一种三轴移动开关密封门机构的制作方法

文档序号:14917804发布日期:2018-07-11 01:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:包括行车移动组件、竖直移动组件以及抓门移动组件,所述行车移动组件设置在干燥炉中真空腔与密封门配合的竖直平面上,所述竖直移动组件安装在所述行车移动组件上,所述抓门移动组件安装在所述竖直移动组件上,所述行车移动组件和所述竖直移动组件的运动方向相互垂直,所述抓门移动组件的运动方向与所述竖直平面相互垂直;所述抓门移动组件的工作端设置有抓门钩,与所述密封门的卡槽短轴配合。

2.根据权利要求1所述的一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:所述行车移动组件包括行车导轨安装板、行车导轨、行车滑块、行车齿条以及第一伺服电机,一组所述行车导轨安装板分别安装在所述干燥炉上下两端的安装基座上,所述真空腔位于所述行车导轨安装板之间,每一所述行车导轨安装板上并排安装有行车导轨和行车齿条;所述行车导轨上安装所述行车滑块,所述行车滑块上安装有竖直导轨安装板,所述第一伺服电机安装在所述竖直导轨安装板一侧,所述第一伺服电机通过第一驱动齿轮与所述行车齿条配合,使得所述竖直导轨安装板在所述行车滑块上水平移动。

3.根据权利要求1所述的一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:所述竖直移动组件包括竖直导轨安装板、竖直导轨、竖直滑块、竖直齿条以及第二伺服电机,所述竖直导轨安装板的两侧分别并排安装有所述竖直导轨和所述竖直齿条,所述竖直滑块与所述竖直导轨配合,所述竖直导轨安装板两侧的所述竖直滑块上分别安装有一抓门钩滑轨座,所述抓门钩滑轨座内安装有所述第二伺服电机,所述第二伺服电机通过第二驱动齿轮与所述竖直齿条配合,使得所述抓门钩滑轨座在所述竖直导轨安装板上竖直移动。

4.根据权利要求3所述的一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:所述抓门移动组件包括抓门导轨、抓门滑块、抓门滑块板和第三伺服电机,在所述抓门钩滑轨座的内侧板上分别安装有一组所述抓门导轨,所述抓门滑块板通过一组所述抓门滑块安装在所述抓门导轨上,所述第三伺服电机安装在与所述第二伺服电机相对的另一侧所述抓门钩滑轨座内,所述第三伺服电机通过第三驱动齿轮与所述抓门滑块板中的抓门齿条配合,使得所述抓门滑块板垂直于所述竖直平面移动。

5.根据权利要求2所述的一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:所述第一伺服电机通过第一伺服电机安装座固定在所述竖直导轨安装板一侧,所述第一伺服电机通过第一同步带带动一第一传动轴转动,所述第一传动轴通过第一传动轴限位孔安装在所述竖直导轨安装板一侧,所述第一驱动齿轮分别安装在所述第一传动轴的两端。

6.根据权利要求3所述的一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:所述第二伺服电机通过一锥齿轮组带动第二传动轴转动,所述第二传动轴设置在两个所述抓门钩滑轨座之间,所述第二传动轴的两端分别安装有第二驱动齿轮。

7.根据权利要求4所述的一种三轴移动开关密封门机构,其特征在于:所述第三伺服电机通过第二同步带驱动第三传动轴转动,所述第三传动轴两端设置在所述抓门钩滑轨座的内侧板之间,其中一所述第三驱动齿轮设置在所述第三伺服电机的输出端,另一所述第三驱动齿轮通过一所述第二同步带与所述第三传动轴连接。

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