吸附手以及搭载有该吸附手的工业用机器人的制作方法

[0001]
本发明涉及安装于机器人等设备使用的吸附手，尤其涉及对需要进行吸附工件等物品的吸附作业的工业用机器人适宜的机器人用吸附手。


背景技术：

[0002]
以往，存在一种吸附手，该吸附手安装于机器人，吸附并保持工件(参照专利文献1)。在专利文献1中记载的吸附手上连接有用于吸引或排放空气的管子。
[0003]
现有技术文献
[0004]
专利文献
[0005]
专利文献1：日本特开2015-139835号公报


技术实现要素：

[0006]
本发明所要解决的技术问题
[0007]
然而，与吸附手连接的管子连接到在离开吸附手的位置设置的真空泵。因此，在机器人动作时，管子有可能缠绕在机器人上。但是，为了将真空泵内置于吸附手以省去管子，必须使真空泵小型化。另外，还希望抑制由吸附手产生的噪音。
[0008]
本发明的目的在于，在搭载于内置有真空泵的机器人用等设备的吸附手中，使真空泵小型化并抑制由吸附手产生的噪音。
[0009]
用于解决技术问题的技术方案
[0010]
用于解决上述技术问题的第一方式是一种机器人用吸附手，其安装于机器人，通过吸附部吸附工件，其中，内置有真空泵，该真空泵具备形成有吸气口以及排气口的壳体，从所述吸气口间歇性地吸引空气并从所述排气口间歇性地排出空气，所述吸附部经由吸引通路与所述吸气口连接，由多孔质材料形成的第一部件覆盖所述排气口。
[0011]
在上述结构中，吸附手例如安装于工业用机器人，通过吸附部吸附工件。
[0012]
在此，真空泵具备形成有吸气口以及排气口的壳体，从吸气口间歇性地吸引空气并从排气口间歇性地排出空气。吸附部经由吸引通路与吸气口连接。因此，通过从吸气口吸引空气，能够使吸附部形成负压，能够通过吸附部吸附工件。吸附手内置有真空泵。因此，无需通过管子来连接在离开吸附手的位置设置的真空泵和吸附手，能够防止工业用机器人等设备动作时管子缠绕在机器人上。
[0013]
由于真空泵从吸气口间歇性地吸引空气时产生的空气的压力差，在吸气口产生脉动音。另外，由于真空泵从排气口间歇性地排出空气时产生的空气的压力差，在排气口产生比在吸气口产生的脉动音更大的脉动音。针对这一点，由多孔质材料形成的第一部件覆盖了排气口，因此空气从排气口经由第一部件被排出。从排气口排出的空气经过第一部件时经过在多孔质材料内部形成的细微的间隙。其结果是，空气的压力差变小，能够抑制在排气口产生的脉动音(噪音)。进一步，由于仅是利用由多孔质材料形成的第一部件覆盖排气口，因此能够简化用于抑制噪音的结构，能够使真空泵小型化。
[0014]
在第二方式中，所述第一部件由不锈钢的烧结材料形成。根据这样的结构，与真空泵的所谓的消声器相比，能够以低成本制造第一部件，并能够提高第一部件的耐久性。
[0015]
在第三方式中，由多孔质材料形成的第二部件覆盖所述吸气口。
[0016]
根据上述结构，由多孔质材料形成的第二部件覆盖了吸气口。因此，还能够抑制在吸气口产生的脉动音(噪音)，能够进一步抑制由吸附手产生的噪音。
[0017]
在第四方案中，所述第二部件由不锈钢的烧结材料形成。根据这样的结构，与真空泵的所谓的消声器相比，能够以低成本制造第二部件，并能够提高第二部件的耐久性。
[0018]
在第五方式中，所述排气口形成为从所述壳体的内侧朝向外侧扩展的锥状。
[0019]
根据上述结构，排气口形成为从壳体的内侧朝向外侧扩展的锥状。因此，能够减少排气口之中的空气与排气口之外的空气的压力差，能够抑制在排气口产生的脉动音(噪音)。
[0020]
在第六方式中，所述第一部件形成为与所述壳体之中形成有所述排气口的规定面相同形状的板状，并安装于所述规定面。根据这样的结构，容易确保第一部件的大小，并能够将第一部件容易地安装到壳体的规定面。
[0021]
在第七方式中，所述吸引通路形成为直线状，所述吸引通路、所述吸气口以及所述排气口配置在同一直线上。
[0022]
根据上述结构，吸引通路形成为直线状。而且，吸引通路、吸气口以及排气口配置在同一直线上。因此，能够将吸附部至排气口的距离设为最短，能够提高真空泵的排气效率。
[0023]
具体而言，如第八方式那样，能够采用所述真空泵为罗茨泵的结构。罗茨泵的结构简单，容易小型化。
附图说明
[0024]
图1是示出机器人以及吸附手的示意图。
[0025]
图2是吸附手的正剖视图。
[0026]
图3是拆掉外壳的状态的吸附手的侧视图。
[0027]
图4是省略了一部分外壳的吸附手的后视图。
[0028]
图5是示出空气经过烧结材料的形态的示意图。
[0029]
图6是示出第一部件、第二部件的效果的图。
[0030]
图7是示出第二部件的孔眼的粗度与噪音之间的关系的图。
[0031]
图8是示出烧结材料的厚度与消音效果之间的关系的图。
[0032]
附图标记说明
[0033]
10：机器人；20：吸附手(机器人用吸附手)；30：真空泵；31：壳体；32：转子室；33a：吸气口；34a：排气口；41：第一转子(转子)；42：第二转子(转子)；45：电机(电动马达)；48：第一部件；49：第二部件；50：齿轮机构(传递机构)；61：吸引通路；70：吸盘部(吸附部)；78：外壳。
具体实施方式
[0034]
下面，参照附图，对具体化为吸附并搬运工件的工业用的多关节机器人的一实施
方式进行说明。
[0035]
如图1所示，机器人10通过吸附手20吸附被放置在载台80上的工件w，并搬运至其他场所，或者，在已吸附的状态下举起工件w，并在经过一定期间后将工件w放下到载台80上。
[0036]
机器人10例如是六轴的垂直多关节型机器人，具备基座11(底座)和臂10a。臂10a的相邻的连杆13、15(仅图示一部分)依次借助关节12、14、16(仅图示一部分)可相对旋转地连接。各关节12、14、16由与各关节12、14、16对应的各电机(未图示)驱动。
[0037]
例如在机器人10的各关节12、14、16分别设置有检测各关节12、14、16的旋转角度的编码器81、82、83。编码器81、82、83检测臂10a的控制点的位置以及姿态。控制点设定在臂10a的顶端18的中央。在臂10a的顶端18安装有吸附手20。
[0038]
在基座11的内部设置有控制机器人10以及吸附手20的动作的控制部86。控制部86构成为计算机，其具备担任运算中枢的cpu(中央处理器)86a、rom(只读存储器)86b、ram(随机存取存储器)86c、驱动电路86d以及输入输出接口86e等控制机器人10及吸附手20的动作所需的要素。这些要素通过内部总线86f以相互可通信的方式连接，并通过输入输出接口86e与驱动电路86d连接。
[0039]
rom86b是作为计算机可读取的非易失性存储介质(non-transitory computer readable recording medium，非暂时性计算机可读存储介质)来发挥功能的存储设备，以cpu86a可读取的方式预先存储有机器人10以及吸附手20的动作程序等。ram86c构成为可暂时保存cpu86a执行处理过程中的数据。控制部86通过cpu86a执行rom86b中存储的程序，控制机器人10以及吸附手20的动作。当然，cpu86a只要是担任计算机系统的运算中枢的要素，只要具有同样的功能，其称呼也可以不同(例如处理器、运算装置)。
[0040]
在载台80上放置有片状(薄型)的多个工件w。工件w例如是电子基板。通过具备一对抓持爪的夹钳手难以抓持片状的工件w而难以搬运。因此，机器人10通过吸附手20吸附工件w并进行搬运。
[0041]
图2是吸附手20的正面剖视图。图3是拆掉外壳78的状态的吸附手20的侧视图。图4是省略了一部分外壳78的吸附手20的后视图。如图2所示，吸附手20(机器人用吸附手)具备真空泵30、头部60、吸盘部70、基板73、连接器76、外壳78等。吸附手20内置有真空泵30、基板73以及连接器76。
[0042]
真空泵30是容积型的旋转泵，详细来说是罗茨泵。真空泵30具备壳体31、转子41、42、电机45、齿轮机构50等。
[0043]
壳体31由金属等形成为长方体状，在内部形成有转子室32。转子室32是收纳转子41、42并且转子41、42可在内部旋转的空间。在壳体31，形成有使转子室32与壳体31的外部连通的吸气通路33以及排气通路34。吸气通路33以及排气通路34形成为直线状，并配置在同一直线c上。直线c的方向与吸附手20的长度方向lt(表示轴方向或高度方向)一致。通向壳体31的外部的吸气通路33的开口为吸气口33a。通向壳体31的外部的排气通路34的开口为排气口34a。排气口34a形成为从壳体31的内侧朝向外侧扩展的圆锥状(锥状)。
[0044]
第一转子41的第一旋转轴41a以及第二转子42的第二旋转轴42a配置在与直线c垂直的平面上。即，在侧视观察吸附手20时，直线c(相当于吸附手20的长度方向lt)与旋转轴41a、42a垂直。第一旋转轴41a与第二旋转轴42a平行。转子41、42由金属等形成，是具有彼此
啮合的山齿以及谷齿的双叶型转子。转子41、42旋转，从而从吸气口33a吸引空气并从排气口34a排出空气。转子41、42例如以4000rpm旋转。转子41、42(真空泵30)从吸气口33a间歇性地吸引空气并从排气口34a间歇性地排出空气。
[0045]
电机45(电动马达)例如是通过直流电力驱动的直流电机。电机45的输出轴46与直线c垂直。电机45的输出轴46与旋转轴41a、42a平行。电机45相对于壳体31配置在与吸盘部70相反之侧。在电机45与壳体31之间形成有规定间隙。
[0046]
如图3所示，相对于电机45以及壳体31在电机45的输出轴46的轴线方向(图3中左右方向)之中的一侧(图3中左侧)，配置有齿轮机构50。即，电机45以及壳体31相对于齿轮机构50配置在相同侧。
[0047]
齿轮机构50(传递机构)将电机45的旋转力传递到转子41、42。如图4所示，齿轮机构50具备齿轮51～54和中间轴55。在电机45的输出轴46上安装有输出齿轮51。中间轴55与输出轴46、旋转轴41a、42a平行。在中间轴55上安装有中间齿轮52。输出齿轮51与中间齿轮52彼此啮合。在第一转子41的第一旋转轴41a上安装有第一齿轮53。中间齿轮52与第一齿轮53彼此啮合。在第二转子42的第二旋转轴42a上安装有第二齿轮54。第一齿轮53与第二齿轮54彼此啮合。
[0048]
电机45的输出轴46的旋转力经由输出齿轮51、中间齿轮52以及第一齿轮53传递到第一转子41的第一旋转轴41a。由此，使第一转子41旋转。另外，电机45的输出轴46的旋转力经由输出齿轮51、中间齿轮52、第一齿轮53以及第二齿轮54传递到第二转子42的第二旋转轴42a。由此，使第二转子42旋转。第一转子41与第二转子42以相等的旋转速度反方向旋转。
[0049]
如图2、图3所示，相对于壳体31在与电机45相反之侧配置有头部60。头部60由金属等形成为具有凸缘部60a的圆筒状。在头部60的内部形成有沿直线c的方向(相当于吸附手20的长度方向lt)延伸的吸引通路61。吸引通路61形成为直线状。因此，吸引通路61、吸气口33a以及排气口34a配置在同一直线c上。在头部60的顶端部(与壳体31相反之侧的端部)安装有吸盘部70。即，吸盘部70配置在吸附手20的长度方向lt的顶端。而且，按照吸盘部70、吸引通路61、壳体31、电机45的顺序，排列在直线c的方向上。
[0050]
吸盘部70(吸附部)由橡胶等形成为圆盘状。在吸盘部70形成有贯通孔71。贯通孔71沿直线c的方向贯通吸盘部70。壳体31的吸气口33a经由吸引通路61与贯通孔71连接。因此，当从吸气口33a吸引空气时，空气从吸盘部70的贯通孔71被吸引。由此，吸盘部70的内部变为负压，工件w被吸盘部70吸附。
[0051]
基板73具备向电机45供给电力的电源电路、控制电机45的驱动的控制电路等。基板73通过连接器76与上述臂10a的电缆(未图示)连接。从上述控制部86经由电缆向基板73供给电力，并发送信号。基板73根据从控制部86接收到的信号，控制电机45的驱动。由此，控制吸附手20的动作。
[0052]
吸附手20具备外壳78。真空泵30以及基板73被收纳在外壳78内。
[0053]
在上述结构中，真空泵30为了内置在吸附手20中，被小型化。因此，驱动真空泵30的转子41、42的电机45也被小型化。在电机45为小型的情况下，电机45驱动转子41、42的负荷变高，电机45的温度乃至吸附手20的温度有可能会过度上升。
[0054]
因此，在本实施方式中，电机45配置在与壳体31的排气口34a对置的位置。换句话说，电机45配置在从壳体31的内部向排气口34a延伸的排气通路34的延长线(直线c)上。因
此，从排气口34a排出的空气吹到电机45，电机45被气冷。
[0055]
但是，如果排气口34a的大小相对于电机45的大小较小，则从排气口34a排出的空气有可能仅吹到电机45的极小一部分。在这种情况下，通过排气对电机45进行气冷的效果有可能会变低。
[0056]
针对这一点，排气口34a形成为从壳体31的内侧朝向外侧扩展的圆锥状(锥状)。因此，从排气口34a排出的空气一边扩开一边向电机45的方向流动。
[0057]
另外，在壳体31中，吸气口33a在直线c的方向之中的吸盘部70的方向开口，排气口34a在与吸盘部70相反的方向开口。转子41、42的旋转轴41a、42a与直线c的方向垂直(配置在与直线c垂直的平面上)。在此，如果为了使吸附手20的结构简单，而将转子41、42的旋转轴41a、42a中的一者与电机45的输出轴46设置成一体，则电机45相对于壳体31将配置在旋转轴41a、42a的轴线方向上。在这种情况下，无法将电机45配置在与排气口34a对置的位置。
[0058]
针对这一点，电机45的输出轴46与转子41、42的旋转轴41a、42a平行，齿轮机构50相对于电机45以及壳体31配置在输出轴46的轴线方向中的一侧。因此，电机45的旋转力经由齿轮机构50传递到转子41、42。
[0059]
此外，当从未通过吸附手20的吸盘部70吸附工件w的状态起，转移至通过吸盘部70吸附了工件w的状态时，从吸气口33a吸引的空气以及从排气口34a排出的空气逐渐减少。但是，吸盘部70与工件w并非完全贴紧，在吸盘部70与工件w之间稍微形成间隙。因此，空气从该间隙被吸引，继续从排气口34a排出空气。另外，在排气口34a，由于空气的压力差而产生空气的逆流。因此，逆流的空气再次从排气口34a被排出，从而继续从排气口34a排出空气。因此，即使是通过吸附手20吸附了工件w的状态，也能够对电机45进行气冷。另外，如果在不通过吸附手20吸附工件w时使电机45停止，则停止从排气口34a排出空气。但是，此时，由于电机45的发热也停止，因此可抑制电机45的温度过度上升。
[0060]
另外，真空泵30从吸气口33a间歇性地吸引空气并从排气口34a间歇性地排出空气。由于真空泵30从吸气口33a间歇性地吸引空气时产生的空气的压力差，在吸气口33a产生脉动音。另外，由于真空泵30从排气口34a间歇性地排出空气时产生的空气的压力差，在排气口34a产生比在吸气口33a产生的脉动音更大的脉动音。此外，在第一转子41的第一旋转轴41a旋转一周的期间，在排气口34a产生转子数(2)
×
转子的叶数(2)＝4次的脉动音。由于也存在机器人10与用户(人)协作而彼此靠近作业的情况，因此希望抑制由吸附手20产生的噪音。
[0061]
因此，在本实施方式中，通过第一部件48覆盖排气口34a。即，第一部件48覆盖真空泵30中产生脉动音的开口(部位)。第一部件48由不锈钢的烧结材料(多孔质材料)形成。因此，即使排气口34a与电机45隔着第一部件48对置，从排气口34a排出的空气也会经过第一部件48吹到电机45。即，即使电机45与排气口34a隔着透气性的第一部件48、或形成有使空气通过的通路的第一部件48对置，也能够对电机45进行气冷。
[0062]
第一部件48形成为与壳体31之中形成有排气口34a的面31a(规定面)相同形状的板状，并安装于面31a。详细而言，第一部件48形成为具有期望厚度的矩形板状，通过螺栓48a(参照图3)固定在壳体31。由此，第一部件48与面31a紧密接触。
[0063]
而且，当真空泵30被驱动时，空气从排气口34a经由第一部件48被排出。如图5所示，从排气口34a排出的空气经过第一部件48时经过在烧结材料内部形成的细微的间隙。其
结果是，空气的压力差变小，在排气口34a产生的脉动音(噪音)被抑制。
[0064]
如上所述，由于真空泵30从吸气口33a间歇性地吸引空气时产生的空气的压力差，在吸气口33a也产生脉动音。
[0065]
因此，在本实施方式中，通过第二部件49覆盖吸气口33a。详细而言，第二部件49隔着在头部60内部作为吸引通路61的一部分形成的空间61a覆盖吸气口33a。即，第二部件49覆盖真空泵30中产生脉动音的开口(部位)。第二部件49由不锈钢的烧结材料(多孔质材料)形成。第二部件49形成为具有期望厚度的圆形的板状。
[0066]
而且，当真空泵30被驱动时，经由第二部件49以及空间61a从吸气口33a吸引空气。与图5的第一部件48同样地，从吸气口33a吸引的空气经过第二部件49时经过在烧结材料内部形成的细微的间隙。其结果是，空气的压力差变小，在吸气口33a产生的脉动音(噪音)被抑制。
[0067]
图6是示出第一部件48、第二部件49的效果的图。在除了不具有第一部件48以及第二部件49这一点以外与本实施方式相同的第一比较例中，噪音约为77db。在除了不具有第一部件48这一点以外与本实施方式相同的第二比较例中，噪音约为76db。即，第二部件49具有抑制约1db噪音的效果。在本实施方式中，噪音约为65db。即，具有通过第一部件48以及第二部件49抑制约12db噪音的效果。
[0068]
图7是形成配置于吸气口33a的第二部件49的多孔质材料的内部气孔的大小(公称过滤精度(也被称作“绝对过滤精度”或“公称过滤精度”))、与从第二部件49产生的噪音的大小之间的关系的图。如图7所示，如本实施方式那样在吸气口33a存在由多孔质材料形成的第二部件49时产生的噪音，比吸气口33a不存在第二部件49时产生的噪音小。即，图7中示出了如本实施方式那样在吸气口33a存在由多孔质材料形成的第二部件49时可发挥噪音抑制效果。另外，如图7所示，第二部件49的公称过滤精度越小，噪音抑制效果越大。如图7所示，尤其在公称过滤精度为40μm以下时，消音效果大。
[0069]
此外，在本实施方式中，配置于排气口34a的第一部件48的公称过滤精度可以与配置于吸气口33a的第二部件49的公称过滤精度不同。具体而言，也可以构成为：配置于吸气口33a的第二部件49的公称过滤精度为100μm，配置于排气口34a的第一部件48的公称过滤精度为20μm，第二部件49的公称过滤精度比第一部件48的公称过滤精度大。这是由于，由图7可知，即使公称过滤精度为100μm，也可充分地发挥噪音抑制效果，并且因公称过滤精度为100μm，所以被第二部件49覆盖的吸气口33a发挥出足够的吸引力，即为了确保吸附手20能够吸附工件w程度的吸附力。另外，通常越是公称过滤精度大的多孔质材料，成本越低廉。因此，通过在第二部件49中使用公称过滤精度大的多孔质材料，还发挥出能够削减吸附手20的制造成本的效果。另一方面，配置于排气口34a的第一部件48由公称过滤精度小的多孔质材料形成，因此能够增大噪音抑制效果。
[0070]
图8是示出形成第一部件48、第二部件49的烧结材料的厚度与消音效果(噪音抑制效果)之间的关系性的图。如图8所示，烧结材料的厚度越大，噪音抑制效果越大。如图8所示，烧结材料的厚度越大，噪音抑制效果越大。在本实施方式中，即使烧结材料的厚度为3mm以下，也可发挥充分的噪音抑制效果。这样，即使第一部件48以及第二部件49中使用的烧结材料的厚度较薄，也可发挥噪音抑制效果，因此能够简化用于抑制噪音的结构，能够使真空泵30小型化。
[0071]
以上详细描述的本实施方式具有以下优点。
[0072]
吸附手20内置有真空泵30。因此，无需通过管子来连接在离开吸附手20的位置设置的真空泵30和吸附手20，能够防止机器人10动作时管子缠绕在机器人10上。真空泵30为罗茨泵，因此结构简单，容易小型化。
[0073]
电机45配置在与排气口34a对置的位置。换句话说，电机45配置在从壳体31的内部向排气口34a延伸的排气通路34的延长线上。因此，能够使从排气口34a排出的空气吹到电机45，能够对电机45进行气冷。因此，即使将电机45小型化而电机45的负荷变高，也能够抑制电机45的温度过度上升，进而能够抑制吸附手20的温度过度上升。
[0074]
排气口34a形成为从壳体31的内侧朝向外侧扩展的锥状。根据这样的结构，能够扩展从排气口34a排出的空气所流动的范围。因此，能够扩大空气吹到电机45的范围，能够提高通过空气对电机45进行气冷的效果。
[0075]
吸盘部70配置在吸附手20的长度方向lt(以下简称为“长度方向”)的顶端。因此，通过以使吸附手20的长度方向lt朝向工件w的方式控制机器人10，能够通过配置在长度方向的顶端的吸盘部70吸附工件w。吸气口33a向长度方向lt之中的吸盘部70的方向开口。因此，能够通过直线状的吸引通路61连接吸气口33a和吸盘部70，能够使吸附手20的结构简单。
[0076]
电机45的输出轴46与转子41、42的旋转轴41a、42a平行，齿轮机构50相对于电机45以及壳体31配置在输出轴46的轴线方向之中的一侧。因此，即使是转子41、42的旋转轴41a、42a中的一者与电机45的输出轴46并非一体的结构，也能够将电机45的旋转力传递到转子41、42。进一步，按照吸盘部70、吸引通路61、壳体31、电机45的顺序在长度方向lt上排列。因此，在长度方向lt上，能够相对于壳体31在与吸盘部70相反的方向、即排气口34a开口的方向上配置电机45。因此，能够使吸附手20的结构简单，并能够实现通过从排气口34a排出的空气对电机45进行气冷的结构。
[0077]
吸引通路61形成为直线状。而且，吸引通路61、吸气口33a以及排气口34a配置在同一直线c上。因此，能够将吸盘部70至排气口34a的距离设为最短，能够提高真空泵30的排气效率。进一步，由于能够从吸盘部70至排气口34a为止提高输送空气的效率，因此能够提高通过排气对电机45进行气冷的效果。
[0078]
由多孔质材料形成的第一部件48覆盖了排气口34a，因此空气从排气口34a经由第一部件48被排出。从排气口34a排出的空气经过第一部件48时经过在多孔质材料内部形成的细微的间隙。其结果是，空气的压力差变小，能够抑制在排气口34a产生的脉动音(噪音)。进一步，由于仅是利用由多孔质材料形成的第一部件48覆盖排气口34a，因此能够简化用于抑制噪音的结构，能够使真空泵30小型化。
[0079]
第一部件48由不锈钢的烧结材料形成。根据这样的结构，与真空泵30的所谓的消声器相比，能够以低成本制造第一部件48，并能够提高第一部件48的耐久性。
[0080]
由多孔质材料形成的第二部件49覆盖了吸气口33a。因此，还能够抑制在吸气口33a产生的脉动音(噪音)，能够进一步抑制由吸附手20产生的噪音。
[0081]
第二部件49由不锈钢的烧结材料形成。根据这样的结构，与真空泵30的所谓的消声器相比，能够以低成本制造第二部件49，并能够提高第二部件49的耐久性。
[0082]
排气口34a形成为从壳体31的内侧朝向外侧扩展的锥状。因此，能够减少排气口
34a之中的空气与排气口34a之外的空气的压力差，能够抑制在排气口34a产生的脉动音(噪音)。
[0083]
第一部件48形成为与壳体31之中形成有排气口34a的面31a相同形状的板状，并安装于面31a。根据这样的结构，容易确保第一部件48的大小，并能够将第一部件48容易地安装到壳体31的面31a上。
[0084]
此外，还可以如下变更上述实施方式来实施。对于与上述实施方式相同的部分，附上相同的附图标记从而省略说明。
[0085]
吸引通路61的形状不限于直线状，也可以是曲线状或具有弯曲部的形状。
[0086]
还可以代替吸盘部70而采用安装有海绵的海绵式吸附手(吸附部)。在这种情况下，即使在吸附了工件w时空气也从海绵被吸引，因此能够继续从排气口34a排出空气，能够对电机45进行气冷。另外，还可以在头部60设置当吸引通路61内的压力低于规定压时，向吸引通路61导入空气以维持在规定压的阀门等。还可以在头部60设置向吸引通路61导入微量的空气的小孔。即使是这些结构，在吸附工件w时，也能够从排气口34a继续排出空气，能够对电机45进行气冷。
[0087]
排气孔34a不限于锥状，还可以形成为以相同直径在轴线方向上延伸的圆柱状。
[0088]
还可以变更齿轮机构50的齿轮的形状，采用电机45的输出轴46与转子41、42的旋转轴41a、42a不平行的结构。
[0089]
作为将电机45的旋转力传递到转子41、42的传递机构，不限于齿轮机构50，还可以采用通过带轮和带传递旋转力的结构等。
[0090]
第一部件48也可以是仅覆盖排气口34a的附近的形状。另外，第一部件48也可以不覆盖排气口34a，而是配置在排气口34a内。
[0091]
第一部件48以及第二部件49不限于不锈钢的烧结材料，也可以是其他金属的烧结材料。另外，第一部件48以及第二部件49不限于烧结材料，也可以是由陶瓷或树脂形成的多孔质材料。即使在这种情况下，也能够获得与图5相同的效果。
[0092]
还可以省略第二部件49。即使在这种情况下，也能够通过第一部件48抑制作为比在吸气口33a产生的噪音更大的噪音的、在排气口34a产生的噪音。
[0093]
真空泵30不限于罗茨泵，还可以采用作为容积型的旋转泵的爪泵或涡旋泵。即使在这种情况下，也能够使从壳体31的排气口34a继续排出的空气吹到电机45，以对电机45进行气冷。另外，即使是作为具有止回阀等的真空泵的、不从壳体31的排气口34a继续排出空气的隔膜泵或活塞泵等，只要是从吸气口33a间歇性地吸引空气并从排气口34a间歇性地排出空气的真空泵，就能够获得通过第一部件48以及第二部件49抑制噪音的效果。
[0094]
机器人10不限于垂直多关节型机器人，也可以是水平多关节型机器人等。
[0095]
另外，还能够将本发明的吸附机构搭载于工业用机器人以外的例如人形机器人，或者搭载于机器人以外的需要进行吸附作业的各种工业用设备。