流体管芯的制作方法

流体管芯可以控制流体的运动和喷射。这样的流体管芯可以包括流体致动器，其可以被致动以导致流体的位移。一些示例流体管芯可以是打印头，其中流体可以对应于墨。

附图说明

图1是示例流体管芯的部分的示意图。

图2是另一示例流体管芯的部分的示意图。

图3是另一示例流体管芯的部分的示意图。

图4是具有示例流体管芯的示例流体喷射系统的部分的示意图。

图5是图4的流体喷射系统的示例触发逻辑的示意图。

图6是用于启用流体管芯上的不同类型的流体致动器的示例方法的流程图。

图7是另一示例流体管芯的示意图。

图8是另一示例流体管芯的示意图，其图示了用于启用被寻址的流体喷射器和流体泵的示例流体致动器地址线。

贯穿各图，相同的参考数字指代类似但是未必相同的元件。图未必按照比例，并且一些部分的尺寸可能被夸大以更加清楚地图示所示示例。而且，附图提供与说明书一致的示例和/或实现方式；然而，说明书不限于在附图中提供的示例和/或实现方式。

具体实施方式

流体管芯的示例可以包括流体致动器。流体致动器可以包括基于压电膜的致动器、基于热学电阻器的致动器、静电膜致动器、机械/冲击驱动的膜致动器、磁致伸缩驱动致动器，或可以响应于电气致动而导致流体的位移的其它这样的元件。本文所描述的流体管芯可以包括多个流体致动器，其可以被称为流体致动器的阵列。而且，致动事件，如本文所使用的，可以是指流体管芯的流体致动器的并发致动以从而导致流体位移。尽管响应于单个致动事件而发生，但是流体致动器的并发致动，如本文所使用的，可以包括处于每一个被并发致动的单独致动器处和在其之间的略微时间延迟，使得流体致动器不被同时致动，从而降低峰值电压需求。

在示例流体管芯中，流体致动器的阵列可以布置在相应的流体致动器组中，其中每一个这样的流体致动器组可以被称为“基元”或“点火基元”。基元一般包括各自具有唯一致动地址的流体致动器群组或组。在一些示例中，流体管芯的电气和流体约束可以限制每一个基元的哪些流体致动器可以针对给定致动事件而被并发致动。因此，基元促进可以针对给定致动事件而被并发致动的流体喷射器子组的寻址和随后致动。对应于相应基元的流体喷射器数目可以被称为基元的尺寸。

为了通过示例的方式进行说明，如果流体管芯包括四个基元，其中每一个相应基元包括八个相应流体致动器(每八个流体致动器群组具有地址0到7)，并且电气和流体约束将致动限制到每个基元一个流体致动器，则可以针对给定致动事件并发致动总计四个流体致动器(来自每一个基元一个)。例如，对于第一致动事件，可以致动具有地址0的每一个基元的相应流体致动器。对于第二致动事件，可以致动具有地址1的每一个基元的相应流体致动器。如将领会到的，仅仅出于说明目的而提供示例。本文所设想到的流体管芯可以包括每个基元更多或更少的流体致动器以及每个管芯更多或更少的基元。

在示例流体管芯中，流体致动器可以通过由沿流体致动器地址线传输的电气信号导致的单个地址启用事件而被并发地启用。如本文所使用的，地址启用事件可以是指具有相同地址的不同基元的流体致动器的并发启用，以使这样的流体致动器准备好响应于接收到其它启用信号的随后致动。例如，流体致动器的致动可以响应于流体致动器至少接收到跨流体致动器地址线传输的地址启用信号和跨数据或基元选择线接收的基元启用信号而发生。如本文所使用的，流体致动器地址线可以包括单个导电线，诸如导线或迹线，或者协作以传输电气信号组以形成地址启用事件的导电线组。

在一些示例中，流体致动器可以设置在喷嘴中，其中喷嘴可以包括除流体致动器之外的流体腔和喷嘴孔口。流体致动器可以被致动，使得流体在流体腔中的位移可以导致流体液滴经由喷嘴孔口的喷射。相应地，设置在喷嘴中的流体致动器可以被称为流体喷射器。

一些示例流体管芯包括微流体通道。微流体通道可以通过在流体管芯的衬底中执行蚀刻、微制造(例如光刻)、微加工工艺或其任何组合来形成。一些示例衬底可以包括基于硅的衬底、基于玻璃的衬底、基于砷化镓的衬底和/或用于经微制造的器件和结构的其它这样的合适类型的衬底。相应地，微流体通道、腔、孔口和/或其它这样的特征可以由制造在流体管芯的衬底中的表面限定。另外，如本文所使用的，微流体通道可以对应于足够小尺寸(例如纳米尺寸量级、微米尺寸量级、毫米尺寸量级等)的通道，以促进小体积流体(例如皮升量级、纳升量级、微升量级、毫升量级等)的运输。本文所描述的示例流体管芯可以包括其中可以设置流体致动器的微流体通道。在这样的实现方式中，设置在微流体通道中的流体致动器的致动可以生成微流体通道中的流体位移。相应地，设置在微流体通道中的流体致动器可以被称为流体泵。

在本文所描述的一些示例中，流体管芯可以包括支撑流体致动器地址线的衬底，以及连接到流体致动器地址线的流体致动器的第一和第二基元或组。第一基元或第一组流体致动器可以包括具有不同操作特性的第一和第二类型的流体致动器。第二基元或第二组流体致动器可以包括第一和第二类型的流体致动器。第一和第二组的流体致动器具有地址，使得第一组中的第一类型的流体致动器和第二组中的第二类型的流体致动器二者响应于流体致动器地址线上的单个启用事件而被并发启用。

在本文所描述的一些示例中，第一组中的第一类型的流体致动器和第二组中的第二不同类型的流体致动器各自具有第一组地址，而第一组中的第二类型的流体致动器和第二组中的第一类型的流体致动器各自具有第二组地址。在一些示例中，第一组地址是偶数编号的地址，而第二组地址是奇数编号的地址。

在本文所描述的一些示例中，第一类型的流体致动器具有第一致动能量需求，其中第二类型的流体致动器具有不同于第一致动能量需求的第二致动能量需求。在一些示例中，第一类型的流体致动器要通过对应的喷嘴喷射流体，其中第二类型的流体致动器要将流体循环到点火腔。在一些示例中，第一类型的流体致动器与第二类型的流体致动器在第一和第二组流体致动器中交替。

本文所公开的是示例方法，其中在流体管芯的流体致动器地址线上向第一组流体致动器和第二组流体致动器中的每一个传输单个地址启用事件。单个地址启用事件要在第一组和第二组中的每一个中启用单个流体致动器以供致动。示例方法可以包括响应于单个地址启用事件而启用第一组流体致动器中的第一类型的流体致动器中的第一流体致动器，并且响应于单个地址启用事件而启用第二组流体致动器中的第二类型的流体致动器中的第二流体致动器。第二类型的流体致动器各自具有不同于第一类型的流体致动器的操作特性。该方法还可以包括向第一组流体致动器和第二组流体致动器传输流体致动器启用事件。第一流体致动器可以响应于第一流体致动器被单个地址启用事件启用以及第一流体致动器接收到流体致动器启用事件的组合而被致动。第二流体致动器可以响应于第二流体致动器被单个地址启用事件启用并且第二流体致动器接收到流体致动器启用事件的组合而被致动。

图1是图示了示例流体管芯20的部分的示意图。流体管芯20包括衬底22、流体致动器地址线24和流体致动器32A、32B(集体被称为流体致动器32)以及流体致动器34A、34B(集体被称为流体致动器34)。流体致动器地址线24包括至少一个导电导线或迹线，通过其向与流体致动器32、34中的每一个相关联的逻辑传输电气信号以针对致动事件期间的可能随后致动而启用致动器32、34。在一种实现方式中，流体致动器地址线24包括多个导电导线或迹线。例如，流体致动器地址线24可以包括至少三位或三个单独位线。

流体致动器32和34包括响应于电气致动而导致流体位移的器件或元件。流体致动器32、34可以包括基于压电膜的致动器、基于热学电阻器的致动器、静电膜致动器、机械/冲击驱动的膜致动器、磁致伸缩驱动致动器或其它这样的元件。

流体致动器32具有如与流体致动器34相比不同的操作特性。在一种实现方式中，流体致动器32在致动期间具有与流体致动器34不同的能量需求或利用不同的电压水平、电流或能量。在一种实现方式中，流体致动器32以流体喷射器的形式，而流体致动器34以流体泵的形式。流体喷射器可以包括使流体通过孔口在喷射腔中位移的致动器。流体泵可以包括使流体在微流体通道中位移的致动器。在一种实现方式中，流体致动器32和34可以二者包括流体喷射器，但是其中流体致动器32和34具有不同的液滴重量或其它不同的操作特性。在一种实现方式中，流体致动器32和34可以二者包括流体泵，但是其中流体致动器32和34具有不同的能量电压需求。

如通过图1中的虚线所指示的，流体致动器32A和34A集体形成第一组流体致动器40A，而流体致动器32B和34B集体形成第二组流体致动器40B。组40A和40B(集体称为组40)邻近于彼此延伸或者在衬底22上连续。每一个组40包括流体致动器32的子组42和流体致动器34的子组44。尽管图1图示了物理上布置成列的这样的致动器32、34，但是在其它实现方式中，致动器32、34可以以行、阵列或其它物理布置。

组40形成可以被称为流体管芯20的基元的部分，每一组具有相同地址组。换言之，组40A中的每一个流体致动器具有与组40B中的流体致动器的地址相同的地址。尽管每一组40具有相同地址组，但是组40A和40B的地址在不同类型的流体致动器之间相反地分配。在所图示的示例中，每一组40的流体致动器具有包括地址A1，1到A1，n和地址A2，1到A2，n的地址组。然而，在组40A中，流体致动器32A具有地址A1，1到A1，n，而在组40B中，流体致动器32B具有地址A2，1到A2n。同样地，在组40A中，流体致动器34A具有地址A2，1到A2，n，而在组40B中，流体致动器34B具有地址A1，1到A1，n。

由于组40中的相同地址组在每一组40中的不同类型的流体致动器32、34之间相反地分配，因此地址线24上的单个地址启用事件并发地启用不同组40中的不同类型的流体致动器。例如，导致地址启用信号跨地址线24传输以启用地址A1，1的单个地址启用事件可以导致组40A的(第一类型T1的)流体致动器32A针对随后致动事件而被启用，而同时还导致(第二类型T2的)流体致动器34B针对相同的随后致动事件而被启用。作为另一示例，导致地址启用信号跨地址线24传输以启用地址A2，1的单个地址启用事件可以导致组40A的(第二类型T2的)流体致动器34A针对随后致动事件而被启用，而同时还导致(第一类型T1的)流体致动器32B针对相同的随后致动事件而被启用。

流体管芯20的示例寻址方案可以促进流体致动器32、34的致动次序中的更多灵活性。在其中流体致动器32、34具有不同能量需求的示例中，流体管芯20的示例寻址方案可以促进降低的峰值电流。例如，在其中流体致动器32包括可能具有较高能量需求的流体喷射器并且流体致动器34包括具有较低能量需求或峰值电流的流体泵的一种实现方式中，流体喷射器的数目分摊在每一组40中的地址总数目之上，从而导致总数目的一半而非全部的流体喷射器在随后致动事件期间针对可能的致动而被启用。换言之，第一半流体喷射器可以在第一致动事件期间针对可能的致动而被启用，而第二半流体致动器可以在第二致动事件期间针对可能的致动而被启用。

尽管流体致动器32和34各自被示意性地图示为包括群集或成组在每一组40中的流体致动器，但是应当领会到，不同的流体致动器32、34可以在每一组40中在彼此之中散布。例如，在一种实现方式中，流体致动器32和34可以在每一组40中与彼此交替。流体致动器32可以具有偶数地址，而流体致动器34具有奇数地址，或者反之亦然。不论管芯20上的位置或相对定位如何，具有给定地址的组40A中的第一类型的每一个流体致动器具有40B中的具有相同给定地址的第二类型的对应流体致动器。

图2是流体管芯120的部分的示意图。流体管芯120类似于流体管芯20，除了流体管芯120被图示为包括流体致动器32、34的至少四个连续基元或组40。对应于流体管芯20的组件的流体管芯120的那些组件被类似地编号。尽管图2图示了物理上布置成列的这样的致动器32、34，但是在其它实现方式中，致动器32、34可以以行、阵列或其它物理布置。

如通过图2所示，流体管芯120附加地分别包括流体致动器32C、34C、32D、34D的组40C和40D。流体致动器32C、32D可以分别类似于流体致动器32A和32B。同样地，流体致动器34C、34D可以分别类似于流体致动器34A和34B。关于流体管芯120，流体致动器32A-32C和流体致动器34A-34D集体分别被称为流体致动器32和流体致动器34。流体致动器32和34全部连接到流体致动器地址线24，其传输作为地址启用事件的部分的地址启用信号，以在随后致动事件期间针对可能的随后致动而启用所选地址长地址线24。

如关于流体管芯20那样，由于每一组40中的相同地址组在每一组40中的不同类型的流体致动器32、34之间被相反地分配，因此地址线24上的单个地址启用事件并发地启用不同组40中的不同类型的流体致动器。例如，导致地址启用信号跨地址线24传输以启用地址A1，1的单个地址启用事件可以导致组40A的(第一类型T1的)流体致动器32A针对随后致动事件而被启用，(第二类型T2的)流体致动器34B针对随后致动事件而被启用，组40C的(第一类型T1的)流体致动器32C针对随后致动事件而被启用，并且(第二类型T2的)流体致动器34D针对相同的随后致动事件而被启用。作为另一示例，导致地址启用信号跨地址线24传输以启用地址A2，1的单个地址启用事件可以导致组40A的(第二类型T2的)流体致动器34A针对随后致动事件而被启用，(第一类型T1的)流体致动器32B针对随后致动事件而被启用，组40C的(第二类型T2的)流体致动器34C针对随后致动事件而被启用，并且(第一类型T1的)流体致动器32D针对相同的随后致动事件而被启用。

图3是图示了示例流体管芯220的部分的示意图。流体管芯220类似于流体管芯20和120，除了流体管芯220被具体地图示为具有以沿地址线24与彼此交替的流体喷射器和流体泵的形式的不同类型的流体致动器。在一种实现方式中，流体喷射器具有如与流体泵相比不同的能量电压需求。对应于流体管芯20和120的组件的流体管芯220的那些组件被类似地编号。

如通过图3所示，流体管芯220包括以流体喷射器232A、232B的形式的流体致动器(集体被称为流体喷射器232)和以流体泵234A、234B的形式的流体致动器(集体被称为流体泵234)。每一个流体喷射器232是更大的喷嘴250的部分，其中每一个喷嘴250具有孔口，流体通过其通过由相关联的流体喷射器232导致的位移而被喷射。在所图示的示例中，流体喷射器232/喷嘴250和流体泵234沿地址线24交替，其中流体喷射器232和流体泵234配对，其中流体泵234向和/或从配对的或相关联的流体喷射器232/喷嘴250循环流体。在其它实现方式中，散布的喷嘴250和流体泵234可以具有其它的布置或图案。

如通过虚线所指示的，流体喷射器232和流体泵234形成两组流体致动器240A和240B(集体被称为组240)。每一组240包括流体喷射器232的子组242和流体泵234的子组244。组240形成可以被称为流体管芯220的基元的部分，每一组具有相同地址组。换言之，组240A中的每一个流体致动器具有与组240B中的流体致动器的地址相同的地址。尽管每一组240具有相同的地址组，但是组240A和240B的地址在不同类型的流体致动器之间被相反地分配。在所图示的示例中，每一组40的流体致动器具有包括地址A1至An的地址组。在所图示的示例中，组240A的流体喷射器232A具有偶数地址(例如0、2、4......n-1)，而组240A的流体泵234具有奇数地址(例如1、3、5......n)。相反，组240B的流体喷射器232B具有奇数地址(例如1、3、5......n)，而流体泵234B具有偶数地址(例如0、2、4......n-1)。

由于组240中的相同地址组在每一组240中的流体喷射器232与流体泵234之间被相反地分配，因此地址线24上的单个地址启用事件并发地启用不同组240中的不同类型的流体致动器。例如，导致地址启用信号跨地址线24传输以启用地址A3的单个地址启用事件可以导致组240A的地址A3处的流体喷射器232A针对随后致动事件而被启用，而同时还导致组240B的地址A3处的流体泵234B针对相同的随后致动事件而被启用。作为另一示例，导致地址启用信号跨地址线24传输以启用地址A4的单个地址启用事件可以导致组40A的地址A4处的流体泵234A针对随后致动事件而被启用，而同时还导致组240B的地址A4处的喷射器232B针对相同的随后致动事件而被启用。

流体管芯220的示例寻址方案可以促进流体喷射器232和流体泵234的致动次序中的更多灵活性。在其中流体喷射器232和流体泵234具有不同能量需求的示例中，流体管芯220的示例寻址方案可以促进降低的峰值电流。例如，在其中流体喷射器232具有较高能量需求并且流体泵34具有较低能量需求或峰值电流的一种实现方式中，流体喷射器的数目分摊在每一组240中的地址总数目之上，从而导致总数目的一半而非全部的流体喷射器在随后致动事件期间针对可能的致动而被启用。换言之，第一半流体喷射器可以针对第一致动事件期间的可能致动而被启用，而第二半流体致动器可以针对第二致动事件期间的可能致动而被启用。

图4和5示意性地图示了具有流体喷射控制器310和流体管芯320的示例流体喷射系统300的部分，流体管芯320具有与以上关于流体管芯220描述的相同的地址方案。如关于流体管芯220那样，流体管芯320包括以连接到流体致动器地址线24的流体喷射器332和流体泵334的形式的流体致动器的阵列。流体喷射器332和流体泵334沿地址线24配对，其中每一个流体泵334向和/或从相关联的流体喷射器332循环流体。流体喷射器332和流体泵334布置在流体喷射器/流体泵的基元或组340A、340B中。尽管图4，为了易于图示，描绘了针对组340A、340B中的每一个的流体喷射器332和相关联的泵334的单个对，但是应当领会到，组340A、340B可以各自包括沿地址线24的流体喷射器332/流体泵334对的阵列。

如通过图4进一步示出的，每一个流体喷射器332是具有喷射腔352的喷嘴350的部分，喷射腔352具有孔口354并且流体喷射器332位于其中。每一个喷射腔352通过流体输入358和微流体通道360流体连接到流体供给356。在所图示的示例中，每一个流体输入358和微流体通道360促进流体循环到喷射腔350中，通过和跨过喷射腔352并且离开喷射腔352回到流体供给356。在所图示的示例中，这样的循环通过微流体通道360内的流体泵334促进。

在一种实现方式中，流体供给356包括向管芯320的每一组340中的每一个流体喷射器332供给流体的细长槽。在另一实现方式中，流体供给356可以包括墨馈送孔的阵列。在一种实现方式中，流体供给356还向位于流体供给356的相对侧上的流体喷射器332和流体泵334的基元或组340供给流体。在一些实现方式中，流体管芯320可以包括多个基元和组，其类似于流体管芯120上所示的布置。

在所图示的示例中，每一个流体喷射器332和每一个流体泵334包括触发逻辑(L)370，其控制以流体喷射器332的形式或以流体泵334的形式的流体致动器的点火或致动。图5示意性地图示了在流体管芯320上并且与以流体喷射器332或流体泵334的形式的流体致动器相关联的触发逻辑370的一个示例。如通过图5所示，触发逻辑370包括晶体管372和逻辑元件(LE)374。晶体管372是响应于从逻辑元件374接收的信号而选择性地向流体喷射器332或流体泵334传输电压Vpp的开关。

逻辑元件374包括电子电路和组件，其响应于基元启用线或地址线378和地址线24二者有效而向晶体管372传递致动或点火信号。在一种实现方式中，逻辑元件374包括门或其它与逻辑电路(示意性地图示)，其响应于从地址线24接收到地址信号并且还从数据、基元选择或基元启用线378接收到基元启用数据信号而向晶体管372的栅极传输从点火脉冲线376接收的控制信号或点火脉冲信号。尽管在图4中为了易于图示而未示出，但是点火脉冲线376和基元启用线378也驻留在流体管芯320的衬底22上。在其它实现方式中，逻辑元件374可以包括其它形式的电气电路。例如，在其它实现方式中，基元启用数据信号和点火脉冲信号可以在上游组合(诸如在基元层级处)或可以反转。

应当领会到，在一些实现方式中，不同类型的流体致动器，诸如流体喷射器332和流体泵334，可以具有传输具有不同特性的点火脉冲(诸如具有不同频率、振幅和/或持续时间的点火脉冲)的分离或专用的点火脉冲线376。例如，每一个流体喷射器332可以连接到第一点火脉冲线376，而每一个流体泵334连接到分离且不同的点火脉冲线376。

基元启用线378在流体喷射器332、流体泵334所属于的特定基元或组340要针对点火而被启用时接收数据信号。在所图示的示例中，响应于接收到地址线24上的地址启用信号和基元启用线378上的基元启用信号或数据信号的组合，流体喷射器332、流体致动器334依照在线376上接收到的点火脉冲而被致动。

流体喷射控制器310向流体管芯320传输信息分组，其中管芯320上的逻辑解析出指令，指令关于要针对特定致动事件启用哪个地址以及还要启用哪些打印机或组340，使得接收到地址启用信号和基元启用信号二者的不同组340的那些流体喷射器332和流体泵334按照在线376上接收到的点火脉冲信号而被致动。图6是用于致动具有不同操作特性并且布置在流体管芯上的不同基元和组中的流体致动器的示例方法400的流程图。尽管方法400被描述为由具有以流体喷射器和流体泵的形式的不同流体致动器的示例流体喷射系统300实施，但是方法400还可以利用具有不同操作特性的不同流体致动器的任何组来实施。例如，方法400可以同样地利用不同流体喷射器的组来实施，每一组具有至少两种类型的流体喷射器，诸如具有不同液滴重量或其它不同操作特性的不同类型的流体喷射器。方法400可以同样地利用不同流体泵的组来实施，每一组具有至少两种类型的流体泵，其具有不同的能量需求。

如通过块404所指示的，地址线24向流体致动器332、334的第一组340A和第二组340B中的每一个传输地址启用信号。地址启用信号启用管芯20的流体致动器线24上的单个地址。

如通过块406所指示的，响应于在块404中传输的地址启用信号，在第一组流体致动器340A中并且具有由地址启用信号启用的地址的第一类型的流体致动器中的第一致动器针对随后致动事件期间的致动而被启用。参照图5，地址启用信号由第一流体致动器的逻辑元件374接收。

如通过块408所指示的，响应于在块404中传输的地址启用信号，在第二组流体致动器340B中并且具有由地址启用信号启用的地址的第二类型的流体致动器中的第二致动器针对随后致动事件期间的致动而被启用。参照图5，地址启用信号由第二流体致动器的逻辑元件374接收。第一流体致动器和第二流体致动器是不同类型的流体致动器。关于示例流体管芯320，第一致动器可以以流体喷射器332的形式，而第二致动器可以以流体泵334的形式，或者反之亦然。

如通过块410所指示的，向第一组流体致动器340A和第二组流体致动器340B的每一个流体致动器，每一个流体喷射器332和每一个流体泵334传输基元启用信号(有时还称为数据信号)。参照图5，基元启用信号由逻辑元件374跨第一组流体致动器340A和第二组流体致动器340B的每一个流体喷射器332和每一个流体泵334的线378接收。尽管将块406和408图示为在块410之前发生，但是应当领会到，块406、408和410可以以任何次序实施。

如通过块412所指示的，向第一组流体致动器和第二组流体致动器传输点火脉冲信号。点火脉冲信号控制在致动期间传输至流体致动器的每一个逻辑脉冲的时序、频率和持续时间。如以上所指示的，在一些实现方式中，点火脉冲信号可以独立于基元启用和地址信号而传输。在其它实现方式中，点火脉冲信号可以在上游与基元启用/数据信号组合。

如通过块414所指示的，响应于第一流体致动器接收到地址线24上的地址启用信号和打印启用线378上的基元启用信号的组合，第一组流体致动器340A中的第一类型的第一致动器按照在相关联的点火脉冲线376上接收的点火脉冲而被致动。如通过块416所指示的，响应于第一流体致动器接收到地址线24上的地址启用信号和基元启用线378上的基元启用信号的组合，第二组流体致动器340B中的第二类型的第二致动器按照在相关联的点火脉冲线376上接收的点火脉冲而被致动。在一些实例中，第一致动器可以接收地址线24上的地址启用信号而不接收基元启用线378上的基元启用信号，导致第一致动器不被致动或点火。同样地，在一些实例中，第一致动器可以接收基元启用线378上的基元启用信号而不接收地址线24上的地址启用信号，导致第一致动器不被点火。相同的逻辑关于第二致动器而适用。

图7是另一示例流体管芯520的示意图。微流体管芯520类似于微流体管芯320，除了微流体管芯520被图示为包括以向3136个流体致动器供给流体的流体槽556的形式的流体供给，3136个流体致动器在流体泵与流体喷射器之间交替，在槽556的任一侧上，并且布置在基元或组540(1-391)中，每一组包括八个流体致动器，四个流体喷射器和四个流体泵。如图7示意性所示，喷射器与喷嘴孔口354相关联，而泵被包含在微流体通道360内并且与其相关联。

图7在更大规模上图示了以上关于流体管芯20、120和320所描述的寻址方案的使用。如通过图7所示，在槽556的侧部上的每一对邻近或连续的基元，组中的地址组是被相反指派到喷射器332和泵334的基元540。例如，在基元2中，喷射器具有偶数地址(0、2、4、6)而泵具有奇数地址(1、3、5、7)。相反，在邻近或连续的基元4中，喷射器具有奇数地址(1、3、5、7)而泵具有偶数地址(0、2、4、61、3、5、7)，相同方案关于基元1、3、基元390、392、基元389、391等等适用。

如关于以上描述的流体管芯220那样，流体管芯520的示例寻址方案可以促进流体喷射器332和流体泵334的致动次序中的更多灵活性。在其中流体喷射器332和流体泵334具有不同能量需求的示例中，流体管芯520的示例寻址方案可以促进降低的峰值电流。例如，在其中流体喷射器332具有较高能量需求并且流体泵334具有较低能量需求或峰值电流的一种实现方式中，流体喷射器的数目分摊在每一组540中的地址总数目之上，从而导致总数目的一半而非全部的流体喷射器针对随后致动事件期间的可能致动而被启用。换言之，第一半流体喷射器可以针对第一致动事件期间的可能致动而被启用，而第二半流体致动器可以针对第二致动事件期间的可能致动而被启用。

图8是具有数据垫621、数据解析器622和地址线624的另一示例流体管芯620的部分的示意图。流体管芯620附加地包括以上关于图4和5图示和描述的那些组件中的每一个，诸如以流体喷射器332和流体泵334的形式的不同流体喷射器的基元或组340，以及流体输入358、微流体通道360和喷嘴350的组件，诸如喷射腔352和孔口354。在所图示的示例中，每一组340包括八个流体致动器，四个流体喷射器332和四个流体泵334。如应当领会到的，在其它实现方式中，诸如基元或组可以包括更大或更小数目的这样的流体致动器。每一个流体喷射器332、流体泵334可以包括如以上图示和描述的触发逻辑370，但是其中流体致动器地址线24被流体致动器地址线624取代，如图8中所图示的。

数据垫621包括通过其从流体喷射控制器310(图5中所示)接收数据分组的电气连接，数据解析器622包括解析数据分组以识别要针对特定致动事件而被启用的所指定的流体致动器地址的电子器件或逻辑。数据解析器622可以基于所指定的流体致动器地址而沿地址线624传输信号。

图8图示了流体致动器地址线624及其对组340A和340B的流体喷射器332和流体泵334的连接。流体致动器地址线624包括地址位线680、互补地址位线682和地址解码逻辑元件682。地址位线680包括衬底22上的导电导线或迹线，其表示三位，Addr(0)、Addr(1)和Addr(2)，并且其基于连接到相应地址解码逻辑元件682的流体致动器332、334的二进制地址而连接到或不连接到相应的地址解码逻辑元件682。例如，如通过图8所示，具有地址“0”的组340A的最顶部流体喷射器332具有相关联的逻辑元件682，其不连接到Addr(2)(位值0)，其不连接到Addr(1)(位值0)并且其不连接到Addr(0)(位值0)，从而形成二进制值000或零。同样地，具有地址“1”的组340A的最顶部流体泵334具有相关联的逻辑元件682，其不连接到Addr(2)(位值0)，其不连接到Addr(1)(位值0)，并且其连接到Addr(0)(位值1)，从而形成二进制值001或一。以具有地址“2”的流体喷射器的形式的下个致动器具有相关联的逻辑元件682，其不连接到Addr(2)(位值0)，其连接到Addr(1)(位值1)，并且其不连接到Addr(0)(位值0)，从而形成二进制地址值010或二。该二进制连接方案针对组340A的流体喷射器332和流体泵334的其余地址3-7而继续。

以上关于组340A描述的相同二进制连接适用于组340B(以及流体管芯620的任何其它基元或组)。然而，如通过图8所示，组340B中的地址0-7的组被相反地指派到流体喷射器332和流体泵334。取代于流体喷射器332被指派偶数地址并且流体泵334被指派奇数地址，流体泵被指派偶数地址，而流体喷射器被指派奇数地址。如关于组340A那样，流体致动器地址线624的地址位线680基于流体喷射器332或流体泵334的地址而连接到每一个流体喷射器332或流体泵334的逻辑元件682。例如，具有地址“7”的流体喷射器332具有地址解码逻辑元件682，其连接到Addr(2)(位值1)，其连接到Addr(1)(位值1)，并且其连接到Addr(0)(位值一)，从而形成二进制地址值111或七。

互补地址位线682与地址位线680协作以传输信号，使得单独的地址解码逻辑元件682响应于单独的流体喷射器332或流体泵334被线624寻址而向其相应的流体喷射器332或流体泵334传输地址启用信号。互补地址位线682包括衬底22上的导电导线或迹线，其基于相应流体喷射器332、流体泵334的地址而连接到或不连接到不同的流体喷射器332和流体泵334的逻辑元件682。针对用于特定流体喷射器332或流体泵334的特定逻辑元件682的互补地址位线682具有作为相应地址位线680到相同的特定流体喷射器332或流体泵334的连接的相反物的连接。例如，在组340A中，具有地址“4”的流体喷射器332具有逻辑元件682，其连接到地址位线Addr(2)但是不连接到其余地址位线Addr(1)和Addr(2)以形成具有值4的二进制地址100。相应地，用于具有地址“4”的流体喷射器332的相同地址解码逻辑元件682以互补或相反的方式连接到地址位线682，不连接到Addr(2)而连接到Addr(1)和Addr(0)。在一种实现方式中，逻辑元件682和地址位线680和互补地址位线682中的每一个之间的连接在衬底22上利用金属2层跳线来制作。

在图8中图示的示例中，在流体喷射器332和流体泵334的组340中的每一个中要被启用的地址通过将不同的地址位线680和互补地址位线682选择性地连接到高“1”或低“0”电压水平来实施。这样的选择性连接可以通过致动逻辑利用晶体管或其它开关来做出。例如，为了沿线624传输地址“5”以并发地启用具有地址“5”的组340A中的流体泵334和具有地址“5”的组340B中的流体喷射器332，地址位线680的地址位线Addr(2)和Addr(0)以及互补地址位线N Addr(1)连接到高“1”电压水平。同时，地址位线680的地址位线Addr(1)以及互补地址位线682的地址位线N Addr(2)和N Addr(0)连接到低“0”电压，其为空值或零电压或负电压。其它流体喷射器332和流体泵334可以以类似的方式经由流体致动器地址线624接收启用信号。

在所图示的示例中，地址解码逻辑元件682包括与逻辑，诸如提供与逻辑的门或其它电子电路，其中输出导致对所有输入线为有效或信号的响应。在其它实现方式中，地址解码逻辑元件682可以包括解码沿位线680和682传输的地址的其它电子电路。再其它的实现方式，地址可以使用其它数目或组合的位线以及其它地址解码电路或元件沿地址数据线624传输。

在图4-5和图8中所示的示例中，描述了嵌入式寻址方案的示例。应当领会到，在其它实现方式中，可以采用除了嵌入式寻址方案之外的其他寻址方案。例如，采用地址线的直接布线的寻址方案可以被采用，其中流体致动器的基元的启用或点火次序交替，如以上所描述的那样。

尽管已经参照示例实现方式描述了本公开，但是本领域技术人员将认识到，可以在形式和细节方面做出改变而不脱离于所要求保护的主题的精神和范围。例如，尽管不同的示例实现方式可能已经被描述为包括提供一个或多个益处的一个或多个特征，但是设想到所描述的特征可以与彼此互换或可替换地与彼此组合在所描述的示例实现方式中或在其它可替换的实现方式中。由于本公开的技术相对复杂，因此并非技术中的所有改变都是可预见的。参照示例实现方式描述并且在随附权利要求中阐述的本公开清楚地意图为尽可能宽泛的。例如，除非具体另行指出，否则叙述单个特定元件的权利要求还涵盖多个这样的特定元件。权利要求中的术语“第一”、“第二”、“第三”等仅仅区分不同的元件，并且除非另行陈述，否则不与本公开中的元件的特定次序或特定编号具体相关联。