一种基板、用于基板定位的对位标记以及对位方法与流程

本发明涉及显示面板生产领域，具体涉及一种用于基板的对位标记以及对位方法。

背景技术：

显示面板由于其本身结构较为精细，因此，显示面板的生产过程要求也较为精细。因此，在显示面板的生产过程中，很多站点对于位置精度有很高的要求，例如曝光、检测等。

在现有技术中，高精度的定位一般分两个步骤，总结来说就是包括粗对位和细对位。一般来说，在粗对位正常的情况下，后续的采用高倍率镜头进行的细对位可以得到较为精确的对位结果。在进行粗对位和细对位的过程中，一般会在待对位物体表面设置对位标记(Mark)的方法来提高对位精度，从而提高定位精度。

如图1和图2所示，为现有技术中粗对位步骤中的对位标记在基板上的分布图，图3为图1中的对位标记的放大图。由图1和图3可知，现有技术中的对位标记为十字标记2，一般设置在待对位结构1的边角位置，图1中为一种矩形结构的待对位结构。十字标记2位于矩形结构1的四个角上。其中的圆形3表示对位系统的镜头视野范围，在对位过程中，只有整个十字标记2必须完全位于圆形3内才能真正的完成对位过程。因此，对位标记的可侦测范围肯定要小于对位系统的镜头视野范围，一般情况下对位标记的可侦测范围是很小的，例如1mm x 1mm(其中mm为长度单位毫米，1mm x 1mm表示对位标记的可侦测范围为横向和纵向个1mm的范围，具体如图2所示的十字标记)。

如图3所示，十字结构的中心21的坐标为(x，y)。在十字标记2完整出现在圆形3内，即十字标记2出现在对位系统的镜头视野中时，对位系统自动对准十字标记的中心21，记录该中心位置的坐标，从而完成粗对位步骤。

由于现有技术中，基板放置位置的偏差量为2mm，受到现有技术中的光学系统的视野范围的限制，粗对位步骤中的十字结构2的侦测范围较小，因此，很容易出现如图2中所示的十字标记2没有出现在对位系统的镜头视野中的情况，从而造成粗对位步骤的失败。如果让镜头在对位标记周围移动搜索则增加对位时间，降低机台的产出。在现有的设备和光学系统不改变的情况下，增大粗对位对位标记的可侦测范围是一个较为困难的问题。

技术实现要素：

为解决现有技术中的对位标记存在的侦测范围较小，容易造成粗对位失败的技术问题，本发明提供一种用于基板定位的定位标记及定位方法，还提供包括定位标记的基板，用以增加定位标记的侦测范围，提升粗对位的成功率。

根据本发明的一个方面，提供一种用于基板定位的对位标记，包括第一对位单元，所述第一对位单元为由待定位点向两侧延伸的长条状结构；所述长条状结构长边所在的方向为第一方向，与第一方向垂直的为第二方向；在所述长条状结构上沿第二方向上设置有第二对位单元，所述第二对位单元包括多个第二对位结构，所述第二对位结构沿第一方向间隔设置。

本发明中的对位标记设置有多个第二对位结构，因此，本发明中的对位标记扩大了对位标记在第一方向上的的侦测范围，从而提高了粗对位步骤成功的几率。

根据本发明的一个实施例，多个所述第二对位结构沿所述第一方向上，关于待定位点对称分布。

根据本发明的一个实施例，所述第二对位结构的个数为奇数，所述待定位点设置与位于中间的第二对位结构在第二方向的中心线上。

根据本发明的一个实施例，位于所述待定位点同一侧的第二对位结构非等间隔设置。

根据本发明的一个实施例，位于所述待定位点同一侧的第二对位结构，在所述长条状结构一侧的高度不同。

根据本发明的一个实施例，位于所述待定位点同一侧的第二对位结构，在所述长条状结构一侧在第二方向上的高度，随着离带定位点的距离的增加而逐渐增大或减小。

根据本发明的一个实施例，所述第二对位结构为矩形结构，所述矩形结构关于长条状结构在第一方向上的中心线对称。

根据本发明的另一个方面，还提供了一种用于基板定位的对位方法，其特征在于，包括以下步骤：

S10：在基板上设置以上所述的对位标记，

S20：将对位镜头的视野范围调整到对位标记的位置，

S30：对位系统对进入到对位镜头的视野范围内的对位标记进行分析，

S40：根据步骤S30中的分析结构得到待定位点的坐标。

根据本发明的一个实施例，所述步骤S30包括一下子步骤：

S31：选取进入镜头视野范围的两个第二对位结构，

S32：将对位镜头对准两个第二对位结构之间的中心位置，获得所述中心位置的坐标，

S33：根据步骤S32中心位置的坐标以及第二对位结构的位置确定待定为点的坐标。

根据本发明的另一个方面，还提供了一种基板，所述基板上设置有多个以上所述的用于基板定位的对位标记。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是现有技术中粗对位步骤中的对位标记在基板上的分布图；

图2是现有技术中粗对位步骤中的对位标记在基板上的分布图；

图3是图1中的对位镜头的视野范围内的对位标记的放大图；

图4是本发明实施中的用于基板定位的对位标记的结构示意图；

图5是发明实施例中的用于基板定位的对位标记在对位系统的对位镜头下是示意图；

图6是本发明实施例中的用于基板定位的对位方法流程图；

图7是图6中的步骤S30的子步骤的流程图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

本发明中的对位标记主要用于基板定位中的粗对位步骤。

如图4所示，为本发明实施例中的一种用于基板定位的对位标记，包括第一对位单元41，其中待定位点40位于基板上，在设计对位标记时，第一对位单元由待定位点向两侧延伸，得到如图4所示的长条状结构，长条状结构长边所在的方向为第一方向，在实际应用中，第一方向可以为水平方向也可以为竖直方向，当然对于特殊的情况下还可以为其他任意方向，一般要求在第一方向上对位系统的精度较高，不易发生偏移，例如在曝光工序中，第一方向常为水平方向，待定位基板在一般为矩形结构，此时的第一方向一般与矩形结构其中的一边平行。如图3所示，在第一对位单元41沿第二方向上设置有第二对位单元42，所述第二对位单元有多个第二对位结构。第二对位结构沿第一方向间隔设置。

优选的，如图4图5所示，多个第二对位结构沿所述第一方向上，关于待定位点40对称分布。

在一些实施例中，第二对位结构的个数可以为偶数个，例如可以为2个、4个、6个或8个等，此时，将待定位点40位于两个第二对位结构中间的位置。

优选的，第二对位结构的个数为奇数，例如可以为3个、5个、7个或9个等，此时待定位点40设置与位于中间的第二对位结构在第二方向的中心线上。如图4所示，定位点40位于中间第二对位结构420上。

在一些实施中，当第二对位结构有两个以上时，相邻的第二对位结构之间的间隔设置为各不相同。

优选的，在待定位点40一侧的第二对位结构，在所述长条状结构一侧在第二方向上的高度，随着离带定位点的距离的增加而逐渐增大或减小。如图4和图5所示，第二对位结构的个数为7个，中间一个，另外6个分三组关于中间一个对称设置。设置在中间的第二对位结构的高度最小为L0，关于待定位点对称设置的第一组第二对位结构421和421`的高度为L1，第二组第二对位结构422和422`的高度为L2，第三组第二对位结构423和423`的高度为L3，其中L0<L1<L2<L3。有规律的设置第二对位结构的高度，可以方便系统对于待定位点的位置的判断。

如图4和图5所示的第二对位结构为矩形结构，所述矩形结构沿长条状结构在第一方向上的中心线对称。当然第二对位结构还可以为其他形状，只要可以起到标识作用即可。矩形结构对称性好，同时可以将其宽度w设置为较小的值，此时，可以看作若干条小的直线。在面板制作中要求对位标记的尺寸较小，而举行结构无论是在长度还是宽度方面均可以方便制作成很小的尺寸，因此，将第二对位结构选做矩形是最为合适的。

下面结合图4和图5，来对对位方法进行一个较为细致的说明，为了便于理解，本实施例中，仅仅就图4和图5中所示出的结构来进行说明。本实施例中的结构是本发明中的对位标记最佳实施例。但是并不作为对本发明的具体限定。

图4中的对位标记结构是设置在待定位的基板上的，具体可以参照图1进行设置，一般的定位基板的待定位点位于基板的边缘处，对位标记与待定位点对应设置。通常情况下，对位标记在基板上成对或者成组设置，具体设置方法与基板的尺寸以及定位系统的需要有关，本领域技术人员可以根据需要进行设置，在此不再赘述。

下面就根据图4和图5对用于基板定位的对位方法进行具体说明。

图6为本发明中的用于基板定位的对位方法的流程图，包括以下步骤：

S10：在基板上设置如图4所示的对位标记，

S20：将对位镜头的视野范围51调整到对位标记的位置，

S30：对位系统对进入到对位镜头的视野范围内的对位标记进行分析，

S40：根据步骤S30中的分析结构得到待定位点的坐标。

优选的，图7为步骤30进一步进行分解的流程图，步骤S30包括一下子步骤：

S31：选取进入镜头视野范围的两个第二对位结构，

S32：将对位镜头对准两个第二对位结构之间的中心位置，获得所述中心位置的坐标，

S33：根据步骤S32中心位置的坐标以及第二对位结构的位置确定待定为点的坐标。

具体的，由于对位系统有一定的精确度，例在一种对位系统的对位过程中，基板在对位系统上一般在竖直方向的坐标值准确度较高，因此，对位不准一般发生在水平方向上。此时，将对位标记的第一对位单元沿水平方向设置。

在定位过程中，进入到粗对位步骤时，对位系统的对位镜头的视野范围在对位标记的位置进行搜索。假设，对位镜头的范围中出现的是第三组第二对位结构中的423以及第二组第二对位结构中的422。此时，对位系统自动对准镜头视野范围内的两个第二对位结构的中心位置43，中心位置51的坐标为(x，y)。首先，根据两个第二对位结构的高度可知，由于423的高度为L3，422的高度为L2，而L3大于L2，并且在视野范围51内较高的一个位于左侧，因此，可以判断中心位置43位于待定位点40的左侧。

然后，由于7个第二对位结构的宽度均为w，其中的第二对位结构之间的间隔值也是固定。第二对位结构是关于待定位点40对称设置的。在本实施中，间隔值的大小如图所示，具体的a<b<c；其中的a、b、c和w均为已知值。

因此，可以判定待定位点40的坐标为(c/2+b+a+2.5*w，y)。

本实施例中，所示的对位方法可以适用于其他的情况，例如出现在对位镜头视野范围内的为其他的第二对位结构时，仅仅是数值有所变化。

本实施例中的，对位镜头的视野范围的直径为R，为了便于系统对于整个方法过程的简便性，一般要求将a、b和c的值进行限定。当视野范围内只出现两个第二对位结构时，利用本实施例中的方法是最节约系统的计算时间的，因此，优选的，规定c<R<2a。当R与c大小很接近时，可以通过减小第二对位结构的高度值来保证第二对位结构可以出现在对位镜头的视野范围内。

本发明中的基板、用于基板定位的对位标记以及对位方法，相对于现有技术存在很多优势。由于在现有技术中的对位标记的可侦测范围为1mm左右，当对位标记不能落入到现有的对位镜头的视野范围内时，无法完成粗定位步骤，尤其，在基板放置位置偏斜时会发生这样的问题。在本发明中，可以有效扩大了对位标记的侦测范围，即部分对位标记落入到对位镜头的视野范围内即可。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。