显示装置的制造方法_5

文档序号:9713644阅读:来源:国知局
。尤其是如在具有高清晰度的显示部103的显示装置中,在滤色片321与像素需要以高精度对准的情况下,各个层在被固定于诸如玻璃衬底等支撑衬底上时被贴合,由此滤色片321与像素可以以高精度对准。通过上述方法,可以制造高清晰度的柔性的显示装置。
[0197]注意,虽然在图9中示出使用发光元件作为显示元件的情况,但是本发明的一个实施方式不局限于此。作为显示元件,也可以使用液晶元件、电泳元件(电子纸)等。优选使用电泳元件作为柔性显示装置的一个实施方式,因为不需要背光。
[0198][显示装置的配置实例2]
[0199]在本配置实例中,说明具有底面发射结构的显示装置。注意,在此不说明与上述结构实例1重复的部分。
[0200 ]图10是本结构实例中说明的显示装置350的截面示意图。
[0201]显示装置350与结构实例1中说明的显示装置300主要在如下几点下不同。在显示装置350中,滤色片321设置在发光元件340与衬底354之间。并且,柔性衬底353直接接触于密封层352,且没有设置显示装置300中的剥离层343和粘合层342。
[0202]在发光元件340中,第一电极333使用透光材料,且第二电极337使用反射材料。因此,来自EL层335的发光透过衬底354发射。
[0203]另外,滤色片321设置在覆盖晶体管的绝缘层318上的与发光元件340重叠的位置上。设置有覆盖滤色片321的绝缘层317。
[0204]作为衬底353,优选使用不使来自衬底353的外侧的诸如水等杂质透过的材料。或者,优选在与密封层352接触的衬底253的表面上设置由上述具有抑制杂质扩散的功能的绝缘材料形成的膜。
[0205][材料及形成方法]
[0206]下面,将对能够用于上述各构成要素的材料及其形成方法进行说明。
[0207]〈柔性衬底〉
[0208]作为柔性衬底的材料,可以使用有机树脂或足够薄以具有柔性的玻璃衬底等。
[0209]这种材料的例子是诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等的聚酯树脂、聚丙烯腈树脂、聚酰亚胺树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、聚碳酸酯(PC)树脂、聚醚砜(PES)树脂、聚酰胺树脂、环烯烃树脂、聚苯乙烯树脂、聚酰胺-酰亚胺树脂及聚氯乙烯树脂。尤其是,可以适用热膨胀系数低的材料,例如,优选是热膨胀系数为30X10—6/K以下的材料,且可适合使用聚酰胺-酰亚胺树脂、聚酰亚胺树脂或PET等。还可以使用在纤维体中浸润有树脂的衬底(也称为预浸料)或通过混合无机填料与有机树脂来使热膨胀系数降低的衬底。
[0210]当上述材料中含有纤维体时,使用有机化合物或无机化合物的高强度纤维作为纤维体。高强度纤维具体是指拉伸弹性模量高的纤维或杨氏模量高的纤维。其典型例子为聚乙烯醇类纤维、聚酯类纤维、聚酰胺类纤维、聚乙烯类纤维、芳族聚酰胺类纤维、聚对苯撑苯并双噁唑纤维、玻璃纤维及碳纤维。作为玻璃纤维的例子,可以举出使用E玻璃、S玻璃、D玻璃、Q玻璃等的玻璃纤维。可以在织布或无纺布的状态下使用上述纤维体,并且,也可以使用在该纤维体中浸润有树脂并使该树脂固化而形成的结构体作为柔性衬底。因为可以提高防止弯曲或因局部挤压而引起的破损的可靠性,所以优选使用包括纤维体和树脂的结构体作为柔性衬底。
[0211 ]将能够使从EL层335发射的光透过的材料用于使从发光元件340发射的光透过的柔性衬底。为了提高设置于光射出一侧的材料的光取出效率,优选具有柔性、透光性的材料的折射率高。例如,通过在有机树脂中分散折射率高的无机填料而得到的衬底可以具有高于仅由该有机树脂构成的衬底的折射率。尤其是,优选使用具有如40nm以下小的粒径的无机填料,这样的填料可以维持光学透明性。
[0212]由于设置在与光射出侧的相反一侧的衬底不需要具有透光性,因此可以与上述衬底同样地使用金属衬底等。为了获得柔性或弯曲性,金属衬底的厚度优选为ΙΟμπι以上且200μπι以下,更优选为20μπι以上且50μπι以下。虽然对于构成金属衬底的材料没有特别的限制,但是优选使用例如铝、铜、镍、诸如铝合金或不锈钢等金属合金等。作为设置在不使光透过的一侧的柔性衬底,优选使用含有金属或合金材料的导电性衬底,这样可以提高对发光元件340所发出的热的散热性。
[0213]当使用导电性衬底时,优选使用以使衬底的表面氧化或在衬底的表面上形成绝缘膜的方式经受绝缘处理的衬底。例如,可以利用电沉积法、诸如旋涂法或浸渍法等涂敷法、诸如丝网印刷法等印刷法、诸如蒸镀法或溅射法等沉积法在导电性衬底的表面上形成绝缘膜。或者,也可以通过暴露在氧气氛下或在氧气氛下进行加热的方法或阳极氧化法等方法使衬底表面氧化。
[0214]当柔性衬底具有不平坦表面时,为了覆盖该不平坦以形成平坦的绝缘表面,可以设置平坦化层。平坦化层可以使用绝缘材料;可以使用有机材料或无机材料。平坦化层可以利用诸如溅射法等沉积法、诸如旋涂法或浸渍法等涂敷法、诸如喷墨法或分配器法等喷出法、诸如丝网印刷法等印刷法等形成。
[0215]作为柔性衬底,也可以使用层叠有多个层的材料。例如,可以使用层叠有两种以上的由有机树脂形成的层的材料、层叠有由有机树脂构成的层和由无机材料形成的层的材料、或层叠有两种以上的由无机材料构成的层的材料。通过由无机材料形成的层,防止水分等进入内部,于是可以提高发光装置的可靠性。
[0216]作为无机材料,可以使用金属或半导体的氧化物材料、氮化物材料或氧氮化材料等。例如,可以使用氧化娃、氮化娃、氧氮化娃、氧化铝、氮化铝或氧氮化铝。
[0217]例如,当层叠由有机树脂形成的层和由无机材料形成的层时,可以利用溅射法、CVD法或涂敷法等在由有机树脂形成的层的上层或下层形成由无机材料形成的层。
[0218]〈发光元件〉
[0219]在发光元件340中,将能够使从EL层335发射的光透射的透光性材料用于设置在光射出一侧的电极。
[0220]作为透光材料,可以使用氧化铟、氧化铟-氧化锡、氧化铟-氧化锌、氧化锌、添加有镓的氧化锌等。也可以使用石墨烯。上述电极的导电层可以使用诸如金、银、铂、镁、镍、钨、铬、钼、铁、钴、铜、钯和钛等金属材料;或包含任意的上述金属材料的合金来形成。也可以使用金属材料等的氮化物(例如,氮化钛)等。当使用金属材料(或者其氮化物)时,将其厚度设定为足够小以能够透射光。此外,也可以将包括任何上述材料的叠层用作上述电极的导电层。例如,优选使用包括银-镁合金与氧化铟-氧化锡的叠层膜等,这样可以提高导电性。
[0221]这样的电极通过蒸镀法或溅射法等形成。可以使用诸如喷墨法等喷出法、诸如丝网印刷法等印刷法、或镀覆法。
[0222]注意,当通过溅射法形成具有透光性的上述导电氧化物时,通过使用包含氩和氧的沉积气氛,可以提高透光性。
[0223]此外,当在EL层上形成导电氧化物膜时,优选将在具有减小的氧浓度的包含氩的气氛下形成的第一导电氧化物膜和在包含氩和氧的气氛下形成的第二导电氧化物膜层叠,这样可以减少对EL层的成膜损坏。此时,在形成第一导电氧化物膜时,优选使用具有高纯度的氩,例如使用露点为_70°C以下,优选为-100°C以下的氩气。
[0224]优选将能够反射从EL层335发射的光的材料用于设置在与光射出侧相反的一侧的电极。
[0225]作为光反射材料,例如可以使用诸如招、金、铀、银、镍、妈、络、钼、铁、钴、铜或钯等金属或包含上述任何金属的合金。此外,也可以向这些金属或合金添加镧、钕或锗等。此外,可以使用如下中的任一个:诸如铝和钛的合金、铝和镍的合金、铝和钕的合金等包含铝的合金(铝合金);以及诸如银和铜的合金、银、钯和铜的合金、银和镁的合金等包含银的合金。由于银和铜的合金的耐热性高,所以是优选的。并且,通过以与铝合金膜接触的方式层叠金属膜或金属氧化物膜,可以抑制铝合金膜的氧化。该金属膜或金属氧化物膜的材料的例子是钛及氧化钛。此外,也可以使用包含任何上述透光材料的膜与包含任何上述金属材料的膜的叠层。例如,可以使用包括银与氧化铟-氧化锡的叠层膜、包括银-镁合金与氧化铟-氧化锡的置层I旲等。
[0226]上述电极通过蒸镀法或溅射法等形成。可以通过诸如喷墨法等喷出法、诸如丝网印刷法等印刷法、或镀覆法形成。
[0227]EL层335至少包括包含发光有机化合物的层(下面,也称为发光层),且既可以为单层,又可以为包括多个层的叠层。层叠有多个层的结构的例子是从阳极一侧依次层叠有空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层的结构。注意,除了发光层之外的所有上述层不一定设置在EL层335中。此外,可以设置任何上述层的多个层。具体而言,在EL层335中,多个发光层可以彼此重叠或另一空穴注入层也可以与电子注入层重叠。另外,作为中间层,除了电荷产生层之外,可以适当地追加诸如电子中继层等另一组件。此外,例如也可以层叠多个呈现不同颜色的发光层。例如,通过层叠发射互补色的光的两个以上的层,可以得到白色发光。
[0228]EL层335可以通过真空蒸镀法、诸如喷墨法或分配器法等喷出法或诸如旋涂法等涂敷法形成。
[0229]〈粘合层和密封层〉
[0230]作为粘合层和密封层,例如可以使用诸如在常温下固化的两组分混合型树脂、热固化树脂或光固化树脂等凝胶或固化材料。例如,可以使用环氧树脂、丙烯酸树脂、硅酮树月旨、酚醛树脂、聚酰亚胺、聚氯乙烯(PVC)、聚乙烯醇缩丁醛(PVB)或乙烯-醋酸乙烯酯(EVA)。尤其是,诸如环氧树脂等透湿性低的材料是优选的。
[0231 ]粘合层及密封层中可以含有干燥剂。例如,可以使用碱土金属的氧化物(例如,氧化钙或氧化钡)等通过化学吸附吸收水分的物质。或者,作为干燥剂,可以使用诸如沸石或硅胶等通过物理吸附吸收水分的物质。在对发光装置应用干燥剂的情况下,当采用粒状的干燥剂时,从发光元件340的发射的光被该干燥剂漫反射;由此,可以实现尤其对照明等有用的可靠性高且视角依赖性得到改善的发光装置。
[0232]〈滤色片及黑矩阵〉
[0233]设置滤色片321,以便对从发光元件340发射的光的颜色进行调整以提高色纯度。例如,在使用白色发光元件的全彩色显示装置中,使用设置有不同颜色的滤色片的多个像素。此时,滤色片可以是红色(R)、绿色(G)及蓝色(B)的三种颜色的滤色片或是四种颜色的滤色片(上述三种颜色加上黄色(Y))。此外,可以在R像素、G像素、B像素(及Y像素)中添加白色(W)像素。由此,可以使用四种颜色(或五种颜色)的滤色片。
[0234]在相邻的滤色片321之间设置有黑矩阵322。黑矩阵322遮蔽像素以使其不被从相邻的像素的发光元件340发射的光照射,由此防止相邻的像素之间的混色。当滤色片321以其端部与黑矩阵322重叠的方式设置时,可以抑制光泄漏。可以使用遮挡从发光元件340发射的光的材料形成黑矩阵322,例如,金属或包含颜
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