工业用机器人的制作方法

本发明涉及对半导体晶片等搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术：

以往，已知有在前开式晶圆盒(英文：frontopenunifiedpod)与半导体晶片处理装置之间搬运半导体晶片的水平多关节机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的水平多关节机器人构成装置前端模块(英文：equipmentfrontendmodule)的一部分，并配置在装置前端模块的框体内部。装置前端模块配置在半导体晶片处理装置的前侧，前开式晶圆盒配置在装置前端模块的前侧。装置前端模块的框体形成为细长的长方体的箱状，该长方体以前后方向作为短边方向，以左右方向作为长边方向。

此外，专利文献1中记载的水平多关节机器人包括：两只手，两只该手装载半导体晶片；臂，两只手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部构成，上述第一臂部的基端侧以能转动的方式与主体部连接，上述第二臂部的基端侧以能转动的方式与第一臂部的前端侧连接，上述第三臂部的基端侧以能转动的方式与第二臂部的前端侧连接，并且手以能转动的方式与上述第三臂部的前端侧连接。主体部包括：柱状构件，臂的基端侧(即，第一臂部的基端侧)以能转动的方式与该柱状构件的上端连接；框体，该框体将柱状构件保持为能升降；以及升降机构，该升降机构使柱状构件升降。下降时的柱状构件收容于框体。在柱状构件下降时，柱状构件收容于框体。此外，升降机构收容于框体。即使在柱状构件上升时，柱状构件的下端侧部分也收容于框体。

框体形成为从上下方向观察时的形状呈大致正方形，框体的前表面和后表面形成为与前后方向正交的平面状，框体的左右的两侧面形成为与左右方向正交的平面状。此外，在从上下方向观察时，柱状构件落入框体的外形之中。在从上下方向观察时，柱状构件配置在框体的左右方向上的中心位置。此外，在从上下方向观察时，柱状构件配置在框体的前后方向上的前面侧。即，在从上下方向观察时，与柱状构件连接的臂的基端侧配置在框体的前面侧。

专利文献1中记载的水平多关节机器人配置在装置前端模块的框体内部，以使装置前端模块的框体内部的前表面与水平多关节机器人的框体的前表面相邻。即，上述水平多关节机器人配置在装置前端模块的框体内部，以使与柱状构件连接的臂的基端侧与装置前端模块的框体内部的前表面相邻。因此，在设置有上述水平多关节机器人的半导体的制造系统中，能确保第一臂部、第二臂部以及第三臂部的长度，并且能防止装置前端模块的框体内部的前表面及后表面与臂发生干涉。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015－36186号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

如上所述，专利文献1中记载的水平多关节机器人配置在装置前端模块的框体内部。在装置前端模块的框体内部，有时会拉绕有各种配管或配线。在装置前端模块的框体内部，为了确保配管或配线的拉绕空间，优选水平多关节机器人的主体部在前后方向上变薄。

在配置有专利文献1中记载的水平多关节机器人的装置前端模块的框体内部，有时会拉绕有各种配管或配线。然而，为了确保第一臂部、第二臂部以及第三臂部的长度，并且防止装置前端模块的框体内部的前表面及后表面与臂发生干涉，专利文献1中记载的水平多关节机器人配置在装置前端模块的框体内部，以使装置前端模块的框体内部的前表面与水平多关节机器人的臂的基端侧相邻，从而使装置前端模块的框体内部的前表面与水平多关节机器人的筐体的前表面相邻。因此，在配置有专利文献1中记载的水平多关节机器人的装置前端模块的框体内部，很难沿着装置前端模块的框体内部的前表面拉绕配管或配线，其结果是，配管或配线的拉绕自由度变低。

因而，本发明的技术问题是提供一种能使主体部薄型化的工业用机器人，其中，臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。

因而，本发明的技术问题是提供一种工业用机器人，即使以臂的基端侧与装置前端模块等的框体内部的侧面相邻的方式配置该工业用机器人，也能提高装置前端模块等的框体内部的配管或配线的拉绕自由度。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，主体部包括：升降体，臂的基端侧以能转动的方式与该升降体的上面侧连接；框体，该框体将升降体保持为能升降，并且该框体收容有升降体的至少下端侧的一部分；以及升降机构，该升降机构使升降体升降，升降机构以在从上下方向观察时与升降体重叠的方式收容于框体。

在本发明中，例如，框体形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，升降体包括框部，该框部形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，在升降体下降时，该框部收容于框体。

在本发明的工业用机器人中，主体部包括：升降体，臂的基端侧以能转动的方式与该升降体的上面侧连接；框体，该框体收容有升降体的至少下端侧的一部分；以及升降机构，该升降机构使升降体升降，升降机构以在从上下方向观察时与升降体重叠的方式收容于框体。因此，在本发明中，例如，与升降机构以在前后方向上与升降体错开的状态收容于框体的情况相比较，若将框体形成为从上下方向观察时的形状呈以左右方向作为长边方向并以前后方向作为短边方向的大致长方形，则能使框体的前后方向上的宽度变窄。即，在本发明中，例如，与升降机构以在前后方向上与升降体错开的状态收容于框体的情况相比较，能使主体部的前后方向上的宽度变窄，其结果是，能使主体部薄型化。

在本发明中，优选主体部包括引导机构，该引导机构具有导轨和导块，该导块与导轨卡合，该引导机构将升降体朝上下方向引导，导轨和导块配置在框部的左右方向上的两外侧，并且收容于框体的内部。若如此构成，则能使配置在框部左侧的导轨及导块与配置在框部右侧的导轨及导块间的距离变长。因此，能通过引导机构将升降体朝上下方向顺畅地引导。

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，主体部包括：升降体，臂的基端侧以能转动的方式与该升降体的上面侧连接；以及框体，该框体将升降体保持为能升降，并且该框体收容有升降体的至少下端侧的一部分，升降体在升降体的上端侧具有突出部，该突出部朝水平方向的一侧突出，臂的基端侧配置在突出部的上面侧，并以能转动的方式与突出部连接。

在本发明的工业用机器人中，升降体在升降体的上端侧具有突出部，该突出部朝水平方向的一侧突出，臂的基端侧配置在突出部的上面侧，并以能转动的方式与突出部连接。因此，在本发明中，例如，即使工业用机器人以臂的基端侧与装置前端模块的框体内部的侧面相邻的方式配置在装置前端模块的框体内部，也能利用突出部下侧的空间，将配管或配线沿着与臂的基端侧相邻的装置前端模块的框体内部的侧面拉绕。因此，在本发明中，即使以臂的基端侧与装置前端模块等的框体内部的侧面相邻的方式配置工业用机器人，也能提高在装置前端模块等的框体内部的配管或配线的拉绕自由度。

在本发明中，优选升降体包括：框部，在升降体下降时，该框部收容于框体；以及上端侧框部，该上端侧框部形成有突出部，框部与上端侧框部分体地形成，并且彼此固定。若如此构成，则能将突出部的突出量不同的多种上端侧框部固定于通用的框部。因此，即使不改变升降体的整体，也能通过对上端侧框部进行更换来改变升降体的突出部的突出量。

在本发明中，例如，框体形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，突出部朝前后方向的一侧突出。

在本发明中，优选主体部包括升降机构，该升降机构使升降体升降，升降体包括框部，该框部形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，在升降体下降时，该框部收容于框体，升降机构以在从上下方向观察时与框部重叠的方式收容于框体。若如此构成，则与升降机构以在前后方向上与框部错开的状态收容于框体的情况相比较，能使框体的前后方向上的宽度变窄。其结果是，能使主体部薄型化。

在本发明中，优选主体部包括引导机构，该引导机构具有导轨和导块，该导块与导轨卡合，该引导机构将升降体朝上下方向引导，升降体包括框部，该框部形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向，在升降体下降时，该框部收容于框体，导轨和导块配置在框部的左右方向上的两外侧，并且收容于框体的内部。若如此构成，则能使配置在框部左侧的导轨及导块与配置在框部右侧的导轨及导块间的距离变长。因此，能通过引导机构将升降体朝上下方向顺畅地引导。

发明效果

如上所述，在本发明的工业用机器人中，能使主体部薄型化，其中，臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。

如上所述，在本发明中，即使以臂的基端侧与装置前端模块等的框体内部的侧面相邻的方式配置工业用机器人，也能提高装置前端模块等的框体内部的配管或配线的拉绕自由度。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的立体图，图1(a)是表示升降体下降的状态的图，图1(b)是表示升降体上升的状态的图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是使用图1所示的工业用机器人的半导体制造系统的概略俯视图。

图4是用于对图2的e-e截面的结构进行说明的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的立体图，图1(a)是表示升降体20下降的状态的图，图1(b)是表示升降体20上升的状态的图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图3是使用图1所示的工业用机器人1的半导体制造系统9的概略俯视图。图4是用于对图2的e-e截面的结构进行说明的剖视图。

本实施方式的工业用机器人1是用于对搬运体对象物即半导体晶片2(参照图3)进行搬运的水平多关节机器人。上述工业用机器人1包括：两只手4、5，两只该手4、5装载半导体晶片2；臂6，两只手4、5以能转动的方式与该臂6的前端侧连接，并且该臂6沿水平方向动作；以及主体部7，臂6的基端侧以能转动的方式与该主体部7连接。在以下的说明中，将工业用机器人1称作“机器人1”，将半导体晶片2称作“晶片2”。此外，在以下的说明中，以图1等的与上下方向正交的x方向作为“左右方向”，以图1等的与上下方向及左右方向正交的y方向作为“前后方向”，并且以x1方向一侧作为“右”侧，以x2方向一侧作为“左”侧，以y1方向一侧作为“前”侧，以y2方向一侧作为“后(后面)”侧。

如图3所示，机器人1以组装于半导体制造系统9的方式进行使用。上述半导体制造系统9包括装置前端模块10和半导体晶片处理装置11，上述半导体晶片处理装置11对晶片2进行规定处理。装置前端模块10配置在半导体晶片处理装置11的前侧。机器人1构成装置前端模块10的一部分。此外，装置前端模块10包括：多个装载端口13，多个该装载端口13对前开式圆晶盒12进行开闭；以及框体14，该框体14收容机器人1。框体14形成为在左右方向上细长的长方体的箱状。装载端口13配置在框体14的前侧。机器人1配置在框体14的内部，以使臂6的基端侧与框体14内部的前侧面14a相邻，从而在前开式圆晶盒12与半导体晶片处理装置11之间搬运晶片2。

臂6由第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18构成，上述第一臂部16的基端侧以能转动的方式与主体部7连接，上述第二臂部17的基端侧以能转动的方式与第一臂部16的前端侧连接，上述第三臂部18的基端侧以能转动的方式与第二臂部17的前端侧连接。第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18形成为中空状。主体部7、第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18在上下方向上从下侧以该顺序配置。

手4、5形成为从上下方向观察时的形状呈大致y形。手4、5的基端侧部分以能转动的方式与第三臂部18的前端侧连接。此外，手4、5配置成在上下方向上重叠。具体而言，手4配置在上侧，手5配置在下侧。此外，手4、5配置在比第三臂部18靠上侧的位置。另外，在图3中省略了手5的图示。

主体部7包括：升降体20，臂6的基端侧以能转动的方式与该升降体20的上面侧连接；框体21，该框体21将升降体20保持为能升降；升降机构22(参照图4)，该升降机构22使升降体20相对于框体21升降；以及引导机构23(参照图4)，该引导机构23将升降体20朝上下方向引导。

框体21形成为扁平的大致长方体的箱状，从上下方向观察时的框体21的形状是大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向。具体而言，从上下方向观察时的框体21的形状呈在左右方向上细长的大致长方形。框体21的前表面和后表面是与前后方向正交的平面，框体21的左右的两侧面是与左右方向正交的平面。此外，框体21的上表面和底面是与上下方向正交的平面。

升降体20包括：框部25，该框部25形成为扁平的大致长方体；以及上端侧框部26，该上端侧框部26固定在框部25的上端侧。框部25与上端侧框部26分体地形成，并且彼此固定。具体而言，框部25与上端侧框部26通过省略了图示的螺钉彼此固定。

框部25形成为底面开口的箱状，从上下方向观察时的框部25的形状呈大致长方形，该大致长方形以左右方向作为长边方向，以前后方向作为短边方向。具体而言，从上下方向观察时的框部25的形状呈在左右方向上细长的大致长方形。框部25的前表面和后表面是与前后方向正交的平面，框部25的左右的两侧面是与左右方向正交的平面。此外，框部25的上表面是与上下方向正交的平面。

上端侧框部26形成为大致长方体状。上述上端侧框部26形成为从上下方向观察时的形状呈大致长方形，该大致长方形以前后方向作为长边方向，以左右方向作为短边方向。此外，上端侧框部26形成为中空状。上端侧框部26的左右方向的宽度比框部25的左右方向的宽度窄。上端侧框部26包括被固定部26a，该被固定部26a固定于框部25。被固定部26a收容在凹部之中，该凹部形成在框部25上端侧的左右方向的中心处。

此外，上端侧框部26包括突出部26b，该突出部26b与被固定部26a的前端连接，并且从框部25的前表面朝前侧突出。即，升降体20在升降体20的上端侧具有朝前侧突出的突出部26b，并且升降体20具有形成有突出部26b的上端侧框部26。臂6的基端侧配置在突出部26b的上面侧，并以能转动的方式与突出部26b连接。即，第一臂部16的基端侧配置在突出部26b的上面侧，并以能转动的方式与突出部26b连接。

在升降体20下降时，框部25收容于框体21。具体而言，在升降体20下降至下限位置时(在图1(a)所示的状态时)，框部25的整体收容于框体21。即，在升降体20下降至下限位置时，升降体20的除了突出部26b以外的部分收容于框体21。此外，在升降体20从下限位置上升时(在图1(b)所示的状态时)，框部25的下端侧部分收容于框体21。即，在升降体20从下限位置上升时，升降体20的下端侧部分收容于框体21。在框体21的前面部的上端侧形成有缺口部21a(参照图1(b))，在升降体20下降时，该缺口部21a供突出部26b配置。另外，在框体21的上面部形成有缺口部，在升降体20升降时，该缺口部供框部25通过。

升降机构22收容于框体21。如图4所示，上述升降机构22包括马达28和滚珠丝杠29。滚珠丝杠29包括：螺纹轴30，该螺纹轴30利用马达28的动力旋转；以及螺母31，该螺母31与螺纹轴30卡合。马达28收容于框体21，并固定于框体21的下端侧。此外，马达28配置在框体21的左右方向上的大致中心位置。螺纹轴30配置成螺纹轴30的轴向与上下方向一致。此外，螺纹轴30配置在比马达28靠右侧的位置。上述螺纹轴30被框体21保持为能旋转。

螺母31固定于螺母保持构件32。螺母保持构件32固定在框部25的内部。即，螺母31经由螺母保持构件32固定于框部25的内部。在马达28的输出轴上固定有带轮33，在螺纹轴30的下端侧固定有带轮34。在带轮33与带轮34上架设有皮带35。如图4所示，升降机构22以从上下方向观察时与升降体20重叠的方式收容于框体21。更具体而言，升降机构22以从上下方向观察时与框部25重叠的方式收容于框体21。

引导机构23包括导轨38和导块39，该导块39与导轨38卡合。导轨38固定在框体21的内部，以使导轨38的长边方向与上下方向一致。此外，导轨38固定在框体21内部的左右的两端侧。导块39固定于块保持构件40。块保持构件40分别固定于框部25的左右的两侧面。即，导块39经由块保持构件40固定于框部25的左右的两侧面，导轨38和导块39配置在框部25的左右方向上的两外侧。此外，导轨38和导块39收容于框体21。

在本实施方式中，当马达28旋转时，升降体20一边被引导机构23引导，一边相对于框体21上下移动。另外，在框部25的内部固定有电缆输送机(日文：ケーブルベア)(注册商标)42的一端侧，在框体21的内部固定有电缆输送机(注册商标)42的另一端侧。电缆输送机(注册商标)42配置在比马达28靠左侧的位置。

此外，机器人1包括：臂部驱动机构45(参照图2)，该臂部驱动机构45使第一臂部16和第二臂部17转动，从而使由第一臂部16和第二臂部17构成的臂6的一部分伸缩；第三臂部驱动机构(省略图示)，该第三臂部驱动机构使第三臂部18转动；使手4转动的手驱动机构(省略图示)；以及使手5转动的手驱动机构(省略图示)。

如图2所示，臂部驱动机构45包括：马达46；减速机47，该减速机47用于对马达46的动力进行减速，并将马达46的动力传递至第一臂部16；以及减速机48，该减速机48用于对马达46的动力进行减速，并将马达46的动力传递至第二臂部17。马达46固定在上端侧框部26的被固定部26a的下面部。具体而言，马达46固定在被固定部26a的下面部，以使马达46的输出轴配置在被固定部26a的内部，并且马达46的主体部配置在框部25的内部。

减速机47构成连接第一臂部16与突出部26b的关节部。上述减速机47是中空减速机。减速机47的壳体固定在突出部26b的内部。减速机47的输出轴的上端面固定在第一臂部16的基端侧的下表面。减速机47除了固定在第一臂部16的基端侧下表面的输出轴的上端侧的一部分以外，其它部分收容在突出部26b的内部。马达46与减速机47经由带轮49、带轮50以及皮带51连接，上述带轮49固定于马达46的输出轴，上述带轮50固定于减速机47的输入轴，上述皮带51架设于带轮49与带轮50。带轮49、50和皮带51收容在上端侧框部26的内部。

减速机48构成连接第一臂部16与第二臂部17的关节部。上述减速机48与减速机47同样是中空减速机。马达46与减速机48经由带轮49、50、皮带51以及配置在第一臂部16内部的带轮、皮带(省略图示)等连接。

第三臂部驱动机构包括马达和减速机，上述减速机用于对上述马达的动力进行减速，并将上述马达的动力传递至第三臂部18。第三臂部驱动机构的马达配置在第二臂部17的内部，第三臂部驱动机构的减速机构成连接第二臂部17与第三臂部18的关节部。手驱动机构包括马达和减速机，上述减速机用于对上述马达的动力进行减速，并将上述马达的动力传递至手4、5。手驱动机构的马达和减速机配置在第三臂部18的内部。此外，手驱动机构的减速机和手4、5经由省略了图示的带轮和皮带连接。

(本实施方式的主要效果)

如以上说明的那样，在本实施方式中，升降机构22以从上下方向观察时与收容于框体21的框部25重叠的方式收容于框体21。因此，在本实施方式中，与升降机构22以在前后方向上与框部25错开的状态收容于框体21的情况相比较，能使框体21的前后方向上的宽度变窄。即，在本实施方式中，与升降机构22以在前后方向上与框部25错开的状态收容于框体21的情况相比较，能使主体部7的前后方向上的宽度变窄，其结果是，能使主体部7薄型化。

在本实施方式中，框部25形成为从上下方向观察时的形状呈在左右方向上细长的大致长方形，导轨38和导块39配置在框部25的左右方向上的两外侧。因此，在本实施方式中，能使配置在框部25左侧的导轨38及导块39与配置在框部25右侧的导轨38及导块39间的距离变长。因此，在本实施方式中，能通过导轨38和导块39将升降体20朝上下方向顺畅地引导。

此外，如以上说明的那样，在本实施方式中，升降体20在升降体20的上端侧具有朝前侧突出的突出部26b，臂6的基端侧以能转动的方式与突出部26b连接。因此，在本实施方式中，如图3所示，即使机器人1以臂6的基端侧与装置前端模块10的框体14内部的前侧面14a相邻的方式配置在框体14的内部，也能利用突出部26b下侧的空间(参照图2)，将在框体14内部拉绕的配管或配线沿着框体14的前侧面15a拉绕。因此，在本实施方式中，即使以臂6的基端侧与框体14的前侧面14a相邻的方式配置机器人1，也能提高在框体14内部的配管或配线的拉绕自由度。

在本实施方式中，框部25与上端侧框部26分体地形成，并且彼此固定。因此，在本实施方式中，能将突出部26b的突出量不同的多种上端侧框部26固定于通用的框部25。因此，在本实施方式中，即使不改变升降体20的整体，也能通过对上端侧框部26和皮带51进行更换来改变升降体20的突出部26b的突出量。

在本实施方式中，升降机构22以从上下方向观察时与收容于框体21的框部25重叠的方式收容于框体21。因此，在本实施方式中，与升降机构22以在前后方向上与框部25错开的状态收容于框体21的情况相比较，能使框体21的前后方向上的宽度变窄，其结果是，能使主体部7薄型化。

在本实施方式中，框部25形成为从上下方向观察时的形状呈在左右方向上细长的大致长方形，导轨38和导块39配置在框部25的左右方向上的两外侧。因此，在本实施方式中，能使配置在框部25左侧的导轨38及导块39与配置在框部25右侧的导轨38及导块39间的距离变长。因此，在本实施方式中，能通过导轨38和导块39将升降体20朝上下方向顺畅地引导。

(其它实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式的一例，但并不限定于此，可在不改变本发明思想的范围内进行各种变形。

在上述实施方式中，突出部26b从框部25的前表面朝前侧突出，但突出部26b也可以从框部25的后表面朝后侧突出。在该情况下，机器人1以臂6的基端侧与装置前端模块10的框体14内部的后侧面相邻的方式配置在框体14的内部。此外，在上述实施方式中，框体21和框部25形成为从上下方向观察时的形状呈在左右方向上细长的大致长方形，但框体21和框部25例如也可以形成为从上下方向观察时的形状呈正方形、除了四边形以外的多边形或圆形。

在上述实施方式中，框部25与上端侧框部26分体地形成并彼此固定，但框部25与上端侧框部26也可以一体地形成。即，突出部26b也可以直接形成于框部25。此外，在上述实施方式中，升降机构22以从上下方向观察时与收容于框体21的框部25重叠的方式收容于框体21，但升降机构22既可以在前后方向上与框部25错开的状态收容于框体21，也可以在左右方向上与框部25错开的状态收容于框体21。

在上述实施方式中，在升降体20下降至下限位置时，框部25的整体收容于框体21，但也可以是在升降体20下降至下限位置时，框部25的上端侧部分比框体21的上表面朝上侧突出。此外，在上述实施方式中，升降体20具有朝前侧突出的突出部26b，但升降体20也可以不具有突出部26b。此外，在上述实施方式中，机器人1也可以具有使主体部7升降(具体而言，使框体21升降)的升降机构。即，机器人1也可以具有与日本专利特开2015-36185号公报中公开的升降机构相同的升降机构。

在上述实施方式中，在第三臂部18的前端侧安装有两只手4、5，但也可以在第三臂部18的前端侧安装一只手。此外，在上述实施方式中，臂6由第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18这三个臂部构成，但臂6既可以由两个臂部构成，也可以由四个以上的臂部构成。此外，在上述实施方式中，机器人1是用于搬运晶片2的机器人，但机器人1也可以是对液晶用的玻璃基板等其它搬运对象物进行搬运的机器人。

(符号说明)

1机器人(工业用机器人)

2晶片(半导体晶片、搬运对象物)

4、5手

6臂

7主体部

20升降体

21框体

22升降机构

23引导机构

25框部

26上端侧框部

26b突出部

38导轨

39导块

x左右方向

y前后方向。