轴承密封部46。
[0070]在减速机37的输入轴的下端侧固定有带轮49。带轮49配置于第一臂部20的末端侧的内部。在带轮36与带轮49架设有传动带50。并且，在减速机37的输入轴的上端侧固定有带轮51。带轮51配置于第二臂部21的基端侧的内部。在第二臂部21的内部能够旋转地安装有带轮52。在带轮51与带轮52架设有传动带53。
[0071]在减速机37的输出轴固定有第一臂部20的末端侧。具体地说，在减速机37的输出轴，隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41固定有第一臂部20的末端侧。减速机37的输出轴固定于内周侧部件41的内周侧。内周侧部件41以如下的方式固定于第一臂部20的末端侦L其外周面的一部分与开口部31e的内周面接触，且其一部分与上表面部31a的上表面接触。另外，在上表面部31a与内周侧部件41之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0072]在减速机37的壳体固定有第二臂部21的基端侧。具体地说，在减速机37的壳体，隔着磁性流体密封件39的壳体40固定有第二臂部21的基端侧。减速机37的壳体固定于壳体40的内周侧。壳体40以如下的方式固定于第二臂部21的基端侧:其外周面的一部分与开口部34h的内周面接触，且其一部分与下表面部34b的下表面接触。另外，在下表面部34b与壳体40之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0073]在减速机38的输入轴的下端侧固定有带轮56。带轮56配置于第二臂部21的末端侧的内部。在带轮56与带轮52架设有传动带57。传动带53与传动带57以在上下方向上错开的状态卡合于带轮52，传动带57配置在比传动带53靠下侧的位置。在减速机38的输出轴固定有手4的基部11。具体地说，在减速机38的输出轴，隔着磁性流体密封件43的内周侧部件45固定有手4的基部11。减速机38的输出轴固定于内周侧部件45的内周侧。内周侧部件45固定于手4的基部11。另外，在手4的基部11与内周侧部件45之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0074]在减速机38的壳体固定有第二臂部21的末端侧。具体地说，在减速机38的壳体，隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部21的末端侧。减速机38的壳体固定于壳体44的内周侧。壳体44以如下的方式固定于第二臂部21的末端侧:其外周面的一部分与开口部34e的内周面接触且其一部分与上表面部34a的上表面接触。另外，在上表面部34a与壳体44之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0075]盖部件32、33由铝合金形成。并且，盖部件32、33形成为圆板状。盖部件33的两面形成为平面状。另一方面，在盖部件32的一侧的面，如图7所示，形成有散热用的散热片32a。在本实施方式中，在盖部件32的一侧的面形成有直径不同的圆环状的多个散热片32a，多个散热片32a配置成同心状。并且，在本实施方式中，如图7(A)所示，通过形成自盖部件32的一侧的面向另一侧的面凹陷的圆环状的多个凹部，而形成多个散热片32a。另外，也能够通过自盖部件32的一侧的面突出的凸部构成多个散热片32a。
[0076]第一臂部20的开口部31f被盖部件33自下侧封闭。第二臂部21的开口部34f被盖部件33自上侧封闭，第二臂部21的开口部34g由盖部件33自下侧封闭。第一臂部20的开口部31d以及第二臂部21的开口部34d被盖部件32自上侧封闭。盖部件32以形成有散热片32a的面朝向下侧的方式固定。即，在盖部件32的下表面形成有散热片32a，在臂6的内部的上表面形成有散热用的散热片32a。另外，在臂部主体31、34与盖部件32、33之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0077]如图8所示，第一臂部25与第一臂部20同样地构成，具有臂部主体31、三个盖部件32以及一个盖部件33。并且，如图9所示，第二臂部26与第二臂部21同样地构成，具有臂部主体34、两个盖部件32以及两个盖部件33。因此，省略第一臂部25的结构以及第二臂部26的结构的详细说明。
[0078]第一臂部25的基端侧与第一臂部20的基端侧同样地固定于臂支承部8的支承部主体15。第一臂部25的内部经由开口部15e以及开口部31g而与臂支承部8的内部连通，从而第一臂部25的内部成为大气压。在第一臂部25的基端侧的内部以及臂支承部8的内部配置有马达65，该马达65使第二臂部26相对于第一臂部25旋转，且使手5相对于第二臂部26旋转。马达65以与配置于第一臂部20的基端侧的内部以及臂支承部8的内部的马达35同样地配置。马达65的输出轴向上侧突出，在该输出轴固定有带轮66。
[0079]关节部27具有使马达65的旋转减速并将其传递至第二臂部26的减速机67。减速机67与减速机37同样是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。因此，第二臂部26的内部经由中空减速机的贯通孔而与第一臂部25的内部连通，从而第二臂部26的内部成为大气压。即，在本实施方式中，臂7的内部成为大气压。关节部28具有使马达65的旋转减速并将其传递至手5的减速机68。减速机68与减速机38同样是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。
[0080]并且，关节部27与关节部22同样具有防止空气自第一臂部25与第二臂部26的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件39。关节部28与关节部23同样具有防止空气自第二臂部26与手5的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件43。
[0081 ]在减速机67的输入轴的下端固定有形成为圆筒状的旋转轴69的上端。在旋转轴69的下端侧固定有带轮70。带轮70配置在第一臂部25的末端侧的内部。在带轮66与带轮70架设有传动带71。并且，在减速机67的输入轴的上端侧固定有带轮72。带轮72配置在第二臂部26的基端侧的内部。
[0082]在减速机67的输出轴固定有第一臂部25的末端侧。具体地说，在减速机67的输出轴，隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41以及间隔部件73固定有第一臂部25的末端侧。间隔部件73形成为大致圆筒状。该间隔部件73以覆盖旋转轴69的外周侧的方式配置。
[0083 ]减速机67的输出轴固定于内周侧部件41的内周侧。该内周侧部件41以如下方式固定于间隔部件73的上端:其外周面的一部分与间隔部件73的内周面接触，且其一部分与间隔部件73的上端面接触。间隔部件73的下端以与上表面部31a的上表面接触的方式固定于第一臂部25的末端侧。在间隔部件73的下端侧固定有轴承保持部件74。轴承保持部件74以如下的方式固定于间隔部件73的下端侧:其外周面的一部分与间隔部件73的内周面接触且其一部分与间隔部件73的下端面接触。并且，轴承保持部件74的一部分配置于开口部31e的内周侧。在轴承保持部件74固定有将旋转轴69支承为能够旋转的轴承75。另外，在内周侧部件41与间隔部件73的上端之间以及上表面部31a与间隔部件73的下端之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0084]在减速机67的壳体固定有第二臂部26的基端侧。第二臂部26的基端侧与第二臂部21的基端侧固定于减速机37的壳体同样，固定于减速机67的壳体。即，在减速机67的壳体，隔着磁性流体密封件39的壳体40固定有第二臂部26的基端侧。
[0085]在减速机68的输入轴的上端侧固定有带轮76。带轮76配置于第二臂部26的末端侧的内部。在带轮72与带轮76架设有传动带77。在减速机68的输出轴固定有手5的基部U。手5的基部11与手4的基部11固定于减速机38的输出轴同样，固定于减速机68的输出轴。即，在减速机68的输出轴，隔着磁性流体密封件43的内周侧部件45固定有手5的基部11。
[0086]在减速机68的壳体固定有第二臂部26的末端侧。具体地说，在减速机68的壳体，隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部26的末端侧。减速机68的壳体固定于壳体44的内周侧。壳体44以如下的方式固定于第二臂部26的末端侧:其外周面的一部分与开口部34g的内周面接触且其一部分与下表面部34b的下表面接触。另外，在下表面部34b与壳体44之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0087]第一臂部25的开口部31f被盖部件33自下侧封闭。第二臂部26的开口部34e、34f被盖部件33自上侧封闭。第一臂部25的开口部31d以及第二臂部26的开口部34d被盖部件32自上侧封闭。盖部件32以形成有散热片32a的面朝向下侧的方式固定。即，在盖部件32的下表面形成有散热片32a，在臂7的内部的上表面形成有散热用的散热片32a。
[0088](冷却机构的结构、温度传感器的结构以及罩盖部件的结构)
[0089]如上所述，机器人I搬运高温的基板2。因此，臂6、7的温度因来自基板2的辐射热或来自设置机器人I的真空室的壁面的辐射热等而上升。本实施方式的机器人I具有用于将温度上升的臂6、7的内部冷却的冷却机构。并且，机器人I具有:温度传感器80，其用于检测第一臂部20、25以及第二臂部21、26的内部温度；以及罩盖部件81?85，其用于抑制辐射热向臂6、7及臂支承部8传递。
[0090]本实施方式的机器人I具有如下部件作为用于将臂6、7的内部冷却的冷却机构:空气配管87，其用于将马达35冷却并向第一臂部20的内部供给冷却用空气；空气配管88，其用于向第二臂部21的内部供给冷却用空气；空气配管89，其用于将马达65冷却并向第一臂部25的内部供给冷却用空气;空气配管90，其用于向第二臂部26的内部供给冷却用空气；以及多个风扇(送风机)91，其配置于臂6、7的内部。
[0091]空气配管87?90是例如由铝合金或铜合金等金属形成的金属管。或也可以是由氟管等形成的配管。空气配管87?90的基端连接于配置在主体部9的壳体13的内部的电磁阀(省略图示)。在本实施方式中，连接空气配管87?90各自的基端的四个电磁阀配置于壳体13的内部，能够根据空气配管87?90中的每一空气配管进行冷却用空气的供给量的调整。四个电磁阀经由规定的配管而连接于配置在壳体13的内部或外部的压缩空气的供给装置(省略图示)。
[0092]空气配管87、88以通过旋转轴14的内周侧以及开口部15f的方式，自壳体13的内部向臂6被引绕。空气配管87的末端侧被卷绕于马达35的外周面。成为冷却用空气的供给口的空气配管87的末端配置于第一臂部20的基端侧的内部，自空气配管87向第一臂部20的基端侧的内部供给冷却用空气。空气配管88以通过开口部15e、31g以及形成于减速机37的轴中心的贯通孔的方式，在第一臂部20以及第二臂部21的内部被引绕。成为冷却用空气的供给口的空气配管88的末端配置于第二臂部21的末端侧的内部，自空气配管88向第二臂部21的末端侧的内部供给冷却用空气。
[0093]空气配管89、90以通过旋转轴14的内周侧以及开口部15f的方式，自壳体13的内部向臂7被引绕。空气配管89的末端侧被卷绕于马达65的外周面。成为冷却用空气的供给口的空气配管89的末端配置于第一臂部25的基端侧的内部，自空气配管89向第一臂部25的基端侧的内部供给冷却用空气。空气配管90以通过开口部15e、31 g、旋转轴69的内周侧以及形成于减速机67的轴中心的贯通孔的方式，在第一臂部25以及第二臂部26的内部被引绕。成为冷却用空气的供给口的空气配管90的末端配置于第二臂部26的末端侧的内部，自空气配管90向第二臂部26的末端侧的内部供给冷却用空气。
[0094]温度传感器80配置于第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。在本实施方式中，检测温度不同的多个温度传感器80成组配置于第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。具体地说，检测温度不同的三个温度传感器80成组配置于第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。
[0095]在第一臂部20的内