臂11的前后方向的一端侧。在本实施方式中，马达35、37安装于第一臂29，马达36、38安装于第二臂30。

马达35与马达37以从前后方向观察时在上下方向上重叠的方式配置在手5的下侧。并且，马达37配置在马达35的上侧。马达36与马达38以从前后方向观察时在上下方向上重叠的方式配置在手6的下侧。并且，马达38配置在马达36的上侧。马达35与马达36以在左右方向上相邻的方式配置在同一高度上，马达37与马达38以在左右方向上相邻的方式配置在同一高度上。并且，马达35配置在马达36的左侧，马达37配置在马达38的左侧。

运送机构39～42具有通过马达35～38的动力旋转的螺纹轴48～51和在内周侧形成有与形成于螺纹轴48～51的外周面的外螺纹卡合的内螺纹的螺母部件52～55。具体地说，运送机构39～42是具有配置在螺纹轴48～51与螺母部件52～55之间的滚珠(省略图示)的滚珠丝杠。螺纹轴48～51以螺纹轴48～51的轴向与前后方向一致的方式能够旋转地安装于臂11。螺母部件52～55安装于手支承部件7～10。马达35～38的输出轴与螺纹轴48～51通过带轮以及传动带连接。

运送机构39的螺纹轴48能够旋转地安装于第一臂29，且配置在马达35的左侧。运送机构41的螺纹轴50能够旋转地安装于第一臂29，且配置在马达37的左侧。运送机构40的螺纹轴49能够旋转地安装于第二臂30，且配置在 马达36的右侧。运送机构42的螺纹轴51能够旋转地安装于第二臂30，且配置在马达38的右侧。运送机构39的螺母部件52固定于手支承部件7的下端侧。运送机构40的螺母部件53固定于手支承部件8的下端侧。运送机构41的螺母部件54固定于手支承部件9的上端侧。运送机构42的螺母部件55固定于手支承部件10的上端侧。

引导机构43～46是具有以前后方向为长边方向而配置的导轨57～60和与导轨57～60卡合的导向块61～64的线性引导件。引导机构43的导轨57固定于第一臂29。导轨57配置在马达35的左侧且配置在螺纹轴48的上侧。引导机构45的导轨59固定于第一臂29。导轨59配置在马达37的左侧且配置在螺纹轴50的下侧。引导机构44的导轨58固定于第二臂30。导轨58配置在马达36的右侧且配置在螺纹轴49的上侧。引导机构46的导轨60固定于第二臂30。导轨60配置在马达38的右侧且配置在螺纹轴51的下侧。

引导机构43的导向块61固定于手支承部件7的下端侧。该导向块61配置在螺母部件52的上侧。引导机构44的导向块62固定于手支承部件8的下端侧。该导向块62配置在螺母部件53的上侧。引导机构45的导向块63固定于手支承部件9的下端侧。该导向块63配置在螺母部件54的下侧。引导机构46的导向块64固定于手支承部件10的下端侧。该导向块64配置在螺母部件55的下侧。

如上所述，螺纹轴48、螺母部52、导轨57以及导向块61配置在马达35的左侧，螺纹轴49、螺母部53、导轨58以及导向块62配置在马达36的右侧，螺纹轴50、螺母部54、导轨59以及导向块63配置在马达37的左侧，螺纹轴51、螺母部55、导轨60以及导向块64配置在马达38的右侧。即，从前后方向观察时，运送机构39以及引导机构43以与马达35在左右方向上相邻的方式配置，运送机构40以及引导机构44以与马达36在左右方向上相邻的方式配置，运送机构41以及引导机构45以与马达37在左右方向上相邻的方式配置，运送机构42以及引导机构46以与马达38在左右方向上相邻的方式配置。并且，由于马达35、37配置在马达36、38的左侧，因此从前后方向观察时，运送机构39、41和引导机构43、45配置在比四个马达35～38靠左侧的位置， 运送机构40、42和引导机构44、46配置在比四个马达35～38靠右侧的位置。

另外，在手支承部件7的上端侧固定手3的基部26的右侧面，在手支承部件8的上端侧固定手4的基部26的右侧面。并且，在手支承部件9的上端固定手5的基部26的下表面的左端侧，在手支承部件10的上端固定手6的基部26的下表面的右端侧。从前后方向观察时，手支承部件7配置在比手支承部件9靠左侧的位置，手支承部件8配置在比手支承部件10靠右侧的位置。

(手间距变更机构的结构)

图5是示出第一臂29与第二臂30的间距从图4所示的状态扩展时的状态的图。图6是用于从图4的G-G方向说明手间距变更机构31的结构的图。

手间距变更机构31具有作为驱动源的马达67、固定于马达67的输出轴的杆部件68、能够转动地连接于第一臂29的杆部件69以及能够转动地连接于第二臂30的杆部件70。本实施方式中的马达67是保持部件驱动马达，杆部件68是第一杆部件，杆部件69是第二杆部件，杆部件70是第三杆部件。

马达67是带减速机的马达(齿轮马达)。该马达67以马达67的输出轴的轴向与前后方向一致的方式安装于臂支承部件16。并且，马达67安装于臂支承部件16的末端侧，且配置在比马达35～38靠下侧的位置。在左右方向上，马达67的输出轴配置在马达35、37的输出轴与马达36、38的输出轴之间的中心位置。

在马达67的输出轴固定有杆部件68的中心位置。杆部件69的一端侧(左端侧)能够转动地与第一臂29的下端侧连接，杆部件69的另一端侧(右端侧)能够转动地连接于杆部件68的一端侧。杆部件70的一端侧(右端侧)能够转动地连接于第二臂30的下端侧，杆部件70的另一端侧(左端侧)能够转动地连接于杆部件68的另一端侧。杆部件69将前后方向作为转动的轴向且能够相对于第一臂29以及杆部件68转动。杆部件70以前后方向为转动的轴向且能够相对于第二臂30以及杆部件68转动。杆部件69配置在比杆部件70靠下侧的位置。

并且，手间距变更机构31具有用于在左右方向上引导第一臂29以及第二臂30的导轨71以及导向块72、73。导轨71以左右方向为长边方向且固定于 臂支承部件16的前后的两面的两处(参照图4～图6)。如图6所示，导向块73固定于第二臂30的下端侧的两处，两个导向块73从前后方向的外侧与导轨71的右端侧部分卡合。导向块72固定于第一臂29的下端侧的两处，两个导向块72从前后方向的外侧与导轨71的左端侧部分卡合。

在本实施方式中，由导轨71和导向块72构成沿左右方向引导第一臂29的引导机构75，由导轨71和导向块73构成沿左右方向引导第二臂30的引导机构76。本实施方式中的引导机构75是第一保持部件引导机构，引导机构76是第二保持部件引导机构。

在手间距变更机构31中，若马达67旋转且杆部件68转动，则第一臂29与第二臂30在左右方向上向相反方向移动相同的量而使第一臂29与第二臂30的左右方向的间距发生变更。本实施方式中的马达67是伺服马达，手间距变更机构31在第一臂29与第二臂30最靠近的状态(图4所示的状态)同第一臂29与第二臂30最分离的状态(图5所示的状态)之间，能够任意地改变第一臂29与第二臂30的左右方向的间距。

并且，手间距变更机构31在机器人1搬运基板2的搬运动作中，根据需要变更第一臂29与第二臂30的左右方向的间距。即，手间距变更机构31在搬运动作中，根据需要变更手3与手4的左右方向的间距以及手5与手6的左右方向的间距。例如，从在左右方向上以指定的间距容纳基板2的存储盒的容纳部搬出装载于手3、4的基板2，将装载于手3、4的基板2搬入左右方向的间距比存储盒的容纳部的左右方向的间距大的制造装置的容纳部的情况下，手间距变更机构31在搬运动作中，根据需要变更第一臂29与第二臂30的左右方向的间距。

(手的结构)

图7是用于说明图1所示的手3的基部26的内部结构的俯视图。图8是用于说明图1所示的手3、5的基部26的内部结构的侧视图。图9是用于说明图3所示的叉27的末端侧部分的结构的俯视图。

手3～6如上所述具有基部26和两根叉27。如图7、图8所示，叉27的基端侧部分配置在呈中空状形成的基部26的内部。并且，手3～6具有变更左 右方向的两根叉27的间距的叉间距变更机构78。叉间距变更机构78配置在呈中空状形成的基部26的内部。

如图9所示，在叉27的末端侧安装有多个吸附垫片77。多个吸附垫片77以能够吸附各种尺寸的基板2的方式配置。并且，多个吸附垫片77分别通过电磁阀与吸引装置连接，多个吸附垫片77能够分别进行基板2的吸附动作。另外，在两根叉27例如装载两个基板2。并且，例如如图9所示，该两个基板2从上下方向观察时，以相对于与左右方向平行的指定的对称轴L呈线对称的方式装载于两根叉27。

叉间距变更机构78具有作为驱动源的马达79、与马达79的输出轴连接的螺纹部件80、固定于两根叉27中的一根的螺母部件81、固定于两根叉27中的另一根的螺母部件82以及检测螺纹部件80的旋转量的检测机构83。本实施方式中的马达79是叉驱动马达，螺母部件81是第一螺母部件，螺母部件82是第二螺母部件。

马达79是带减速机的马达(齿轮马达)。该马达79以马达79的输出轴的轴向与左右方向一致的方式固定于基部26。马达79的减速机的减速比大，例如减速比是1/300。螺纹部件80呈细长的棒状形成。该螺纹部件80以螺纹部件80的长边方向与左右方向一致的方式配置，且能够旋转地支承于基部26。在螺纹部件80的一端侧形成有右旋螺纹部80a，该右旋螺纹部80a形成有右旋螺纹。在螺纹部件80的另一端侧形成有左旋螺纹部80b，该左旋螺纹部80b形成有左旋螺纹。螺母部件81与右旋螺纹部80a卡合，螺母部件82与左旋螺纹部80b卡合。螺纹部件80的一端通过联轴器85与马达79的输出轴连接。

检测机构83具有固定于螺纹部件80的另一端的检测板86和具有发光元件和感光元件的光学式传感器87。传感器87是发光元件与感光元件相向配置的透射型光学式传感器。检测板86配置在传感器87的发光元件与感光元件之间。在检测板86形成有供从传感器87的发光元件向感光元件的光透射的透光部和对从传感器87的发光元件向感光元件的光进行遮挡的遮光部。

在本实施方式中，如图7的双点划线所示，将两根叉27最靠近时的两根叉27的位置作为叉27的基准位置。叉间距变更机构78具有用于检测该基准 位置的基准位置检测机构95。基准位置检测机构95具有检测板96和具有发光元件和感光元件的光学式传感器97。传感器97是发光元件与感光元件相向配置的透射型光学式传感器，且固定于基部26。检测板96以在两根叉27最靠近时检测板96遮挡传感器97的发光元件与感光元件之间的方式安装于两根叉27中的一根叉27的基端侧部分。通过检测以被基准位置检测机构95检测的两根叉27的基准位置为基准的螺纹部件80的旋转量，检测机构83检测两根叉27的间距。

并且，叉间距变更机构78具有用于沿左右方向引导两根叉27的导轨89以及导向块90、91。导轨89以左右方向为长边方向且固定于基部26的两处。两个导轨89以在前后方向上夹持螺纹部件80的方式配置。导向块90固定于两根叉27中的一根叉27的基端侧部分的两处，导向块91固定于两根叉27中的另一根叉27的基端侧部分的两处。两个导向块90分别与两个导轨89中的各个卡合，两个导向块91分别与两个导轨89中的各个卡合。

在本实施方式中，由导轨89和导向块90构成沿左右方向引导两根叉27中的一根的引导机构92，由导轨89和导向块91构成沿左右方向引导两根叉27中的另一根的引导机构93。本实施方式中的引导机构92是第一叉引导机构，引导机构93是第二叉引导机构。

在叉间距变更机构78中，若马达79旋转且螺纹部件80旋转，则两根叉27中的一根叉27与另一根叉27在左右方向上向相反方向移动相同的量而使两根叉27的左右方向的间距发生变更。本实施方式中的叉间距变更机构78根据检测机构83处的检测结果，能够在如图7的双点划线所示的两根叉27最靠近的状态与如图7的虚线所示的两根叉27最分离的状态之间任意地变更两根叉27的左右方向的间距。并且，若已决定机器人1搬运的基板2的尺寸，则叉间距变更机构78在机器人1搬运基板2的搬运动作之前，根据需要变更两根叉27的左右方向的间距。即，叉间距变更机构78在通过机器人1对基板2的搬运动作中不变更两根叉27的左右方向的间距。

(本实施方式的主要效果)

如以上所做的说明，在本实施方式中，沿前后方向呈直线地移动的手3 与手4配置在同一高度上，沿前后方向呈直线地移动的手5与手6配置在同一高度上。因此，在本实施方式中，使用手3、4或使用手5、6能够同时地搬出以同一高度容纳的多个基板2，且能够同时地搬入以同一高度容纳的多个基板2。因此，在本实施方式中，能够缩短设置有机器人1的制造系统的生产节拍时间。

另一方面，在搬出或搬入基板2时，例如若使手3与手4同时地往返移动，则存在如下隐患：手3或手4与容纳基板2的存储盒或制造装置等接触。并且，在搬出或搬入基板2时，例如若使手5与手6同时地往返移动，则存在如下隐患：手5或手6与制造装置等接触。在本实施方式中，由于机器人1具有使手支承部件7～10分别相对于臂11个别地往返移动的四个手驱动机构22～25，因此能够使在搬出或搬入基板2时可能与制造装置等接触的手3～6停止。因此，在本实施方式中，能够防止搬出或搬入基板2时制造装置等与手3～6接触，能够防止手3～6等损伤。

在本实施方式中，从前后方向观察时，运送机构39、41与引导机构43、45配置在比四个马达35～38靠左侧的位置，运送机构40、42与引导机构44、46配置在比四个马达35～38靠右侧的位置。因此，在本实施方式中，能够确保运送机构39、41以及引导机构43、45与运送机构40、42以及引导机构44、46的左右方向的距离。因此，在本实施方式中，能够防止配置在比马达35～38靠左侧的位置的可动部件与配置在比马达35～38靠右侧的位置的可动部件干涉。

在本实施方式中，手5配置在手3的下侧，且驱动固定有手5的手支承部件9的手驱动机构24的马达37、运送机构41以及引导机构45配置在比驱动固定有手3的手支承部件7的手驱动机构22的马达35、运送机构39以及引导机构43靠上侧的位置。因此，在本实施方式中，与马达37、运送机构41以及引导机构45配置在比马达35、运送机构39以及引导机构43靠下侧的位置的情况相比，能够简化手支承部件7、9的结构。并且，在本实施方式中，手6配置在手4的下侧，且驱动固定有手6的手支承部件10的手驱动机构25的马达38、运送机构42以及引导机构46配置在比驱动固定有手4的手支承部件8 的手驱动机构23的马达36、运送机构40以及引导机构44靠上侧的位置。因此，在本实施方式中，与马达38、运送机构42以及引导机构46配置在比马达36、运送机构40以及引导机构44靠下侧的位置的情况相比，能够简化手支承部件8、10的结构。

在本实施方式中，手间距变更机构31在机器人1搬运基板2的搬运动作中，根据需要变更第一臂29与第二臂30的左右方向的间距。即，在本实施方式中，手间距变更机构31在搬运动作中，根据需要变更手3与手4的左右方向的间距以及手5与手6的左右方向的间距。因此，在本实施方式中，即使在以同一高度容纳于搬运源头的多个基板2的左右方向的间距与以同一高度容纳于搬运目的地的多个基板2的左右方向的间距不同的情况下，也能够在短时间内恰当地从搬运源头向搬运目的地搬运基板2。

在本实施方式中，手间距变更机构31具有马达67和三个杆部件68～70。因此，在本实施方式中，能够通过使用了三个杆部件68～70的简易的结构变更第一臂29与第二臂30的间距。并且，在本实施方式中，叉间距变更机构78具有马达79、形成有右旋螺纹部80a和左旋螺纹部80b且与马达79的输出轴连接的螺纹部件80、固定于两根叉27中的一根且与右旋螺纹部80a卡合的螺母部件81以及固定于两根叉27中的另一根且与左旋螺纹部80b卡合的螺母部件82。因此，在本实施方式中，能够通过使用了一根螺纹部件80的比较简易的结构变更两根叉27的间距。并且，在本实施方式中，由于马达79的减速机的减速比大，因此即使左右方向的外力作用于移动至指定位置的两根叉27，两根叉27也不从该位置移动。因此，在本实施方式中，即使不设置特别的固定机构，也能够将移动至指定位置的两根叉27固定在该位置。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的要旨的范围内能够进行各种变形实施。

在上述实施方式中，手间距变更机构31使用三个杆部件68～70变更第一臂29与第二臂30的左右方向的间距，但手间距变更机构31也可以使用三个杆部件68～70以外的部件变更第一臂29与第二臂30的左右方向的间距。例 如，手间距变更机构31与叉间距变更机构78相同，使用具有右旋螺纹部和左旋螺纹部的螺纹部件、固定于第一臂29且与右旋螺纹部卡合的螺母部件、固定于第二臂30且与左旋螺纹部卡合的螺母部件，变更第一臂29与第二臂30的左右方向的间距。

同样，叉间距变更机构78也可以使用螺纹部件80以及螺母部件81、82以外的部件变更两根叉27的左右方向的间距。例如，与手间距变更机构31相同，也可以使用三个杆部件变更两根叉27的左右方向的间距。并且，在上述实施方式中，机器人1具有手间距变更机构31，但机器人1也可以不具有手间距变更机构31。此时，臂11也可以不在左右方向上被分割。并且，在上述实施方式中，手3～6具有叉间距变更机构78，但手3～6也可以不具有叉间距变更机构78。

在上述实施方式中，马达35～38安装于臂11的前后方向的一端侧。除此之外，例如也可以从四个马达35～38中任意选择一个、两个或三个马达安装于臂11的前后方向的一端侧，剩下的马达安装于臂11的前后方向的另一端侧。

在上述实施方式中，以马达35与马达36在左右方向上相邻，马达37与马达38在左右方向上相邻，且马达35、36与马达37、38在上下方向上重叠的方式配置。除此之外，例如也可以在臂11的前后方向的一端侧，四个马达35～38以在上下方向上呈一列地重叠的方式配置。并且，既可以在臂11的前后方向的一端侧，四个马达35～38中任意三个马达以在上下方向上呈一列地重叠的方式配置，剩下的一个马达配置在臂11的前后方向的另一端侧，也可以在臂11的前后方向的一端侧，四个马达35～38中任意两个马达以在上下方向上重叠的方式配置，在臂11的前后方向的另一端侧，剩下的两个马达以在上下方向重叠的方式配置。

在上述实施方式中，以同一高度配置两个手3与手4，以同一高度配置两个手5与手6，但以同一高度配置的手的数量也可以是三个以上。并且，在上述实施方式中，机器人1具有以重叠两层的方式配置的两个手3、4和两个手5、6，但机器人1也可以只具有两个手3、4或两个手5、6。并且，以同一高度配置的两个以上的手也可以以重叠三层以上的方式配置。

在上述实施方式中，由机器人1搬运的搬运对象物是液晶显示器用玻璃基板2，但由机器人1搬运的搬运对象物也可以是玻璃基板2以外的搬运对象物。例如由机器人1搬运的搬运对象物也可以是半导体晶圆等。