专利名称：一种芯片显微拍摄系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种芯片显微拍摄系统，尤其涉及一种用于集成电路 分析的芯片显微拍摄系统。
背景技术：
现有技术中，在对芯片进行拍摄时，通常通过显微镜人工进行拍摄， 无法动态的对图像进行捕捉，无法实时的将采集到的图像在计算机上显示 出来，这样会导致芯片采集的精度不高。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种芯片显微拍 摄系统，它能够实时采集芯片的图像，精度高，有利于对集成电路的分析。 实现上述目的的技术方案是 一种芯片显微拍摄系统，包括一用于 拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台，其中，还包括一加载 于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件 CCD和所述电动台的计算机，其中
所述的电荷耦合器件CCD用于采集芯片的图像并且转为数字信号， 然后将该数字信号传输给所述的计算机；
所述的计算机用于对显微镜进行X轴、Y轴、Z轴的控制，并且动 态将电荷耦合器件CCD釆集的图像实时的通过计算机屏幕进行显示，根 据需要进行保存。
上述的芯片显微拍摄系统，其中，所述的计算机分为三种拍摄模 式，分别为自动模式和/或半自动模式和/或手动模式。
上述的芯片显微拍摄系统，其中，所述的计算机可保存静态的图
片，同时也可对芯片进行实时的动态预览观测，其预览方式可分为快速 模式和/或局部细节模式和/或全景模式。
本实用新型的有益效果是本实用新型通过在现有的显微镜上加载电 荷耦合器件CCD将采集的图像转为数字信号后传输给计算机进行处理， 通过控制显微镜X轴、Y轴和Z轴对芯片进行实时采集及显示，并且根据 需要进行保存，提高了芯片拍摄的精度并且有利于集成电路的分析。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。
请参阅图l，图中示出了本实用新型的一种芯片显微拍摄系统，包 括一用于拍摄芯片的显微镜1以及一与显微镜1连接的电动台2，还包
括一加载于显微镜1上的电荷耦合器件CCD3以及一分别控制电荷耦合 器件CCD3和电动台2的计算机4，其中 -
电荷耦合器件CCD3用于采集芯片(图中未示出)的图像并且转为 数字信号，然后将该数字信号传输给计算机4;
计算机4用于对显微镜1进行X轴、Y轴、Z轴的控制，并且动态 将电荷耦合器件CCD3采集的图像实时的通过计算机屏幕进行显示，根 据需要进行保存，该计算机4分为三种拍摄模式，分别为自动模式和/ 或半自动模式和/或手动模式并且都经白平衡处理，用户可根据需要拍 摄全区域或选择部分区域进行拍摄，计算机可保存静态的图片，同时也 可对芯片进行实时的动态预览观测，其预览方式可分为快速模式和/或 局部细节模式和/或全景模式，预览方式灵活。
虽然经过对本实用新型结合具体实施例进行描述，对于在本技术 领域熟练的人士，根据上文的叙述做出的替代、修改与变化将是显而易 见的。因此，在这样的替代、修改和变化落入附后的权利要求的精神和 范围内时，应该被包括在本实用新型中。
权利要求1.一种芯片显微拍摄系统，包括一用于拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台，其特征在于，还包括一加载于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件CCD和所述电动台的计算机，其中所述的电荷耦合器件CCD用于采集芯片的图像并且转为数字信号，然后将该数字信号传输给所述的计算机；所述的计算机用于对显微镜进行X轴、Y轴、Z轴的控制，并且动态将电荷耦合器件CCD采集的图像实时的通过计算机屏幕进行显示，根据需要进行保存。
专利摘要本实用新型公开了一种芯片显微拍摄系统，包括一用于拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台，还包括一加载于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件CCD和所述电动台的计算机。本实用新型通过在现有的显微镜上加载电荷耦合器件CCD将采集的图像转为数字信号后传输给计算机进行处理，通过控制显微镜X轴、Y轴和Z轴对芯片进行实时采集及显示，并且根据需要进行保存，提高了芯片拍摄的精度并且有利于集成电路的分析。
文档编号G02B21/32GK201199283SQ20082005535
公开日2009年2月25日 申请日期2008年2月2日 优先权日2008年2月2日
发明者琪 钟 申请人:上海芯索芯片分析技术有限公司