一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置的制作方法

文档序号:17273494发布日期:2019-04-03 00:04阅读:629来源:国知局
一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置的制作方法

本实用新型涉及石墨舟设备技术领域,具体为一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置。



背景技术:

目前新洗的石墨舟在上线正常使用前需要对石墨舟进行预镀膜,流程为:a、将石墨舟侧放在桌子上;b、松开石墨舟顶部所有石墨螺母;c、拆卸掉每片舟叶重新安装石墨舟,并在所有工艺卡点位置安装陶瓷环;d、紧固顶部石墨舟所有石墨螺母;e、使用PECVD机台进行石墨舟预镀膜。

其中重新安装石墨舟并在所有工艺卡点位置安装陶瓷环时,必须安装一片石墨舟再在该舟片的工艺点位置安装陶瓷环,重复操作直至所有舟叶安装完成,非常浪费时间且占用工人劳动力,非常不方便。

本实用新型的装置旨在不需要拆卸石墨舟的情况下将陶瓷环安装到石墨舟卡点位置。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置,包括螺纹柱,所述螺纹柱上滑动套设有起升套,所述起升套下方设置有旋转螺母,所述旋转螺母通过螺纹配合转动套设于螺纹柱上,且旋转螺母与起升套活动连接;

所述起升套两侧均固定连接有横杆,所述横杆远离起升套一侧固定连接有固定杆,所述固定杆上设置有若干抬舟机构;

所述抬舟机构包括套接杆、转动套以及抬舟板,所述套接杆间隔设置于固定杆上,且套接杆直径小于固定杆直径,所述套接杆上均转动连接有转动套,所述转动套上固定有连杆,所述连杆远离转动套一端固定有抬舟板。

优选的,所述螺纹柱固定于底板上,所述底板两侧固定有滑块,所述滑块中开设有滑道,滑道中活动插设有固定杆。

优选的,所述抬舟机构包括间隔开设于固定杆上的插孔、以及活动插设于插孔中的抬舟杆。

优选的,所述旋转螺母上固定有操作杆,且操作杆呈间隔设置。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型的装置在通过旋转螺母和起升套的配合,可以在不需要拆卸舟片的情况下安装陶瓷环,能够将陶瓷环安装到石墨舟的工艺卡点的位置,相比传统镀舟安装石墨舟陶瓷环的方法,能节约装陶瓷环的时间,实用性很强,非常值得推广。

附图说明

图1为现有技术中石墨舟未安装陶瓷环状态下的结构示意图;

图2为本实用新型的装置整体结构示意图;

图3为本实用新型实施例一的最底层舟片安装陶瓷环状态结构示意图;

图4为本实用新型实施例一的倒数第二层舟片安装陶瓷环状态结构示意图;

图5为本实用新型的A区结构放大示意图;

图6为本实用新型的套接杆结构示意图;

图7为本实用新型的抬舟板与转动套连接结构示意图;

图8为本实用新型的滑块结构示意图;

图9为本实用新型的固定杆与起升套连接结构示意图;

图10为本实用新型实施例二的最底层舟片安装陶瓷环状态结构示意图;

图11为本实用新型的B区结构放大示意图。

图中:1舟片、2安装杆、3石墨螺帽、4工艺卡点、5螺纹柱、6起升套、7旋转螺母、8操作杆、9横杆、10固定杆、11套接杆、12转动套、13连杆、14抬舟板、15底板、16滑块、161滑道、17陶瓷环、18插孔、19抬舟杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-11,本实用新型提供一种技术方案:

实施例一:

一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置,包括螺纹柱5,使用时,首先将石墨舟侧放,然后将螺纹柱5放置在石墨舟的一侧,螺纹柱5上滑动套设有起升套6,使得起升套6可以沿着螺纹柱5上下滑动,且不会发生转动,起升套6下方设置有旋转螺母7,旋转螺母7通过螺纹配合转动套设于螺纹柱5上,使得旋转螺母7可以在沿着螺纹柱5转动时实现上升和下降的功能,从而带动起升套6上升和下降,且旋转螺母7与起升套6活动连接,活动连接的设置,使得起升套6和旋转螺母7均可以从螺纹柱5上取下,并且旋转螺母7在转动时,不会影响到起升套6即不会带动起升套6转动,不能影响横杆9的作用,旋转螺母7上固定有操作杆8,且操作杆8呈间隔设置,间隔设置的操作杆8,可以更加方便工作人员对旋转螺母7进行转动操作,便于对起升套6的起升和下降近操作控制。

起升套6两侧均固定连接有横杆9,横杆9水平的固定在起升套6上,横杆9远离起升套6一侧固定连接有固定杆10,使得起升套6在起升和下降的过程中,能够带动固定杆10进行同步的起升和下降,固定柱10的起升和下降,作用就是用来带动舟片1进行上升和下降,从而用来不用拆卸舟片1即可调整舟片1间的距离,达到安装陶瓷环17的作用。

而且螺纹柱5固定于底板15上,底板15两侧固定有滑块16,滑块16中开设有滑道161,滑道161中活动插设有固定杆10,使得固定杆10在上升和下降的过程中,不会发生晃动和偏移,始终沿着竖直方向进行运动,固定杆10上设置有若干抬舟机构,通过抬舟机构,来实现带动舟片1上下运动的作用,多组抬舟机构,可以同时抬起多片舟片1。

如说明书附图2所示,抬舟机构包括套接杆11、转动套12以及抬舟板14,套接杆11间隔设置于固定杆10上,且套接杆11直径小于固定杆10直径,套接杆11上均转动连接有转动套12,转动套12上固定有连杆13,连杆13远离转动套12一端固定有抬舟板14,为了方便舟片1的上下运动,且不会影响安装过的舟片1,通过抬舟机构的设置,使得每个舟片1在被抬起并安装好陶瓷环17后,可以将用来抬起该舟片1的抬舟板14转动一下,以便使得下次抬起舟片1时,不会再抬起该舟片1,只抬起上方没有安装陶瓷环17的舟片1,并且每次安装好该舟片1的陶瓷环17后,就将与之接触的抬舟板14转动一个角度,使得抬舟板14不再与之接触。

首先将抬舟板14横插在每片舟片1底部,松开石墨螺帽3,再通过旋转螺母7带动抬舟板14向上移动,达到将舟片1向上移动的目的,增大两片舟片1的间距,方便人工手动将陶瓷环17放到舟片1的工艺卡点4的位置上。

实施例二:

一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置,包括螺纹柱5,使用时,首先将石墨舟侧放,然后将螺纹柱5放置在石墨舟的一侧,螺纹柱5上滑动套设有起升套6,使得起升套6可以沿着螺纹柱5上下滑动,且不会发生转动,起升套6下方设置有旋转螺母7,旋转螺母7通过螺纹配合转动套设于螺纹柱5上,使得旋转螺母7可以在沿着螺纹柱5转动时实现上升和下降的功能,从而带动起升套6上升和下降,且旋转螺母7与起升套6活动连接,活动连接的设置,使得起升套6和旋转螺母7均可以从螺纹柱5上取下,并且旋转螺母7在转动时,不会影响到起升套6即不会带动起升套6转动,不能影响横杆9的作用,旋转螺母7上固定有操作杆8,且操作杆8呈间隔设置,间隔设置的操作杆8,可以更加方便工作人员对旋转螺母7进行转动操作,便于对起升套6的起升和下降近操作控制。

起升套6两侧均固定连接有横杆9,横杆9水平的固定在起升套6上,横杆9远离起升套6一侧固定连接有固定杆10,使得起升套6在起升和下降的过程中,能够带动固定杆10进行同步的起升和下降,固定柱10的起升和下降,作用就是用来带动舟片1进行上升和下降,从而用来不用拆卸舟片1即可调整舟片1间的距离,达到安装陶瓷环17的作用。

而且螺纹柱5固定于底板15上,底板15两侧固定有滑块16,滑块16中开设有滑道161,滑道161中活动插设有固定杆10,使得固定杆10在上升和下降的过程中,不会发生晃动和偏移,始终沿着竖直方向进行运动,固定杆10上设置有若干抬舟机构,通过抬舟机构,来实现带动舟片1上下运动的作用,多组抬舟机构,可以同时抬起多片舟片1。

如说明书附图10和附图11所示,抬舟机构包括间隔开设于固定杆10上的插孔18、以及活动插设于插孔18中的抬舟杆19,为了方便舟片1的上下运动,且不会影响安装过的舟片1,为了防止实施例一中,抬舟板14转动时可能会受到安装杆2的影响,所以在每个舟片1在被抬起并安装好陶瓷环17后,可以将用来抬起该舟片1的抬舟杆19直接抽出,以便使得下次抬起已安装陶瓷环17的舟片1时,不会再抬起该舟片1,只抬起上方没有安装陶瓷环17的舟片1,并且每次安装好该舟片1的陶瓷环17后,就将与之接触的抬舟杆19直接抽出,使得抬舟杆19不再与之接触。

首先将抬舟杆19横插在每片舟片1底部,松开石墨螺帽3,再通过旋转螺母7带动抬舟杆19向上移动,达到将舟片1向上移动的目的,增大两片舟片1的间距,方便人工手动将陶瓷环17放到舟片1的工艺卡点4的位置上。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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