内部个别地冷却。
[0120]在上述的实施方式中，以如下的方式将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却:第一臂部20的内部的温度与第二臂部21的内部的温度变得大致相同，且第一臂部25的内部的温度与第二臂部26的内部的温度变得大致相同。除此以外，例如也可以以如下方式将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却:第一臂部20的内部的温度与第二臂部21的内部的温度不同，且第一臂部25的内部的温度与第二臂部26的内部的温度不同，且第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部的温度成为规定的温度。
[0121]在上述的实施方式中，将检测温度不同的多个温度传感器80成组配置在马达35、65以及关节部22、23、27、28的附近。除此以外，例如也可以在马达35、65以及关节部22、23、27、28的附近配置一个温度传感器80。并且，在上述的实施方式中，在马达35、65以及关节部
22、23、27、28的附近配置温度传感器80，但也可以在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部的任意位置配置温度传感器80。
[0122]在上述的实施方式中，臂6、7由第一臂部20、25与第二臂部21、26这两个臂部构成，但臂6、7也可以由三个以上的臂部构成。在该情况下，在所有臂部的内部分别配置温度传感器80，在所有臂部的内部分别配置供给冷却用空气的空气配管的供给口。并且，在该情况下，例如在所有臂部的内部分别配置风扇91。并且，臂6、7也可以由一个臂部构成。
[0123]在上述的实施方式中，机器人I通过I台马达35使第二臂部21相对于第一臂部20旋转，且使手4相对于第二臂部21旋转。除此以外，例如也可以个别地设置使第二臂部21相对于第一臂部20旋转的马达以及使手4相对于第二臂部21旋转的马达。同样，在上述的实施方式中，通过I台马达65使第二臂部26相对于第一臂部25旋转，且使手5相对于第二臂部26旋转，但也可以个别地设置使第二臂部26相对于第一臂部25旋转的马达以及使手5相对于第二臂部26旋转的马达。
[0124]在上述的实施方式中，在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部配置风扇91，但也可以不配置风扇91。并且，在上述的实施方式中，在盖部件32形成散热片32a，但也可不在盖部件32形成散热片32a。并且，在上述的实施方式中，由机器人I搬运的搬运对象物是有机EL显示器用的基板2，但由机器人I搬运的搬运对象物既可以是液晶显示器用的玻璃基板，也可以是半导体晶圆等。
[0125]在上述的实施方式中，将两个风扇91配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部，但配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部的风扇91的数量既可以是一个，也可以是三个以上。并且，在上述的实施方式中，在第一臂部20以及第二臂部21各自的内部配置风扇91，但也可以仅在第一臂部20的内部或第二臂部21的内部配置风扇91。同样，也可以仅在第一臂部25的内部或第二臂部26的内部配置风扇91。
[0126]在上述的实施方式中，风扇91是根据温度传感器80所得的检测结果而旋转或停止。除此以外，例如既可以与温度传感器80所得的检测结果无关，而在机器人I进行驱动时使风扇91连续地旋转，也可以在机器人I的规定的动作时刻使风扇91旋转。
[0127]在上述的实施方式中，风扇91配置在盖部件32的下侧，向形成于盖部件32的多个散热片32a输送冷却用空气。除此以外，例如风扇91也可以配置在自盖部件32的下侧偏离的位置，而向上表面部31a、34a的下表面输送冷却用空气。并且，在上述的实施方式中，在盖部件32形成散热片32a，但也可以在上表面部31a、34a的下表面形成散热片32a。并且，在上述的实施方式中，在盖部件32形成散热片32a，但也可以不在盖部件32形成散热片32a。
[0128]在上述的实施方式中，手4配置在比第二臂部21靠上侧的位置，但手4也可以配置在比第二臂部21靠下侧的位置。并且，在上述的实施方式中，手5配置在比第二臂部26靠下侧的位置，但手5也可以配置在比第二臂部26靠上侧的位置。
[0129]在上述的实施方式中，罩盖部件81?85覆盖大致整个臂6、7以及臂支承部8，但罩盖部件81?85也可以仅覆盖臂6、7以及臂支承部8的上端侧。并且，在上述的实施方式中，机器人I具有罩盖部件81?85，但机器人I也可以不具有罩盖部件81?85。
[0130]符号说明
[0131]I机器人(工业用机器人)；
[0132]2基板(玻璃基板、搬运对象物)；
[0133]4、5 手；
[0134]6、7 臂；
[0135]20,25第一臂部(臂部)；
[0136]21,26第二臂部(臂部)；
[0137]22、23、27、28 关节部；
[0138]31a,34a 上表面部；
[0139]31d、34d 开口部；
[0140]32盖部件；
[0141]32a 散热片；
[0142]35、65 马达;
[0143]80温度传感器；
[0144]81?85罩盖部件；
[0145]87?90空气配管(冷却机构的一部分)；
[0146]91风扇(冷却机构的一部分)。
【主权项】
1.一种工业用机器人，其特征在于，其具有: 手，其装载搬运对象物； 臂，其形成为中空状且在末端侧连接所述手；以及 冷却机构，其用于将所述臂的内部冷却， 所述手及所述臂配置在真空中， 所述臂具有形成为中空状且彼此能够相对旋转地连接的多个臂部， 多个所述臂部的内部成为大气压， 在多个所述臂部各自的内部配置有用于检测所述臂部的内部的温度的温度传感器， 所述冷却机构能够将多个所述臂部各自的内部个别地冷却，根据所述温度传感器所得的检测结果，将多个所述臂部各自的内部个别地冷却。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于， 所述冷却机构具有配置在多个所述臂部各自的内部的冷却用空气的供给口，根据所述温度传感器所得的检测结果，调整来自所述供给口的冷却用空气的供给量，由此将多个所述臂部各自的内部个别地冷却。3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于， 将多个所述臂部支承为能够旋转的主体部配置在大气中而其内部成为大气压，各自形成为中空状的多个所述臂部的内部经由设置于多个所述臂部的开口部而与所述主体部的内部连通，由此保持为大气压， 所述冷却机构具有自所述主体部的内部引绕至多个所述臂部各自的内部的空气配管，经由所述空气配管向多个所述臂部各自的内部供给所述冷却用空气。4.根据权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于， 多个所述臂部具有:第一臂部，其能够旋转地连接于所述主体部侧；以及第二臂部，其能够旋转地连接于所述第一臂部的末端侧，且在末端侧连接所述手， 在经由分别设置于所述第一臂部与所述第二臂部的所述开口部而连接的关节部，设置在中心形成有贯通孔的中空减速机，经由所述贯通孔，所述第二臂部的内部与所述第一臂部的内部连通，且所述空气配管自所述第一臂部的内部被引绕至所述第二臂部的内部，在所述关节部设置有防止空气自所述第一臂部与所述第二臂部的连接部分向真空区域流出的密封部。5.根据权利要求1至4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 所述冷却机构根据所述温度传感器所得的检测结果，以多个所述臂部的内部温度变得大致相同的方式，将多个所述臂部各自的内部个别地冷却。6.根据权利要求1至4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 所述温度传感器配置在使所述臂部彼此相连的关节部的附近以及使所述臂与所述手相连的关节部的附近。7.根据权利要求1至4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 所述工业用机器人具有使多个所述臂部及所述手中的至少任一者旋转的马达， 所述温度传感器配置在所述马达的附近。8.根据权利要求1至4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 在多个所述臂部各自的内部，成组配置有检测温度不同的多个所述温度传感器。9.一种工业用机器人，其特征在于，其具有: 手，其装载搬运对象物；以及臂，其在末端侧连接所述手， 所述手及所述臂配置在真空中， 所述臂形成为中空状，且所述臂的内部成为大气压， 在所述臂的内部配置有朝向上侧输送空气的风扇。10.根据权利要求9所述的工业用机器人，其特征在于， 在所述臂的内部的上表面形成有散热用的散热片。11.根据权利要求10所述的工业用机器人，其特征在于， 所述臂具有构成所述臂的上表面的一部分的平板状的上表面部， 在所述上表面部形成有在上下方向上贯通的开口部， 所述臂还具有固定于所述上表面部且自上侧封闭所述开口部的盖部件， 所述散热片形成于所述盖部件的下表面。12.根据权利要求11所述的工业用机器人，其特征在于， 所述盖部件形成为圆板状， 在所述盖部件，呈同心状形成有直径不同的圆环状的多个所述散热片。13.根据权利要求9至12中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 所述臂具有彼此能够相对旋转地连接的多个臂部， 在多个所述臂部的内部分别配置有所述风扇。14.根据权利要求9至12中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 所述工业用机器人具有覆盖大致整个所述臂的罩盖部件， 所述罩盖部件的导热率低于所述臂的导热率。15.根据权利要求9至12中任一项所述的工业用机器人，其特征在于， 将多个所述臂部支承为能够旋转的主体部配置在大气中而其内部成为大气压，各自形成为中空状的多个所述臂部的内部经由设置于多个所述臂部的连通开口部而与所述主体部的内部连通，由此保持为大气压。16.根据权利要求15所述的工业用机器人，其特征在于， 所述工业用机器人具有用于将所述臂的内部冷却的冷却机构，所述冷却机构具有自所述主体部的内部引绕至多个所述臂部各自的内部的空气配管，且所述空气配管配置于多个所述臂部内，向多个所述臂部各自的内部供给所述冷却用空气。17.根据权利要求16所述的工业用机器人，其特征在于， 多个所述臂部具有:第一臂部，其能够旋转地连接于所述主体部侧；以及第二臂部，其能够旋转地连接于所述第一臂部的末端侧且在末端侧连接所述手， 在经由分别设置于所述第一臂部与所述第二臂部的所述开口部而连接的关节部，设置在中心形成有贯通孔的中空减速机，经由所述贯通孔，所述第二臂部的内部与所述第一臂部的内部连通，且所述空气配管自所述第一臂部的内部被引绕至所述第二臂部的内部，在所述关节部设置有防止空气自所述第一臂部与所述第二臂部的连接部分向真空区域流出的密封部。18.根据权利要求17所述的工业用机器人，其特征在于， 在多个所述臂部各自的内部，配置有用于检测所述臂部的内部的温度的温度传感器， 所述冷却机构根据所述温度传感器所得的检测结果，将多个所述臂部各自的内部个别地冷却，且所述风扇根据所述温度传感器所得的检测结果而旋转或停止。
【专利摘要】本发明提供一种工业用机器人，即使臂由彼此能够相对旋转地连接的多个臂部构成，当在真空中搬运高温的搬运对象物时，也能够使手恰当地动作。该工业用机器人具有用于将形成为中空状的臂(6)的内部冷却的冷却机构，手(4)及臂(6)配置在真空中。臂(6)具有彼此能够相对旋转地连接的臂部(20、21)，且臂部(20、21)的内部成为大气压。在臂部(20、21)各自的内部配置有用于检测臂部(20、21)的内部的温度的温度传感器(80)。冷却机构能够将臂部(20、21)各自的内部个别地冷却，且根据温度传感器(80)所得的检测结果，将臂部(20、21)各自的内部个别地冷却。
【IPC分类】B25J9/06, B65G49/06, H01L21/677, B25J19/00, B25J17/00
【公开号】CN105531086
【申请号】CN201480050154
【发明人】矢泽隆之, 增泽佳久
【申请人】日本电产三协株式会社
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2014年9月12日
【公告号】WO2015037701A1