专利名称：彩色滤光片及其制作方法
技术领域：
本发明涉及一种彩色滤光片及其制作方法，尤指一种应用于彩色显示器的彩色滤光片及其制作方法。
背景技术：
随着电子信息产业的蓬勃发展，液晶显示器(liquid crystal display, LCD)的应用范围以及市场需求也不断在扩大，从小型产品，如电子手表，到可携带式信息产品，如个人数字助理(PDA)、笔记本计算机(notebook),以至于未来非常可能商业化的大画面显示器。由于液晶显示器重量轻、体积小，同时又具有耗电量少以及无辐射污染的优点，因此被广泛应用在上述消费及信息产品上。举例来说，薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystaldisplay, TFT-LCD)基本上包含有薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光片(color filter)基板、以及填充于薄膜晶体管阵列基板与彩色滤光片基板之间的液晶材料。
在传统薄膜晶体管液晶显示器的制作过程中，制作彩色滤光片的方法主要包含有红(red,R)、绿(green, G)、蓝(Wue， B)三原色光致抗蚀剂浆料的旋转涂布、对位曝光、以及显影工艺等三步骤。然而，传统彩色滤光片制作过程的光致抗蚀剂浆料的使用率只有约1 2%,约有九成的光致抗蚀剂浆料会在旋转涂布的过程中被甩出，之后又会有约七成的光致抗蚀剂浆料在显影的过程中被溶解移除。此外，传统上制作彩色滤光片的方法需要针对每一种颜色的光致抗蚀剂浆料各进行一次涂布工艺、预烤工艺、曝光工艺与显影工艺，使得工艺繁复且耗能高。为了改善此缺点，目前业界开始利用喷墨工艺方法来改善传统利用旋转涂布方式来制作彩色滤光片的缺点。
请参照图1,图1为已知喷墨工艺的方法示意图。如图1所示，首先提供玻璃基板26，接着利用喷墨设备20于玻璃基板26上制作所需的彩色滤光片图案。其中喷墨设备20包含有至少一喷墨头(以下简称喷头)22以及控制机台(图未示)，而玻璃基板26表面则包含有黑色矩阵图案(black matrix pattern,BM pattern)28,用来遮蔽不当反射或折射的光线。然后利用喷头22直接对玻璃基板26进行喷涂，依照不同工艺与产品的需求把各色的光致抗蚀剂浆料24喷涂于黑色矩阵图案28之间。待各色的光致抗蚀剂浆料24皆喷涂完成后，再对光致抗蚀剂浆料24进行硬化工艺，以形成稳定的彩色光致抗蚀剂，完成彩色滤光片IO的制作。
然而，于已知喷墨工艺中常会发生光致抗蚀剂浆料24溢流的情况。如图2所示，在完成第一道蓝色光致抗蚀剂浆料25B喷墨之后，进行第二道红色光致抗蚀剂浆料25R喷墨的时，红色光致抗蚀剂浆料25R会朝向蓝色光致抗蚀剂浆料25B的方向发生溢流，使得各色的光致抗蚀剂浆料互相混合。如此一来，所制作出的彩色滤光片10会具有色彩分布不均的问题，采用此彩色滤光片IO的显示器更会具有严重的色偏现象。
发明内容
因此本发明主要目的之一在于提供一种改良的制作彩色滤光片的方法，以改善已知彩色光致抗蚀剂浆料溢流等问题。
根据本发明的一优选实施例，彩色滤光片包含有基板、多个像素区域设置于基板表面，以及多个彩色光致抗蚀剂。各像素区域皆包含有多个次像素区域，且各彩色光致抗蚀剂对应设置于各次像素区域内。彩色光致抗蚀剂包含有多个亲水性光致抗蚀剂与多个疏水性光致抗蚀剂，其中亲水性光致抗蚀剂与疏水性光致抗蚀剂彼此交替排列。
根据本发明的另一优选实施例，本发明另提供一种制作彩色滤光片的方法。首先提供基板，基板表面包含有多个像素区域，且各该像素区域包含有多个次像素区域。接着，于各次像素区域内形成彩色光致抗蚀剂。彩色光致抗蚀剂包含有多个亲水性光致抗蚀剂与多个疏水性光致抗蚀剂，其中亲水性光致抗蚀剂与疏水性光致抗蚀剂彼此交替排列。
为让本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施方式，并配合附图，作详细说明如下。然而如下的较佳实施方式与图式仅供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制者。
图1为已知喷墨工艺的方法示意图。图2为已知浆料溢流的示意图。图3、 4、 5、 6、 7和8绘示的是本发明第一优选实施例制作彩色滤光片的方法示意图。
图9和图10绘示的是本发明第二优选实施例制作彩色滤光片的方法的示意图。
图11绘示的是本发明第三优选实施例的彩色滤光片的俯视示意图。图12绘示的是本发明第四优选实施例的彩色滤光片的俯视示意图。图13绘示的是本发明第五优选实施例的彩色滤光片的俯视示意图。图14绘示的是本发明第六优选实施例的彩色滤光片的俯视示意图。图15绘示的是本发明第七优选实施例的像素区域的俯视示意图。图16绘示的是本发明第八优选实施例的像素区域的俯视示意图。图17绘示的是本发明第九优选实施例的像素区域的俯视示意图。图18绘示的是本发明第十优选实施例的像素区域的俯视示意图。附图标记说明
10彩色滤光片20喷墨设备
22喷头24光致抗蚀剂浆料
25B蓝色光致抗蚀剂浆料25R红色光致抗蚀剂浆料
26玻璃基板28黑色矩阵图案
50彩色滤光片52像素阵列
54像素区域56次像素区域
60喷墨设备62喷头
64R红色光致抗蚀剂浆料64G绿色光致抗蚀剂浆料
64B蓝色光致抗蚀剂浆料64Y黄色光致抗蚀剂浆料
65R红色光致抗蚀剂65G绿色光致抗蚀剂
65B蓝色光致抗蚀剂65Y黄色光致抗蚀剂
66基板67G绿色光致抗蚀剂
70黑色矩阵图案72亲水性光致抗蚀剂
74疏水性光致抗蚀剂76紫外灯
具体实施例方式
请参阅图3至图8，其绘示的是本发明第一优选实施例制作彩色滤光片的方法示意图，其中相同的元件或部位沿用相同的符号来表示。图4绘示的是图3所示的彩色滤光片的俯视示意图，且图8绘示的是图7所示的彩色滤光片的俯视示意图。需注意的是图式仅以说明为目的，并未依照原尺寸作图。如图3所示，首先提供基板66,例如玻璃基板，基板66表面具有黑色矩阵图案70,可用来遮蔽不当反射或折射的光线，以提高显示器的对比度，并藉以定义出多个次像素区域56。
如图4所示，基板66表面定义有像素阵列52,像素阵列52包含有多个呈阵列方式排列的像素区域54。在此实施例中，各像素区域54皆包含有四个次像素区域56。换句话说，各像素区域54的次像素区域56可以彼此平行且并排，排列成一个四行一列的阵列。
如图5所示，接着利用喷墨设备60于基板66上的各次像素区域56内各喷涂所需的彩色光致抗蚀剂浆料。喷墨设备60可包含有多个喷头62，以及用来供给彩色光致抗蚀剂浆料并控制喷头62移动方向的控制机台(图未示)。其中，位于奇数行的彩色光致抗蚀剂浆料为亲水性光致抗蚀剂72，且位于偶数行的彩色光致抗蚀剂浆料为疏水性光致抗蚀剂74。根据产品的类型与需求，彩色光致抗蚀剂浆料可以具有各种所需的颜色。举例来说，各像素
64R、绿色光致抗蚀剂浆料64G、蓝色光致抗蚀剂浆料64B与黄色光致抗蚀剂浆料64Y。其中，基板66表面所喷涂的红色光致抗蚀剂浆料64R与蓝色光致抗蚀剂浆料64B皆为亲水性光致抗蚀剂72，而基板66表面所喷涂的绿色光致抗蚀剂浆料64G与黄色光致抗蚀剂浆料64Y皆为疏水性光致抗蚀剂74。
在此实施例中，用来输出各色光致抗蚀剂浆料的喷头62经过适当的配置，使得各喷头62能恰好对应至各次像素区域56。因此，本实施例的红色光致抗蚀剂浆料64R、绿色光致抗蚀剂浆料64G、蓝色光致抗蚀剂浆料64B与黄色光致抗蚀剂浆料64Y可以于同 一喷墨工艺中同时喷涂完成。由于亲水性光致抗蚀剂72与疏水性光致抗蚀剂74相邻，因此相邻的彩色光致抗蚀剂浆料之间具有互斥性，不易发生溢流现象。
如图6所示，之后对彩色光致抗蚀剂浆料进行硬化工艺，例如利用紫外灯76照射彩色光致抗蚀剂浆料，使彩色光致抗蚀剂浆料硬化。接着如图7与图8所示，对彩色光致抗蚀剂浆料进行硬烤工艺，使红色光致抗蚀剂浆料64R、绿色光致抗蚀剂浆料64G、蓝色光致抗蚀剂浆料64B与黄色光致抗蚀剂浆料64Y能分别于基板66上形成稳定的红色光致抗蚀剂65R、绿色光致抗蚀剂65G、蓝色光致抗蚀剂65B与黄色光致抗蚀剂65Y,而完成彩色滤光片50的制作。其中，硬烤后的彩色光致抗蚀剂的厚度约为2微米，而黑色矩阵图案70的厚度约为1.2孩i米。
由于本实施例所制作的彩色滤光片采用红、绿、蓝、黄四色构成的直条状(stripe)排列，因此只需使用红色的亲水性光致抗蚀剂、绿色的疏水性光致抗蚀剂、蓝色的亲水性光致抗蚀剂以及黄色的疏水性光致抗蚀剂即可制作出具有高色彩饱和度且不易溢流的彩色滤光片。
的工艺。于本发明的其他实施例中，各色的彩色光致抗蚀剂浆料可以各自接受喷墨、硬化与硬烤工艺。请参阅图9至图10,其绘示的是本发明的第二优选实施例制作彩色滤光片的方法的示意图，其中相同的元件或部位沿用相同的符号来表示。如图9所示，先于各像素区域54第一行的次像素区域56内各喷涂亲水性的红色光致抗蚀剂浆料，之后依序对红色光致抗蚀剂浆料进行硬化工艺与硬烤工艺，以于基板66上形成稳定的红色光致抗蚀剂65R。
其后如图IO所示，各自进行各色彩色光致抗蚀剂浆料的喷墨工艺、硬化工艺与硬烤工艺，以于次像素区域56内依序形成疏水性的绿色光致抗蚀剂65G、亲水性的蓝色光致抗蚀剂65B与疏水性的黄色光致抗蚀剂65Y，完成彩色滤光片50的制作。另外，已知该领域者应可理解，前迷各色光致抗蚀剂的形成顺序可根据工艺与产品等需求而调整，例如可以先形成蓝色光致抗蚀剂65B再形成红色光致抗蚀剂65R、绿色光致抗蚀剂65G与黄色光致抗蚀剂65Y。
与疏水性光致抗蚀剂74，且亲水性光致抗蚀剂72与疏水性光致抗蚀剂74;波此相邻。由于亲水性光致抗蚀剂72与疏水性光致抗蚀剂74相邻，因此相邻的彩色光致抗蚀剂之间具有互斥性，不易发生溢流现象。为了维持彩色光致抗蚀剂之间的互斥性，亲水性光致抗蚀剂72可以具有亲水性基团而不具疏水性基团，疏水性光致抗蚀剂74可以具有疏水性基团而不具亲水性基团。一般而言，亲水性光致抗蚀剂72可具有极性基团或带电的离子基团，例如醚基团、氢氧基团、羧基团或胺基团。换句话说，亲水性光致抗蚀剂72可以包含有化学式为R-O-R、 R-OH、 R-COOH或R-NH的材料，其中R通常为烷基团。另一方面，疏水基团一般为非极性基团，通常为碳原子个数在8至20之间的碳氢基团，举例来说，疏水基团可以包含有长链烃基团、高碳数的醇基团、苯基团、脂肪基团或聚丙烯基团。
此外，本发明亲水性光致抗蚀剂72与疏水性光致抗蚀剂74无须局限于前述实施例的配置方式。请参阅图11与图12,其绘示的是本发明第三与第四优选实施例的彩色滤光片的俯视示意图，其中相同的元件或部位沿用相同的符号来表示。如图H所示，各像素区域54内的彩色光致抗蚀剂由左至右为红色光致抗蚀剂65R、绿色光致抗蚀剂65G、蓝色光致抗蚀剂65B与黄色光致抗蚀剂65Y。于前述两实施例主要不同之处在于，第三实施例位于奇数行的红色光致抗蚀剂65R与蓝色光致抗蚀剂65B为疏水性光致抗蚀剂74,而位于偶数行的绿色光致抗蚀剂65G与黄色光致抗蚀剂65Y为亲水性光致抗蚀剂72。
或者如图12所示，于奇数列的像素区域54中，红色光致抗蚀剂65R与蓝色光致抗蚀剂65B为亲水性光致抗蚀剂72,而绿色光致抗蚀剂65G与黄色光致抗蚀剂65Y为疏水性光致抗蚀剂74。而于偶数列的像素区域S4中，红色光致抗蚀剂65R与蓝色光致抗蚀剂65B为疏水性光致抗蚀剂74,而绿色光致抗蚀剂65G与黄色光致抗蚀剂65Y为亲水性光致抗蚀剂72。如此一来，所有相邻的彩色光致抗蚀剂都可以具有互斥性。
另一方面，本发明的彩色滤光片也可具有不同的色彩配置方式。请参阅图13与图14,其绘示的是本发明第五与第六优选实施例的彩色滤光片的俯^L示意图，其中相同的元件或部位沿用相同的符号来表示。如图13与图14所示，于前述实施例主要不同之处在于，各像素区域54内的彩色光致抗蚀剂由左至右分别为红色光致抗蚀剂65R、绿色光致辨蚀剂65G、绿色光致抗蚀剂67G与蓝色光致抗蚀剂65B。其中，如图13所示，位于奇数行的红色光致抗蚀剂65R与绿色光致抗蚀剂67G皆为亲水性光致抗蚀剂72，而位于偶数行的绿色光致抗蚀剂65G与蓝色光致抗蚀剂65B皆为疏水性光致抗蚀剂74。由于本实施例所制作的彩色滤光片采用红、绿、绿、蓝四色构成的直条状排列，因此只需使用红色的亲水性光致抗蚀剂、绿色的疏水性光致抗蚀剂、绿色的亲水性光致抗蚀剂以及蓝色的疏水性光致抗蚀剂即可制作出具有高色彩饱和度且不易溢流的彩色滤光片。
或者如图14所示，于奇数行的像素区域54内，红色光致抗蚀剂65R与蓝色光致抗蚀剂65B为亲水性光致抗蚀剂72,而绿色光致抗蚀剂65G与绿 色光致抗蚀剂67G为疏水性光致抗蚀剂74。于偶数行的像素区域54内，红 色光致抗蚀剂65R与蓝色光致抗蚀剂65B为疏水性光致抗蚀剂74,而绿色 光致抗蚀剂65G与绿色光致抗蚀剂67G为亲水性光致抗蚀剂72。
此外，本发明彩色滤光片的次像素区域56可以具有任何所需的排列方 式。请参阅图15至图18,其绘示的是本发明第七至第十优选实施例的像素 区域54的俯视示意图。如图15与图16所示，于第七与第八优选实施例中， 各像素区域54可包含有三个次像素区域56。第七优选实施例的次像素区域 56是呈马赛克(mosaic)方式排列，亦即这些次像素区域56排列为 一个阵列， 且同色的光致抗蚀剂可沿着对角线的方向排列。第八优选实施例的次像素区 域56是呈三角状(triangle)排列，也就是说，相邻两列的次像素区域56会彼 此错位排列(stagger)，使单一次像素区域56可同时邻接其他六个次像素区域 56。于第七与第八优选实施例中，位于奇数行奇数列或偶数行偶数列的彩色 光致抗蚀剂为亲水性光致抗蚀剂72，而其余彩色光致抗蚀剂为疏水性光致抗 蚀剂74。如图17所示，第九优选实施例的次像素区域56是呈四像素方式排 列(four pixel disposition)。换句话说，各像素区域54可包含有四个次像素区 域56，且这四个次像素区域56可排列为一个二维阵列。其中位于奇数行奇 数列的红色光致抗蚀剂65R与位于偶数行偶数列的蓝色光致抗蚀剂65B可 以为疏水性光致抗蚀剂74,而其余绿色光致抗蚀剂65G可以为亲水性光致 抗蚀剂72。
如图18所示，第十优选实施例的各像素区域54可包含有三个彼此平行 并排的次像素区域56，且这三个次像素区域56分别可对应至红色光致抗蚀 剂65R、绿色光致抗蚀剂65G与蓝色光致抗蚀剂65B。其中位于奇数行的光 致抗蚀剂可以为亲水性光致抗蚀剂72,位于偶数行的光致抗蚀剂可以为疏水 性光致抗蚀剂74,使亲水性光致抗蚀剂72与疏水性光致抗蚀剂74彼此交替 排列。
本发明的彩色滤光片可以应用于各式彩色显示器中，例如有机高分子发 光二极管(polymer light emitting diode, PLED)显示器，或是薄膜晶体管液晶显 示器。其中，彩色滤光片的各个像素区域可以对应至彩色显示器的各像素上，
使显示器所提供的白光光源转变为各种所需的色彩。换言之，本发明的彩色 滤光片可以应用于各种具有显示器的产品中，例如个人数字助理(PDA)、笔记型计算机(notebook)、桌上型计算机、液晶电视或手机等等产品。
相较于传统利用旋转涂布方式来制作彩色滤光片的方法，本发明可以提 升彩色光致抗蚀剂浆料的使用率，降低材料成本。此外，本发明仅需利用一 个喷墨设备即可形成彩色光致抗蚀剂，不需要多套曝光显影设备与大量的掩 模，因此有效地简化工艺与设备。另一方面，由于本发明彩色滤光片的亲水 性光致抗蚀剂与疏水性光致抗蚀剂相邻，因此相邻的彩色光致抗蚀剂之间具 有互斥性，不易发生溢流现象。相较于利用已知喷墨工艺来制作彩色滤光片 的方法，本发明可以避免彩色滤光片的彩色光致抗蚀剂彼此污染，提升彩色 滤光片的制作成品率，并且使彩色显示器具有更好的呈色效果。
以上所述仅为本发明的优选实施例，凡依本发明权利要求所做的均等变 化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。
权利要求
1. 一种彩色滤光片，包含基板；多个像素区域设置于该基板上，各该像素区域包含有多个次像素区域；以及多个彩色光致抗蚀剂对应设置于所述次像素区域中，其中所述彩色光致抗蚀剂包含有多个亲水性光致抗蚀剂与多个疏水性光致抗蚀剂，且彼此交替排列。
2. 如权利要求1所述的彩色滤光片，其中各该像素区域包含有四个次像素区域，而各该像素区域的所述次^^素区域;波此平行且并排。
3. 如权利要求2所述的彩色滤光片，其中各该像素区域的所述次像素区域由左至右分别对应至红色光致抗蚀剂、绿色光致抗蚀剂、蓝色光致抗蚀剂与黄色光致抗蚀剂。
4. 如权利要求3所述的彩色滤光片，其中所述红色光致抗蚀剂与所述蓝色光致抗蚀剂为所述亲水性光致抗蚀剂，且所述绿色光致抗蚀剂与所述黄色光致抗蚀剂为所述疏水性光致抗蚀剂。
5. 如权利要求3所述的彩色滤光片，其中所述绿色光致抗蚀剂与所述黄色光致抗蚀剂为所述亲水性光致抗蚀剂，且所述红色光致抗蚀剂与所述蓝色光致抗蚀剂为所述疏水性光致抗蚀剂。
6. 如权利要求2所述的彩色滤光片，其中各该像素区域的所述次像素区域由左至右分别对应至红色光致抗蚀剂、第一绿色光致抗蚀剂、第二绿色光致抗蚀剂与蓝色光致抗蚀剂。
7. 如权利要求6所述的彩色滤光片，其中所述红色光致抗蚀剂与所述第二绿色光致抗蚀剂为所述亲水性光致抗蚀剂，且所述第一绿色光致抗蚀剂与所述蓝色光致抗蚀剂为所述疏水性光致抗蚀剂。
8. 如权利要求6所述的彩色滤光片，其中所述第一绿色光致抗蚀剂与所述蓝色光致抗蚀剂为所述亲水性光致抗蚀剂，且所述红色光致抗蚀剂与所述第二绿色光致抗蚀剂为所述疏水性光致抗蚀剂。
9. 如权利要求1所述的彩色滤光片，其中各该像素区域包含有四个次像素区域，且各该像素区域的所述次像素区域排列为一个二维阵列。
10. 如权利要求9所述的彩色滤光片，其中位于奇数行奇数列的所述彩色光致抗蚀剂与位于偶数行偶数列的所述彩色光致抗蚀剂为所述疏水性光致抗蚀剂。
11. 如权利要求10所述的彩色滤光片，其中位于奇数行偶数列的所述彩色光致抗蚀剂与位于偶数行奇数列的所述彩色光致抗蚀剂为所述亲水性光致抗蚀剂。
12. 如权利要求1所述的彩色滤光片，其中各该像素区域包含有三个次像素区域，且各该像素区域的所述次像素区域分别对应至红色光致抗蚀剂、绿色光致抗蚀剂与蓝色光致抗蚀剂。
13. 如权利要求12所述的彩色滤光片，其中所述红色光致抗蚀剂、所述绿色光致抗蚀剂与所述蓝色光致抗蚀剂是呈三角状排列。
14. 如权利要求12所述的彩色滤光片，其中所述红色光致抗蚀剂、所述绿色光致抗蚀剂与所述蓝色光致抗蚀剂是呈马赛克方式排列。
15. 如权利要求12所述的彩色滤光片，其中各该像素区域的该红色光致抗蚀剂、该绿色光致抗蚀剂与该蓝色光致抗蚀剂彼此平行且并排。
16. 如权利要求1所述的彩色滤光片，其中该亲水性光致抗蚀剂的材料具有极性基团或带电的离子基团。
17. 如权利要求1所述的彩色滤光片，其中该亲水性光致抗蚀剂的材料具有醚基团、氢氧基团、羧基团或胺基团。
18. 如权利要求1所述的彩色滤光片，其中该疏水性光致抗蚀剂的材料具有长链烃基团，且长链羟基团具有8到20个碳原子。
19. 一种制作彩色滤光片的方法，包含提供基板，该基板表面包含有多个像素区域，且各该像素区域包含有多个次像素区域；以及于各该次像素区域内形成彩色光致抗蚀剂，所述彩色光致抗蚀剂包含有多个亲水性光致抗蚀剂与多个疏水性光致抗蚀剂，其中所述亲水性光致抗蚀剂与所述疏水性光致抗蚀剂彼此交替排列。
20. 如权利要求19所迷的方法，其中所述彩色光致抗蚀剂包含有多个第一颜色光致抗蚀剂与多个第二颜色光致抗蚀剂。
21. 如权利要求20所述的方法，其中所述第一颜色光致抗蚀剂为所述亲水性光致抗蚀剂，且所述第二颜色光致抗蚀剂为所述疏水性光致抗蚀剂。
22. 如权利要求21所述的方法，其中形成所述彩色光致抗蚀剂的步骤包含有进行喷墨工艺，于所述次像素区域内喷涂多个第一颜色浆料与多个第二颜色浆冲十；对所述第一颜色浆料与所述第二颜色浆料进行紫外光硬化工艺；以及对所述第一颜色浆料与所述第二颜色浆料进行硬烤工艺，以形成所述第一颜色光致抗蚀剂与所述第二颜色光致抗蚀剂。
23. 如权利要求21所述的方法，其中形成所述彩色光致抗蚀剂的步骤包含有进行第一喷墨工艺，于所述次像素区域内喷涂多个第一颜色浆料；对所述第一颜色浆料进行第一紫外光硬化工艺；对所述第一颜色浆料进行第一硬烤工艺，以形成所述第一颜色光致抗蚀剂；进行第二喷墨工艺，于所述次像素区域内喷涂多个第二颜色浆料；对所述第二颜色浆料进行第二紫外光硬化工艺；以及对所述第二颜色浆料进行第二硬烤工艺，以形成所述第二颜色光致抗蚀剂。
全文摘要
本发明公开了一种利用喷墨工艺所制作的彩色滤光片及其制作方法。彩色滤光片包含有基板、多个像素区域位于基板表面，以及多个彩色光致抗蚀剂。各像素区域皆包含有多个次像素区域，且各彩色光致抗蚀剂对应设置于各次像素区域内。彩色光致抗蚀剂包含有多个亲水性光致抗蚀剂与多个疏水性光致抗蚀剂，其中亲水性光致抗蚀剂与疏水性光致抗蚀剂彼此交替排列，以避免彩色光致抗蚀剂发生溢流现象。
文档编号G03F7/09GK101546008SQ20081008855
公开日2009年9月30日 申请日期2008年3月28日 优先权日2008年3月28日
发明者刘佩瑜, 李怀安, 王君铭, 罗宇城 申请人:中华映管股份有限公司