感射线性树脂组合物和液晶显示元件的分隔物及其形成方法

专利名称：：感射线性树脂组合物和液晶显示元件的分隔物及其形成方法
技术领域：
：本发明涉及感射线性树脂组合物和液晶显示元件的分隔物及其形成方法。
背景技术：
：在液晶显示元件中，为了使两块基板间保持一定的间隔(盒间隙)，一直以来都使用具有规定粒径的玻璃珠、塑料珠等分隔物颗粒。由于这些分隔物颗粒无规地散布在玻璃基板等透明基板上，因而一旦像素形成区域存在分隔物颗粒，就会出现分隔物颗粒发生映像现象，以及入射光发生散射，作为液晶面板的对比度下降的问题。因此，为了解决这些问题，便采用通过使用感射线性树脂组合物的光刻法在像素形成区域以外的区域形成分隔物的方法(专利文献1)。因此，为了在液晶显示元件的整个区域保持一定的盒间隙，对于分隔物，要求具有高度的膜厚均一性。特别是近年来的液晶显示元件，要求具有比以前还要高的画质高精细化和高速动态图像跟随性(高速响应性)，因此对膜厚均一性的要求日益提高。再说，随着近年来大屏幕电视的趋势和生产成本降低的要求，带有滤色器的基板的制造中所用的基板玻璃尺寸正处于大型化的势头。因此，在基板上形成保护膜和分隔物时所进行的感射线性树脂组合物的涂敷工序中，采用以前广泛使用的旋涂法已经很困难，涂敷方法替换为由狭槽状喷嘴喷出组合物而进行涂敷的所谓的缝模涂敷法(专利文献2和3)。这种缝模涂敷法，与旋涂法相比，既具有能够减少涂敷所需的组合物的量的优点，也有利于降低液晶显示元件的制造成本。但是，在这种缝模涂敷法中，在真空吸附基板的紧密接触状态下，以一定的方向扫掠涂敷嘴而进行涂敷，然后，保持在真空吸附用的空穴中的支撑销升起而将基板顶起，将其从涂敷台移送到下一工序。因此，在一连串的工序中，会出现涂膜上产生由真空吸附用的空穴引起的被称作为"工作台真空吸附斑"的斑痕、支撑销引起的被称作为"支撑销斑"的斑痕、涂敷嘴扫掠方向上呈现的条状的被称作为"纵线斑"的斑痕等的情形，从而成为实现如上所述的高度平坦性的障碍。现有技术专利文献专利文献1日本特开2001-261761号公报专利文献2日本特开2006-184841号公报
发明内容本发明是鉴于上述情况而作出的，其目的是提供一种感射线性树脂组合物，其即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，也能够在不使涂膜上产生由微小凹凸构成的斑痕的情况下形成液晶显示元件的分隔物，以及提供能够保持作为液晶显示元件的分隔物所需的各种性能(例如高回复率和柔软性兼备的压縮性能以及耐打磨性)，同时具有特高的膜厚均一性的液晶显示元件的分隔物及其形成方法。根据本发明，本发明的上述目的和优点，第一，由一种感射线性树脂组合物达成，其含有(A)碱可溶性树脂；(B)聚合性不饱和化合物；(C)感射线性聚合引发剂；以及(D)含有(dl)下述式(1°)表示的化合物(以下称为"化合物(dl)")、(d2)下述通式(2°)表示的化合物(以下称为"化合物(d2)")和(d3)具有下述通式(3)表示的基团的聚合性不饱和化合物(以下称为"化合物(d3)")的聚合性不饱和化合物的共聚物(以下称为"共聚物(D)")。CH2=CR丄C00-CaH2Q-CeF则(1。)式(1Q)中，R1为氢原子或甲基，a为06的整数，P为120的整数。CH2=CR2COO-(CYH2Y-0)a_R3(2。)式(2°)中，R2为氢原子或甲基，R3为碳原子数为112的烷基，Y为2或3，a为重复单元数，其平均数值为130。式(3)中，14、15、16、17和R8各自独立地为碳原子数为120的烷基、苯基或下述通式(4)表示的基团，b为03的整数。式(4)中，R9、R1Q和R11各自独立地为碳原子数为120的烷基或苯基，c为03的整数。本发明的上述目的和优点，第二，由用上述感射线性树脂组合物形成的液晶显示元件的分隔物达成。本发明的上述目的和优点，第三，由液晶显示元件用分隔物的形成方法达成，其至少按照以下顺序包括以下工序，(1)将上述感射线性树脂组合物涂敷在基板上形成涂膜的工序，(2)对该涂膜的至少一部分进行曝光的工序，(3)对曝光后的涂膜进行显影的工序，禾口(4)对显影后的涂膜进行加热的工序。而且，本发明的上述目的和优点，第四，由通过上述方法形成的液晶显示元件用分隔物达成。根据本发明，能够提供一种感射线性树脂组合物，其即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，也能够在不使涂膜上产生由微小凹凸构成的斑痕的情况下形成液晶显示元件的分隔物，以及提供能够保持作为液晶显示元件的分隔物所需的各种性能(例如高回复率和柔软性兼备的压縮性能以及耐打磨性)，同时具有特高的膜厚均一性的液晶显示元件的分隔物及其形成方法。具体实施例方式以下，对本发明进行具体的说明。〈(A)碱可溶性树脂>作为本发明感射线性树脂组合物中所含的(A)碱可溶性树脂，只要是对于下述的显影工序中所用的显影液，优选碱显影液，具有可溶性的碱可溶性树脂，则没有特别的限制。作为这种(A)碱可溶性树脂，优选具有选自羧基和羧酸酐基构成的群组中的至少一种的碱可溶性树脂，优选(al)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中的至少一种(以下称为"化合物(al)")与(a2)(al)以外的不饱和化合物(以下称为"化合物(a2)")的共聚物。作为这种(A)碱可溶性树脂的特别优选的例子，可以列举[Al]使含有化合物(al)和1分子中具有至少一个羟基的不饱和化合物(以下称为"化合物(a2-l)")的单体的共聚物(以下称为"共聚物与不饱和异氰酸酯化合物反应而制得的聚合物(以下称为"聚合物[A]")、[A2]含有化合物(al)和具有环氧基的不饱和化合物(以下称为"化合物(a2-2)")的单体的共聚物(以下称为"共聚物[P]")、[A3]由化合物(al)与化合物(al)、化合物(a2-l)和化合物(a2-2)以外的不饱和化合物(以下称为"化合物(a2-3)"组成的单体的共聚物(以下称为"共聚物等。在制备共聚物[a]时，也可以使化合物(a2-3)同时存在，将共聚物[a]制成化合物(al)、化合物(a2_l)和化合物(a2_3)的共聚物，在制备共聚物[P]时，也可以使化合物(al)化合物(a2-2)以外的化合物(a2_3)同时存在，将共聚物[P]制成化合物(al)、化合物(a2-2)和化合物(a2_3)的共聚物。作为制备共聚物[a]、共聚物[e]和共聚物[Y]时所用的化合物(al)，可以列举例如单羧酸、二羧酸、二羧酸酐等。作为上述单羧酸，可以列举例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、2_丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯、2_甲基丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯、2-丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸酯、2-甲基丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸酯等；作为上述二羧酸，可以列举例如马来酸、富马酸、柠康酸等；作为上述二羧酸酐，可以列举以上所述的二羧酸的酸酐等。其中，从共聚反应性、所得共聚物对显影液的溶解性的角度出发，优选丙烯酸、甲基丙烯酸、2_丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯、2_甲基丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯或马来酸酐。化合物(al)可以单独或者将两种以上混合使用。在共聚物[a]、共聚物[|3]和共聚物[Y]中，来源于化合物(al)的重复单元的含有比率，优选为560质量％，更优选为750质量％，特别优选为840质量％。当来源于化合物(al)的重复单元的含有比率为560质量％时，可以获得射线敏感度、显影性和保存稳定性等各种性能更高水平地均衡的感射线性树脂组合物。[OO42]作为共聚物[a]的制造中使用的化合物(a2-l)，可以列举(甲基)丙烯酸的羟基烷基酯、(甲基)丙烯酸的羟基环烷基酯、(甲基)丙烯酸的二羟基烷基酯、(甲基)丙烯酸的(6-羟基己酰氧基)烷基酯等。作为它们的具体例子，作为(甲基)丙烯酸的羟基烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸5-羟基戊酯、(甲基)丙烯酸6-羟基己酯等；作为(甲基)丙烯酸的羟基环烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸4-羟基-环己基酯、(甲基)丙烯酸4-羟甲基_环己基甲基酯、(甲基)丙烯酸4-羟乙基_环己基乙基酯等；作为(甲基)丙烯酸的二羟基烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸l，2-二羟基乙基酯、(甲基)丙烯酸2，3-二羟基丙基酯、(甲基)丙烯酸1，3-二羟基丙基酯、(甲基)丙烯酸3，4-二羟基丁基酯等；作为(甲基)丙烯酸的(6-羟基己酰氧基)烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸2-(6-羟基己酰氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸3-(6-羟基己酰氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸4-(6-羟基己酰氧基)丁酯之类的(甲基)丙烯酸(6-羟基己酰氧基)烷基酯等。这些化合物(a2-l)中，从共聚反应性以及与异氰酸酯化合物的反应性的角度出发，优选丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸3-羟基丙酯、丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸3-羟基丙酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、丙烯酸4-羟甲基-环己基甲基酯、甲基丙烯酸4-羟甲基_环己基甲基酯、丙烯酸2，3-二羟基丙基酯、甲基丙烯酸2，3-二羟基丙基酯、上述(甲基)丙烯酸(6-羟基己酰氧基)烷基酯类。化合物(a2-D中，从显影性的提高方面和所形成的分隔物的压縮性能的提高的角度出发，特别优选上述(甲基)丙烯酸(6-羟基己酰氧基)烷基酯类。(甲基)丙烯酸(6-羟基己酰氧基)烷基酯类中，特别优选(甲基)丙烯酸2-(6-羟基己酰氧基)乙酯。作为甲基丙烯酸2-(6_羟基己酰氧基)乙酯与甲基丙烯酸2-羟基乙酯的混合物的市售品，分别可以列举PLACCELFM1D、FM2D(商品名，夕"<七^化学工業(株)生产)等。在共聚物[a]中，如上所述的化合物(a2-l)可以单独或者将两种以上混合使用。在共聚物[a]中，来源于化合物(a2-l)的重复单元的含有比率，优选为150质量％，更优选为340质量％，特别优选为530质量％。当来源于化合物(a2-l)的重复单元的含有比率为150质量％时，由其与不饱和异氰酸酯化合物反应所制得的共聚物的稳定性良好，结果，使所得感射线性树脂组合物的保存稳定性良好。作为共聚物[e]的制备中所用的化合物(a2-2)中的环氧基，可以列举环氧乙基(具有l，2-环氧基结构)、氧杂环丁基(具有l，3-环氧基结构)等。作为具有环氧乙基的不饱和化合物，(甲基)丙烯酸环氧乙基(环)烷基酯、a-烷基丙烯酸环氧乙基(环)烷基酯、具有不饱和键的縮水甘油醚化合物等；作为具有氧杂环丁基的不饱和化合物，可以列举例如具有氧杂环丁基的(甲基)丙烯酸酯等。作为它们的具体例子，作为(甲基)丙烯酸环氧乙基(环)烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2_甲基縮水甘油酯、4-羟基丁基(甲基)丙烯酸酯縮水甘油醚、(甲基)丙烯酸3，4-环氧基丁基酯、(甲基)丙烯酸6，7_环氧基庚基酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧基环己基酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧基环己基甲基酯等；作为a-烷基丙烯酸环氧乙基(环)烷基酯，可以列举例如a-乙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、a-乙基丙烯酸6，7-环氧基庚基酯、a-乙基丙烯酸3，4_环氧基环己基酯等；作为具有不饱和键的縮水甘油醚化合物，可以列举例如邻乙烯7基苄基縮水甘油基醚、间乙烯基苄基縮水甘油基醚、对乙烯基苄基縮水甘油基醚等；作为具有氧杂环丁基的(甲基)丙烯酸酯，可以列举例如3_((甲基)丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-((甲基)丙烯酰氧基甲基)_3-乙基氧杂环丁烷、3-((甲基)丙烯酰氧基甲基)-2-甲基氧杂环丁烷、3_((甲基)丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、2-乙基-3-((甲基)丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3_甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3_乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷等。其中，从聚合性角度出发，特别优选甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸3，4_环氧基环己基酯、甲基丙烯酸3，4_环氧基环己基甲基酯、3_甲基丙烯酰氧基甲基_3-乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷或3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷。在共聚物[13]的制备中，化合物(a2-2)可以单独或者将两种以上混合使用。在共聚物[13]中，来源于化合物(a2-2)的重复单元的含有比率，优选为0.570质量％，更优选为160质量％，特别优选为350质量％。当来源于化合物(a2-2)的重复单元的含有比率为0.570质量％时，可以获得所得感射线性树脂组合物的保存稳定性、由其形成的分隔物的耐热性和压縮性能更高水平地均衡的感射线性树脂组合物。作为可以在共聚物[Y]的制备时使用的、或者共聚物共聚物[a]和共聚物[e]的制备时任选使用的化合物(a2-3)，可以列举例如(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸环烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、(甲基)丙烯酸芳烷基酯、不饱和二羧酸二烷基酯、具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的(甲基)丙烯酸酯、乙烯基芳香族化合物、共轭二烯化合物以及其他不饱和化合物。作为它们的具体例子，作为(甲基)丙烯酸烷基酯，可以列举例如丙烯酸甲酉旨、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酉旨、(甲基)丙烯酸叔丁酯等；作为(甲基)丙烯酸环烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸环己基酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己基酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-(三环[5.2.1.02'6]癸烷-8-基氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片基酯等；作为(甲基)丙烯酸芳基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸苯酯等，作为(甲基)丙烯酸芳烷基酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸苄酯等；作为不饱和二羧酸二烷基酯，可以列举例如马来酸二乙酯、富马酸二乙酯等；作为具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的(甲基)丙烯酸酯，可以列举例如(甲基)丙烯酸四氢呋喃_2-基酯、(甲基)丙烯酸四氢吡喃_2-基酯、(甲基)丙烯酸2-甲基四氢吡喃_2-基酯等；作为乙烯基芳香族化合物，可以列举例如苯乙烯、a-甲基苯乙烯等；作为共轭二烯化合物，可以列举例如1，3-丁二烯、异戊二烯等；作为其他不饱和化合物，可以列举丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺等。这些化合物(a2-3)中，从共聚反应性的角度出发，优选甲基丙烯酸正丁基酯、甲基丙烯酸2-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯、苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、甲基丙烯酸四氢呋喃_2-基酯、1，3-丁二烯等。在共聚物[a]、共聚物[|3]和共聚物[Y]的制备中，化合物(a2-3)可以单独或者将两种以上混合使用。在共聚物[a]和共聚物[P]中，来源于化合物(a2-3)的重复单元的含有比率，优选为1080质量％，更优选为2070质量％，特别优选为3070质量％。当来源于化合物(a2-3)的重复单元的含有比率为1080质量％时，可以获得共聚物分子量容易控制，显影性、射线敏感度等更高水平地均衡的感射线性树脂组合物。共聚物[a]、共聚物[13]和共聚物[Y]可以通过优选在适当的溶剂中，优选在自由基聚合引发剂的存在下，使如上所述的单体混合物进行聚合而制备。作为上述聚合中所用的溶剂，优选可以列举例如二甘醇烷基醚、丙二醇单烷基醚乙酸酯、烷氧基丙酸烷基酯、乙酸酯等。这些溶剂可以单独或将两种以上混合使用。作为上述自由基聚合引发剂，没有特别的限制，可以列举例如2，2'-偶氮二异丁腈、2，2'-偶氮二-(2，4-二甲基戊腈)、2，2'-偶氮二-(4-甲氧基_2，4-二甲基戊腈)、4，4'-偶氮二(4-氰基戊酸)、二甲基-2，2'-偶氮二(2-甲基丙酸甲酯)、2，2'-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)等偶氮化合物。这些自由基聚合引发剂可以单独或将两种以上混合使用。通过凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物[a]、共聚物[|3]和共聚物[Y]测定的聚苯乙烯换算的重均分子量(以下称为"Mw")，优选为2000100000，更优选为500050000。当共聚物[a]、共聚物[e]和共聚物[Y]的Mw为2000100000时，可以获得耐热性、显影性、射线敏感度等更高水平地均衡的感射线性树脂组合物。聚合物[A]可以通过使共聚物[a]与不饱和异氰酸酯化合物反应而制得。如上制得的共聚物[a]，可以将聚合反应溶液直接供给聚合物[A]的制备，或者也可以先从溶液中分离出共聚物[a]后再供给聚合物[A]的制备。作为不饱和异氰酸酯化合物，可以列举例如(甲基)丙烯酸衍生物等，作为其具体例子例如2-(甲基)丙烯酰氧基乙基异氰酸酯、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基异氰酸酯、4-(甲基)丙烯酰氧基丁基异氰酸酯、6-(甲基)丙烯酰氧基己基异氰酸酯、8-(甲基)丙烯酰氧基辛基异氰酸酯、10-(甲基)丙烯酰氧基癸基异氰酸酯、(甲基)丙烯酸2-(2-异氰酸酯基乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-[2-(2-异氰酸酯基乙氧基)乙氧基]乙基酯、(甲基)丙烯酸2-{2-[2-(2-异氰酸酯基乙氧基)乙氧基]乙氧基}乙基酯、(甲基)丙烯酸2-(2-异氰酸酯基丙氧基)乙基酯、(甲基)丙烯酸2-[2-(2-异氰酸酯基丙氧基)丙氧基]乙基酯等。作为它们的市售品，作为2-丙烯酰氧基乙基异氰酸酯的市售品，可以列举力^>义'A0I(昭和電工(株)生产)，作为2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯的市售品，可以列举力^y乂'M0I(昭和電工(株)生产)，作为甲基丙烯酸2-(2-异氰酸酯基乙氧基)乙基酯的市售品，可以列举力^>义'M0I-EG(昭和電工(株)生产)。这些不饱和异氰酸酯化合物中，从与共聚物[a]的反应性角度考虑，优选2-丙烯酰氧基乙基异氰酸酯、2_甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯、4_甲基丙烯酰氧基丁基异氰酸酯或甲基丙烯酸2-(2-异氰酸酯基乙氧基)乙基酯。在聚合物[A]的制备中，不饱和异氰酸酯化合物可以单独或将两种以上混合使用。9共聚物[a]与不饱和异氰酸酯化合物的反应，可以通过根据需要在适当的催化剂的存在，优选在室温或升温下并进行搅拌的同时，向含有聚合阻止剂的共聚物[a]溶液中加入不饱和异氰酸酯化合物而进行。作为上述催化剂，可以列举例如二月桂酸二正丁基锡(IV)等；作为上述聚合阻止剂可以列举例如对甲氧基酚等。制备聚合物[A]时不饱和异氰酸酯化合物的使用比率，相对于来源于共聚物[a]中的化合物(a2-l)的羟基，优选为0.195摩尔％，更优选为1.080摩尔％，特别优选为5.075摩尔％。当不饱和异氰酸酯化合物的使用比率为0.195摩尔％时，可进一步提高所形成的分隔物的耐热性以及弹性性能，因此是优选的。在本发明的感射线性树脂组合物中，聚合物[A]、共聚物[e]和共聚物[Y]，其各自可以单独使用，而优选将聚合物[A]与共聚物[e]联用，或者将共聚物[e]与共聚物[Y]联用。通过将聚合物[A]与共聚物[13]联用，可以进一步提高所得感射线性树脂组合物的保存稳定性以及所形成的分隔物的强度和耐热性，因此是优选的。当将聚合物[A]与共聚物[P]联用时，聚合物[A]的使用比率，相对于100质量份共聚物[!3]，优选为0.550质量份，更优选为130质量份，特别优选为320质量份。当聚合物[A]的使用比率为0.550质量份时，可以获得感射线性树脂组合物的保存稳定性与所形成的分隔物或保护膜的耐热性更高水平地均衡的感射线性树脂组合物。另一方面，通过将共聚物[e]与共聚物[Y]联用，可以获得进一步提高感射线性组合物的保存稳定性的益处，因此是优选的。当将共聚物[P]和共聚物[Y]联用时，共聚物[P]的使用比率，相对于100质量份共聚物[Y]，优选为10150质量份，更优选为20130质量份，特别优选为30100质量份。〈(B)聚合性不饱和化合物>本发明感射线性树脂组合物中所含的(B)聚合性不饱和化合物，是在后述的(C)感射线性聚合引发剂的存在下通过照射射线而发生聚合的不饱和化合物。作为这种聚合性不饱和单体，对其没有特别的限制，而从聚合性良好、且所形成的分隔物强度的提高的角度考虑，优选使用单官能、双官能或3官能以上的(甲基)丙烯酸酯。作为上述单官能的(甲基)丙烯酸酯，可以列举例如丙烯酸2-羟基乙基酯、甲基丙烯酸2-羟基乙基酯、二甘醇单乙醚丙烯酸酯、二甘醇单乙醚甲基丙烯酸酯、(2-丙烯酰氧基乙基)(2-羟基丙基)邻苯二甲酸酯、(2-甲基丙烯酰氧基乙基)(2-羟基丙基)邻苯二甲酸酯、"-羧基聚己内酯单丙烯酸酯等。作为其市售品，商品名可以列举例如7口二'7夕》M-lOl、7口二7夕M-lll、7口二7夕M-114、7口二7夕M-5300(由東亞合成(株)生产)；KAYARADTC-110S、KAYARADTC-120S(由日本化薬(株)生产)；匕-一卜158、匕i-一卜2311(由大阪有機化学工業(株)生产)等。作为上述双官能的(甲基)丙烯酸酯，可以列举例如乙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6_己二醇二甲基丙烯酸酯、1，9-壬二醇二丙烯酸酯、1，9-壬二醇二甲基丙烯酸酯等。作为其市售品，商品名可以列举例如7口二7夕M-210、7口二7夕M-240、7口二7夕M-6200(由東亞合成(株)生产)；KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、KAYARADR_604(以上由日本化薬(株)生产)；匕'10^-一卜260、匕1-一卜312、匕1-一卜335HP(由大阪有機化学工業(株)生产)、，<卜7夕'Jk一卜1，9-NDA(共荣社(株)生产)等。作为上述3官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可以列举例如三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯与二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、环氧乙烷改性的二季戊四醇六丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)膦酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙基)膦酸酯，除此以外，还可以列举使分子内具有直链亚烷基和脂环式结构且具有2个以上异氰酸酯基的化合物与分子内具有1个以上羟基且具有3个、4个或5个(甲基)丙烯酰氧基的化合物反应所得的多官能的尿烷丙烯酸酯类化合物等。作为上述3官能以上的(甲基)丙烯酸酯的市售品，商品名可以列举例如7口二夕^M—309、了口二夕M—400、了口二夕M—405、了口二夕M—450、了口二夕^M-7100、了口二7夕M-8030、了口二7夕M_8060、了口二7夕T0_1450(由東亞合成(株)生产)；KAYARADTMPTA、KAYARADDPHA、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA_30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA_120、KAYARADDPEA-12(由日本化薬(株)生产)；u3—卜295、匕"一卜300、匕"一卜360、匕"一卜GPT、匕"一卜3PA、匕"一卜400(由大阪有機化学工業(株)生产)，以及作为含多官能尿烷丙烯酸酯类化合物的市售品，可以列举二工一7口>于<7R-1150(以上由第一工業製薬(株)生产)、KAYARADDPHA-40H(以上由日本化薬(株)生产)等。其中，优选"-羧基聚己内酯单丙烯酸酯、l，9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯和二季戊四醇五丙烯酸酯与二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物、环氧乙烷改性的二季戊四醇六丙烯酸酯、含多官能尿烷丙烯酸酯类化合物的市售品等。如上所述的(B)聚合性不饱和化合物可以单独或将两种以上混合使用。本发明的感射线性树脂组合物中，(B)聚合性不饱和单体的使用比率，相对于100质量份(A)碱可溶性树脂，优选为30250质量份，更优选为50200质量份。当(B)聚合性不饱和单体的使用比率为30250质量份时，可以使感射线性树脂组合物的敏感度和所形成的分隔物的耐热性和弹性性能更好。〈(C)感射线性聚合引发剂>本发明感射线性树脂组合物中所含的(C)感射线性聚合引发剂，是通过感应射线产生能够引发(B)聚合性不饱和化合物的聚合的活性种子的成分。作为这种(C)感射线性聚合引发剂，可以列举o-酰基肟化合物、苯乙酮化合物、二咪唑化合物、二苯酮化合物等。作为上述0-酰基肟化合物的具体例子，可以列举乙酮-1-[9_乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H,咔唑-3-基]-辛烷-1-酮肟-0-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H,咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲酰基)-9.H,咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯甲酰基)-9.11,咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)、乙酮-1_[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2，2-二甲基-1，3-二氧戊环基)甲氧基苯甲酰基}_9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)等。它们当中，作为优选的0-酰基肟化合物，可以列举乙酮-1-[9-乙基-6-(2_甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H,咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟)或者乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2，2-二甲基-1，3-二氧戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-l-(O-乙酰基肟)。这些0-酰基月亏化合物可以单独或将两种以上混合使用。作为上述苯乙酮化合物，可以列举例如a-氨基酮化合物、a-羟基酮化合物。作为a-氨基酮化合物的具体例子，可以列举2-苄基_2-二甲基氨基_1_(4_吗啉基苯基)-丁烷-1-酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基节基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮、2_甲基-1-(4_甲硫基苯基)-2_吗啉基丙烷-l-酮等。作为a-羟基酮化合物的具体例子，可以列举1-苯基_2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2_甲基丙烷-l-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、l-羟基环己基苯基酮等。这些苯乙酮化合物中，优选a-氨基酮化合物，特别优选2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4_吗啉基苯基)-丁烷-1-酮或2-二甲基氨基_2-(4-甲基节基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁烷-l-酮。作为上述二咪唑化合物的具体例子，可以列举2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(4-乙氧羰基苯基)-l，2'-二咪唑、2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基-1，2'-二咪唑、2，2'-二(2，4-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基-1，2'-二咪唑、2，2'-二(2，4，6-三氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基-l，2'-二咪唑等。这些二咪唑化合物中，优选2，2'-二(2-氯苯基)-4，4'，5，5'_四苯基-l，2'-二咪唑、2，2'-二(2，4-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基-l，2'-二咪唑或2，2'-二(2，4，6-三氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基-l，2'-二咪唑，特别优选2，2'-二(2，4-二氯苯基)-4，4'，5，5，-四苯基-l，2'-二咪唑。在本发明的感射线性树脂组合物中，当使用二咪唑化合物作为(C)感射线性聚合引发剂时，可以添加选自具有二烷基氨基的脂肪族或芳香族化合物(以下，称为"氨基类增敏剂")和硫醇化合物中的至少一种。上述氨基类增敏剂是具有增强二咪唑化合物的射线敏感度、提高咪唑自由基产生效率的功能的化合物，可以为了提高感射线性树脂组合物的敏感度和分辨率以及进一步提高所形成的分隔物或保护膜对基板的粘附性的目的而添加。作为这种氨基类增敏剂，可以列举例如N-甲基二乙醇胺、4，4'-二(二甲基氨基)二苯酮、4，4'-二(二乙基氨基)二苯酮、对二甲氨基苯甲酸乙酯、对二甲氨基苯甲酸异戊酯等。这些氨基类增敏剂中，特别优选4，4'-二(二乙基氨基)二苯酮。这些氨基类增敏剂可以单独或将两种以上混合使用。氨基类增敏剂的添加量，相对于100重量份二咪唑化合物，优选为0.150重量份，更优选为120重量份。当氨基类增敏剂的添加量不足0.1重量份时，则会出现敏感12度、分辨率和粘附性的改进效果不够好的情况，另一方面，若超过50重量份，则会出现损害所形成的分隔物的形状的情况。上述硫醇化合物是具有向咪唑自由基提供氢自由基、结果产生具有硫自由基的成分的功能的化合物。二咪唑化合物接受射线照射后断裂而产生咪唑自由基的聚合引发能为中等水平，并非很高，因此，若将其直接用于形成液晶显示元件的分隔物，则会出现分隔物的截面形状为倒锥形的不理想形状的情况。但是，通过向其中添加硫醇化合物，由硫醇化合物向咪唑自由基提供氢自由基，结果，咪唑自由基转化为中性的咪唑，同时，产生具有聚合引发能更高的硫自由基的成分，这样可以确保分隔物的形状成为更优选的正锥形。作为这种硫醇化合物，可以列举例如2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-5-甲氧基苯并噻唑、2-巯基-5-甲氧基苯并咪唑等芳香族硫醇化合物；3-巯基丙酸、3-巯基丙酸甲酯、3-巯基丙酸乙酯、3-巯基丙酸辛酯等脂肪族单硫醇化合物；3，6-二氧杂-l，8-辛二硫醇、季戊四醇四(巯基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)等2官能以上的脂肪族硫醇化合物等。这些硫醇化合物中，特别优选2-巯基苯并噻唑。作为硫醇化合物的添加量，相对于100重量份二咪唑化合物，优选为0.150重量份，更优选为120重量份。当硫醇化合物的添加量不足0.1重量份时，会出现分隔物形状的改善效果不够好的情况，另一方面，如果超过50重量份，则会出现反而损害所形成的分隔物的形状的情况。在本发明的感射线性树脂组合物中，当使用二咪唑化合物作为(C)感射线性聚合引发剂时，优选上述氨基类增敏剂和硫醇化合物两者都添加。本发明中(C)感射线性聚合引发剂的使用比率，相对于100质量份(A)碱可溶性树脂，优选为160质量份，更优选为250质量份，进一步优选为540质量份。作为本发明感射线性树脂组合物中所含的(C)感射线性聚合引发剂，优选含有o-酰基肟化合物和苯乙酮化合物构成的群组中的至少一种，更优选含有0-酰基肟化合物和苯乙酮化合物构成的群组中的至少一种以及二咪唑化合物。作为(C)感射线性聚合引发剂中的O-酰基肟化合物和苯乙酮化合物的比率，其合计量相对于(C)感射线性聚合引发剂的总量，优选为40质量％以上，更优选为45质量％以上，特别优选为50质量％以上。通过使用这种组成的(C)感射线性聚合引发剂，可以使本发明的感射线性树脂组合物即使在低曝光量的情况下，也能够形成具有高硬度和粘合性的分隔物。〈共聚物(D)〉本发明中的共聚物(D)，是含有上述化合物(dl)、化合物(d2)和化合物(d3)的聚合性不饱和化合物的共聚物，在本发明的保护膜形成用的树脂组合物中，作为表面张力降低性能高的表面活性剂而发挥作用，即使以小的比率使用，也可以提高涂膜的表面平滑性，因而，可以显著提高所形成的分隔物的膜厚均一性。共聚物(D)，优选除了上述化合物(dl)、化合物(d2)和化合物(d3)以外还含有(d4)具有碳原子数为18的烷基的聚合性不饱和化合物(以下称为"化合物(d4)")的聚合性不饱和化合物的共聚物，更优选为除了上述化合物(dl)、化合物(d2)、化合物(d3)和化合物(d4)以外还含有(d5)—分子中具有两个以上不饱和键的聚合性不饱和化合物(以下称为"化合物(d5)")的聚合性不饱和化合物的共聚物，特别优选为由上述化合物(dl)、化合物(d2)、化合物(d3)、化合物(d4)和化合物(d5)组成的聚合物性不饱和化合物的共聚物。上述式(1Q)中的基团-CaH^-为亚甲基、烷基亚甲基或者直链状或支链状亚烷基，当基团-C。H^-左右不对称时，其结合方向无所谓。基团-C。H^-的碳原子数a优选为24。作为基团-C。H^-的具体例子，可以列举例如1，2-亚乙基、1，2-亚丙基、1，3-亚丙基、1，4-亚丁基等，其中优选1，2-亚乙基或1，3-亚丙基，特别优选1，2-亚乙基。上述式(1°)中的基团Ce&^为直链状或支链状氟代亚烷基，其碳原子数13为120，优选为412，特别优选为8。基团CeF2e+1优选为直链状氟代亚烷基。作为本发明中的化合物(dl)，优选为下述式(1)表示的化合物，CH2=CR'COO-CH^H^sFu(1)式(1)中，R1与上述式(1°)中定义相同。作为其具体例子，可以列举下述式(dl-l)和(dl-2)各自表示的化合物。CH2=CHC00CH2CH2(CF2)7CF3(dl-1)CH2=C(CH3)C00CH2CH2(CF2)7CF3(dl_2)上述式(2°)中的基团-(\112「为直链状或支链状的亚烷基。当基团-CyHh-左右不对称时，其结合方向无所谓。作为基团_CYH2Y-的具体例子，可以列举例如1，2-亚乙基和1，2-亚丙基，优选为1，2-亚乙基。化合物(d2)可以使用上述通式(2°)中重复单元数a的值不同的化合物的混合物。a的平均数值为130，优选为220，特别优选为412。该a的值可以由对化合物(d2)采用凝胶渗透色谱测定的聚苯乙烯换算的数均分子量通过计算而求出。作为本发明中的化合物(d2)，优选为下述式(2)表示的化合物。CH2=CR2C00-(C2H40)aR3(2)式(2)中，R2和R3分别与上述式(2°)中的定义相同，重复单元数a的平均数值为412。作为这种化合物(d2)，可以应用市售品，作为其例子，可以列举例如新中村化学工業(株)生产的NK-工^于^M-40G、M-90G、AM-90G;日油(株)生产的7''^^7—PME-200、PME-400、PME-550等。在上述通式(3)中，当RS和RS各自存在多个时，各RS可以相同，也可以不同，各R6可以相同，也可以不同。另外，在上述通式(4)中，当R"和R"各自存在多个时，各I^可以相同，也可以不同，各R"可以相同，也可以不同。作为上述化合物(d3)，优选上述式(3)中的W、RS和RS各自为碳原子数为120的烷基或苯基，且I^和R8各自具有上述式(4)表示的基团的聚合性不饱和化合物。作为化合物(d3)，优选为下述通式(d3-l)表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>式(d3-l)中，RSi为上述通式(3)表示的基团，R12为氢原子或甲基，d为13的整数。作为化合物(d3)的更具体的例子，可以列举下述通式(d3-l-l)(d3-l-3)各自表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>上式中，Me为甲基，Ph为苯基，r、s和t各自为03的整数。作为上述化合物(d4)，可以列举例如具有碳原子数为18的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯，具体地，可以列举例如甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸2-乙基己基酯等。作为上述化合物(d5)的具体例子，可以列举例如丁二醇的两末端进行甲基丙烯酸酯化的化合物，可以列举聚合度为120的聚乙二醇、聚合度为120的聚丙二醇等。作为上述化合物(d5)，可以应用市售品，作为其具体例子，可以列举例如新中村化学工業(株)社生产的NK工^于A1G、NK工^于A2G、NK工^于少3G、NK工^于少4G、NK工^r;L9G、NK工^于A14G、NK工^于少23G等。本发明中的共聚物(D)为含有如上所述的化合物(dl)、化合物(d2)和化合物(d3)的聚合性不饱和化合物的共聚物。这里，相对于聚合性不饱和化合物的总量，各化合物的使用比率，对于化合物(dl)，为1055重量％，对于化合物(d2)，为1050重量％，对于化合物(d3)，为545重量％。共聚物(D)优选为除了化合物(dl)、化合物(d2)和化合物(d3)以外还含有化合物(d4)的聚合性不饱和化合物的共聚物。此时，相对于聚合性不饱和化合物的总量，各化合物的使用比率，对于化合物(dl)，为2050重量％，对于化合物(d2)，为1540重量％，对于化合物(d3)，为1030重量％，对于化合物(d4)，为2035重量％。共聚物(D)，更优选为除了化合物(dl)、化合物(d2)、化合物(d3)、化合物(d4)以外还含有化合物(d5)的聚合性不饱和化合物的共聚物，特别优选为由化合物(dl)、化合物(d2)、化合物(d3)、化合物(d4)和化合物(d5)组成的聚合性不饱和化合物的共聚物。此时，相对于聚合性不饱和化合物的总量，各化合物的使用比率，对于化合物(dl)，为2535重量％，对于化合物(d2)，为2030重量％，对于化合物(d3)，为1520重量％，对于化合物(d4)，为2535重量％，并且对于化合物(d5)，为15重量％。共聚物(D)的重均分子量(Mw)优选为500025000，更优选为1000025000，特别优选为1500025000。共聚物(D)的分子量分布Mw/Mn优选为110，更优选为24。关于这种共聚物(D)的制备方法，没有特别的限制，可以根据已知的方法例如自由基聚合法、阳离子聚合法、阴离子聚合法等的聚合机制，采用溶液聚合法、本体聚合法、乳液聚合法等进行制备，而溶液中自由基聚合法由于简便，因而在工业上是优选的。作为制备共聚物(D)时所用的聚合引发剂，可以列举例如过氧化苯甲酰、过氧化二酰等过氧化物；偶氮二异丁腈、苯基偶氮三苯基甲烷等偶氮化合物等。共聚物(D)的制备，可以在溶剂存在或不存在的任一条件下进行，从操作性角度出发，优选在溶剂的存在下进行。作为上述溶剂，可以列举例如醇、酮、酯、单羧酸的烷基酯、极性溶剂、醚、丙二醇及其酯、卤代烃、芳香族烃、氟化惰性液体(7'7化<*一卜'」*'7卜")等。作为上述醇，可以列举例如乙醇、异丙醇、正丁醇、异丁醇、叔丁醇等；作为上述酮，可以列举例如丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、甲基氨基酮等；作为上述酯，可以列举例如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯等；作为上述单羧酸的烷基酯，可以列举例如2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基丙酸丙酯、2-羟基丙酸丁酯、2_甲氧基丙酸甲酯、2_甲氧基丙酸乙酯、2_甲氧基丙酸丙酯、2_甲氧基丙酸丁酯等；作为上述极性溶齐U，可以列举例如二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮等；作为上述醚，可以列举例如甲基溶纤剂、溶纤剂、丁基溶纤剂、丁基卡必醇、乙基溶纤剂乙酸酯、四氢呋喃、二氧六环等；作为上述丙二醇及其酯，可以列举例如丙二醇、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丁醚乙酸酯等；作为上述卤代烃，可以列举例如1，1，1-三氯乙烷、氯仿等；作为上述芳香族烃，可以列举例如苯、甲苯、二甲苯等；作为上述氟化惰性液体，可以列举例如全氟辛烷、全氟三正丁基胺等，使用它们当中的任一者均可。在制备共聚物(D)时，还可以进一步根据需要，使用十二烷硫醇、2-巯基乙醇、巯基乙酸乙酯、巯基乙酸辛酯等链转移剂。本发明感射线性树脂组合物中，共聚物(D)的使用比率，相对于100质量份(A)碱可溶性树脂，优选为0.013质量份，更优选为0.052质量份。这里，若共聚物(D)的使用比率为0.013质量份，则采用缝模涂敷法进行涂敷而形成的涂膜的模厚均一性良好。若该值超过3质量份，会出现涂膜容易发生膜龟裂的情况，并且会出现所形成的分隔物的膜厚均一性受损害的情况。〈其他成分〉本发明的感射线性树脂组合物含有如上所述的(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和共聚物(D)作为必需成分，而根据需要，在不损害预期效果的范围内，还可以含有其他成分。作为这种其他成分，可以列举例如(E)射线吸收剂、(F)自由基捕获剂、(G)粘合助剂等。上述(E)射线吸收剂，可以是为了更精密地控制所形成的分隔物的图案尺寸的目的而使用。作为(E)射线吸收剂，可适合使用具有可吸收300400nm波长的射线的性质的化合物。作为优选的，可以列举例如下述式(E-l)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula>式(E-1)中，多个存在的R"各自可以相同，也可以不同，为氢原子、碳原子数为18的烷基、碳原子数为18的烷基被碳原子数为14的烷氧基取代的烷氧基烷基、碳原子数为18的烷氧基、羟基、羧基或碳原子数为26的烷氧羰基。式(E-l)中，碳原子数为18的烷基、碳原子数为18的烷氧基、烷氧基烷基中的烷氧基和烷基、以及烷氧羰基中的烷氧基，各自可以为直链状或支链状。烷氧基烷基中的烷氧基，可以在烷基的任意位置取代。作为本发明中的(E)射线吸收剂的优选具体例，可以列举例如2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、3_甲基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、3，3'-二甲基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、5-甲基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、6-甲基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、5，5'-二甲基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、6，6'-二甲基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、3-甲氧基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、3，3'-二甲氧基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、3-乙氧基_2，4，2，，4，-四羟基二苯酮、6-乙氧基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、5，5'-二乙氧基_2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、6，6'-二乙氧基-2，4，2'，4'-四羟基二苯酮、2，3，4，2'，4'-五羟基二苯酮、2，3，4，2'，3'，4'-六羟基二苯酮等。它们可以l种单独或者两种以上一起使用。如上所述的(E)射线吸收剂，相对于100质量份(A)碱可溶性树脂，可以在20质量份以下的范围内使用，优选在0.0120质量份，更优选0.lIO质量份的范围内使用。通过在上述范围内使用(E)射线吸收剂，可以使曝光量不发生很大的变化，从而可以精密地控制分隔物的图案尺寸，因此是优选的。上述(F)自由基捕获剂，可以是为了进一步提高所得感射线性树脂组合物的保存稳定性，同时使所形成的分隔物的高度(膜厚)更加均一的目的而使用。作为这种(F)自由基捕获剂，可以使用例如受阻酚化合物、受阻胺化合物、烷基膦酸酯、含硫原子化合物(其中烷基膦酸酯化合物除外)等。作为其具体例子，作为上述受阻酚化合物，可以列举例如季戊四醇四[3_(3，5-二-叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、硫二亚乙基二[3-(3，5-二-叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、十八烷基_3-(3，5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯、1，3，5-三甲基-2，4，6-三(3，5-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、N，N'-六-1，6-二基二[3-(3，5-二叔丁基-4-羟基苯基丙酸酰胺)]、3，3'，3"，5'，5"-五叔丁基-a，a'，a"-(均三甲苯_2，4_三基)三-对甲酚、4，6-二(辛硫基甲基)-邻甲酚、4，6-二(十二烷硫基甲基)-邻甲酚、亚乙基二(氧亚乙基)二[3-(5-叔丁基-4-羟基-间甲苯基)丙酸酯]、亚己基二[3-(3，5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、1，3，5-三(3，5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1，3，5-三嗪-2，4，6-(lH，3H，5H)-三酮、l，3，5-三[(4-叔丁基-3-羟基-2，6-二甲苯基)甲基]-l，3，5-三嗪-2，4，6-(1H，3H，5H)—三酮、2，6-二叔丁基+(4，6-二(辛硫基)_1，3，5-三嗪-2-基胺)苯酚、l，3，5-三(3'，5'-二叔丁基_4'-羟基苄基)异氰尿酸等。作为其市售品，可以列举例如7亍"力7夕7"A0-20、7亍"力7夕7"A0-30、7亍"力^夕7"A0-40、7亍"力夕7"A0-50、7亍"力夕7"A0-60、7亍"力夕7"A0_70、7亍"力夕7"A0-80、7y力夕7"A0-330(以上由(株)ADEKA生产)；s咖ilizerGM、s咖ilizerGS、s咖ilizerMDP-S、s咖ilizerBBM-S、s咖ilizerWX-R、s咖ilizerGA-80(以上由住友化学(株)生产)；IRGAN0X1010、IRGANOX1035、IRGANOX1076、IRGANOX1098、IRGANOX1135、IRGANOX1330、IRGANOX1726、IRGANOX1425WL、IRGANOX1520L、IRGANOX245、IRGANOX259、IRGANOX3114、IRGANOX565、IRGAMOD295(以上由乎"'夕Y"°>(株)生产)；3-〉乂夕》BHT、3-;>乂夕》BB、3-;>乂夕》2246G、3-;>乂夕》425、3-;>乂夕》250、3v乂夕930、3v乂夕sS、3—〉乂少夕》TT、3v乂夕917、3v乂夕314(以上由(株)工一匕。一7<-—水k一-〉3>生产)等。作为上述受阻胺化合物，可以列举例如四(2，2，6，6_四甲基-4-哌啶基)1，2，3，4-丁烷四羧酸酯、二(l-辛氧基-2，2，6，6-四甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、二(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)[[3，5-二(1，1-二甲基乙基)-4-羟基苯基]甲基]丁基丙二酸酯等，作为其市售品，可以列举例如7亍"力^夕7"LA-52、7亍"力夕LA-57、7亍"力^夕7"LA-62、7亍"力夕7"LA-67、7亍"力夕7"LA—63P、7亍"力夕7"LA—68LD、了亍"力^夕7"LA-77、7力夕7"LA-82、7力夕7"LA-87(以上由(株)ADEKA生产)；s咖ilizer9A(由住友化学(株)生产)；CHIMASS0RB119FL、CHIMASS0RB2020FDL、CHIMASS0RB944FDL、TINUVIN622LD、TINUVIN123、TINUVIN144、TINUVIN765、TINUVIN770DF(以上由乎"'^《-〉YA亍<一yS力A《社生产)等。作为上述烷基膦酸酯，可以列举例如亚丁基二{2-叔丁基-5-甲基-对亚苯基卜P，P，P，P-四-十三烷基二(膦)、二(十八烷基)季戊四醇二亚磷酸酯、2，2'-亚甲基二(4，6-二叔丁基-1-苯基氧基)(2-乙基己氧基)磷、三(2，4-二叔丁基苯基)亚磷酸酯、3，9-二(2，6-二叔丁基-4-甲基苯氧基)-2，4，8，10-四氧杂-3，9-二磷杂螺[5.5]i^一烷等，作为其市售品，可以列举例如7亍"力7夕7"PEP-4C、7亍"力7夕7"PEP-8、77力^夕7"PEP-8W、了亍"力^夕7"PEP-24G、了亍"力^夕7"PEP-36、了亍"力^夕7"HP-10、了7力^夕7"2112、了亍"力^夕7"260、了亍"力^夕7"522A、了亍"力^夕7"1178、了亍"力^夕7"1500、了亍"力^夕7"C、了亍"力^夕7"135A、了亍"力^夕7"3010、了亍"力^夕7"TPP(以上由(株)ADEKA生产)；IRGAF0S168(以上由f、'^《-〉YA于<一yS力A文社生产)等。作为上述含硫原子的化合物，可以列举例如季戊四醇四(3-十二烷基硫代丙酸酯)、二(丙酸-正十三烷基)硫醚、硫二亚乙基二[3-(3，5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]等，除此以外，还可以使用硫醚。作为硫醚的市售品，可以列举例如7亍"力》夕7"A0-412S、7y力夕7"A0-503(以上由(株)ADEKA生产)；s咖ilizerTPL-R、s咖ilizerTPM、s咖ilizerTPS、s咖ilizerTP-D、s咖ilizerMB(以上由住友化学(株)生产);IRGA丽PS800FD、IRGAN0XPS802FD、IRGANOX1035(以上由乎"'^《-〉YA于<一7S力；l义'社生产)；DLTP、DSTP、DMTP、DTTP(以上由(株)工一匕。一7<-—水^一-〉3>生产)等。这种(F)自由基捕获剂可以单独或两种以上组合使用。(F)自由基捕获剂，可以相对于100质量份(A)碱可溶性树脂，以15重量份以下的比率使用，通过以0.0115质量份的范围，进而以1IO质量份的范围使用，在可以不损害所得感射线性树脂组合物的射线敏感性的情况下，有效地发挥(F)自由基捕获剂的效果，因此是优选的。上述(G)粘合助剂，可以是为了进一步提高所形成的分隔物与基板的粘合性而使用。作为这种(G)粘合助剂，优选具有羧基、甲基丙烯酰基、乙烯基、异氰酸酯基、环氧乙基等反应性官能团的官能性硅烷偶合剂。作为(G)粘合助剂的具体例子，可以列举Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、P-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷等。这些(G)粘合助剂可以单独或将两种以上混合而使用。(G)粘合助剂的使用比率，相对于100质量份(A)碱可溶性树脂，优选为20质量份以下，更优选为0.120质量份、进一步优选0.5IO质量份。当(G)粘合助剂的使用比率为O.120质量份时，所形成的分隔物对基板的粘合性最好。〈感射线性树脂组合物的调制>本发明的感射线性树脂组合物可以通过分别将上述(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和共聚物(D)以及如上所述的任选添加的其他成分以一定的比率均匀地混合而调制。该感射线性树脂组合物优选以溶于适当的溶剂中的溶液状态使用。作为本发明感射线性树脂组合物的调制中可以使用的溶剂，使用能够均匀地溶解(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和共聚物(D)以及任选添加的其他成分，并且不与各成分反应的溶剂。作为这样的溶剂，可以列举与上述作为可以用于制备(A)碱可溶性树脂的溶剂而例示的相同溶剂。在这种溶剂中，从各成分的溶解性、与各成分的反应性、形成涂膜的容易性等角度考虑，可特别优选使用例如二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇二乙醚、二甘醇乙基甲基醚、二甘醇二甲醚、丙二醇单甲醚、乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、二丙二醇单甲醚乙酸酯、乙酸3_甲氧基丁基酯、环己醇乙酸酯、苄基醇、3_甲氧基丁醇。这些溶剂可以一种单独使用，也可以将两种以上混合使用。此外，为提高膜厚的面内均匀性，还可以与上述溶剂一起联用高沸点溶剂。作为可以联用的高沸点溶剂，可以列举例如N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、苄基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、l-辛醇、l-壬醇、醋酸苄基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、Y-丁内酯、碳酸丙二酯等。其中，优选N-甲基吡咯烷酮、Y-丁内酯或N，N-二甲基乙酰胺。作为本发明感射线性树脂组合物的溶剂，当联用高沸点溶剂时，其使用比率，相对于溶剂总量，优选为140质量％，更优选为330质量％。当高沸点溶剂的用量为140质量％时，可使涂膜的厚度均匀性良好，并使图案形成性也良好。当将本发明的感射线性树脂组合物配制成溶液状态时，固体成分浓度(溶剂以外的成分，即上述(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和共聚物(D)以及任选添加的其他成分的合计量在组合物溶液中所占的比率)，可以根据使用目的和所需的膜厚度值等而设定为任意浓度(例如550质量％)。更优选的固体含量浓度，根据在基板上形成涂膜的方法而不同。当采用旋涂法作为涂敷方法时，固体含量浓度更优选为2050质量％，特别优选为3040质量％。采用缝模涂敷法时的固体含量浓度，更优选为1035质量％，特别优选为1530质量％。如此调制的组合物溶液还可以在用孔径为0.5iim左右的微孔滤器等过滤后再供给使用。〈分隔物的形成方法〉接着，对用本发明感射线性树脂组合物形成分隔物的方法进行说明。本发明分隔物的形成方法特征在于，至少按照下述顺序包括以下工序(1)(4)。(1)将本发明感射线性树脂组合物涂敷在基板上形成涂膜的工序，(2)对该涂膜的至少一部分进行曝光的工序，(3)对曝光后的涂膜进行显影的工序，(4)对显影后的涂膜进行加热的工序。以下，依次对这些各工序进行说明。[(l)将本发明感射线性树脂组合物涂敷在基板上形成涂膜的工序]首先将本发明感射线性树脂组合物涂敷在基板上形成涂膜。在形成TN(扭曲向列)模式、STN(超扭曲向列)模式、VA(垂直取向)模式等利用在与基板面垂直方向上产生的电场的液晶显示元件中所用的分隔物时，在形成了元件的构成要件和保护膜的基板上进一步形成透明导电膜，在该透明导电膜上涂敷本发明的感射线性树脂组合物。另一方面，在形成利用在基板面的水平方向上产生的电场的ips(面内切换)模式的液晶显示元件中所用的分隔物时，在形成了元件的构成要件和保护膜的基板上，涂敷本发明的感射线性树脂组合物。对于上任一情况，基板均优选为透明基板，可以列举例如玻璃基板、树脂基板等。更具体地，可以列举钠钙玻璃、无碱玻璃等玻璃基板；聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亚胺等合成树脂制的树脂基板。作为上述透明导电膜，可以列举氧化锡(Sn02)制的NESA膜(美国ppg公司注册商标)、氧化铟_氧化锡(In203-Sn02)制的ITO膜等。对涂敷感射线性树脂组合物的方法没有特别的限制，可以采用例如喷涂法、辊涂法、旋转涂布法(旋涂法)、缝模涂敷法、棒涂法、喷墨涂敷法等适当的方法。优选旋涂法、缝模涂敷法。特别是当采用缝模涂敷法时，由于能够最大限度地发挥本发明的有益效果，因此是优选的。涂敷后，优选进行预烘焙和后烘焙。预烘焙和后烘焙的条件，应分别根据本发明感射线性树脂组合物中所含的成分的种类、使用比率等而适当地设定。预烘焙可以在例如709(TC下进行例如115分钟左右的条件下进行。后烘焙可以采用加热板、洁净烘箱等适当的加热装置进行。作为后烘焙的温度，优选18024(TC，更优选为20023(TC。后烘焙时间，根据所用的加热装置的种类而不同。当采用加热板作为后烘焙的加热装置时，后烘焙时间优选为1060分钟，更优选为1540分钟。当采用洁净烘箱时，后烘焙时间优选为20120分钟，更优选为3090分钟。如上形成的涂膜的厚度，优选为O.18iim，更优选为0.16iim，进一步优选为0.14iim。21[(2)对该涂膜的至少一部分进行曝光的工序]接着，对所形成的涂膜的至少一部分照射射线。此时，在仅对涂膜的一部分进行照射时，可以采用例如借助具有预定图案的光掩模进行照射的方法。作为照射时使用的射线，可以列举可见光线、紫外线、远紫外线等，其中优选波长处于250550nm范围的射线，特别优选含365nm的紫外线的射线。射线照射量(曝光量)是照射射线的波长为365nm的强度采用照度计(OAI356型，OpticalAssociatesInc.制造)测定的值，优选为1005000J/m2，更优选为2003000J/m2。本发明感射线性树脂组合物，与以前已知的组合物相比，射线敏感性高，即使上述射线照射量为800J/m2以下，也能够获得具有预期膜厚、良好形状、优良的粘合性和高硬度的分隔物或保护膜。[(3)对曝光后的涂膜进行显影的工序]接着，通过对照射射线后的涂膜进行显影，除去无用的部分(非曝光部分)，形成预定的图案。作为显影时使用的显影液，可以使用例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠等无机碱性化合物；氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵等季铵盐等有机碱性化合物的水溶液。上述碱性化合物的水溶液中还可以添加适量的选自甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂和表面活性剂构成的群组中的至少一种而使用。作为显影方法，流动展开涂敷法(液盛>9法)、浸渍法、冲洗法等任意一种均可，显影时间优选为10180秒钟左右。显影温度为常温即可。继显影处理之后，优选例如进行3090秒的流水冲洗后，采用压縮空气或压縮氮气进行风干，即可获得所需的图案。[(4)对显影后的涂膜进行加热的工序]接着，通过采用加热板、烘箱等适当的加热装置，在预定的温度如10025(TC下，对所得图案状涂膜加热预定的时间，例如，在加热板上进行530分钟，在烘箱中则进行为30180分钟，即可制得具有所需图案的分隔物。经过如上所述的工序，可以在不使涂膜上产生由微小凹凸构成的斑痕的情况下，形成膜厚均一性等各种性能优良的液晶显示元件用的分隔物。实施例以下例示合成例和实施例，对本发明进行更具体的说明，但是本发明并不局限于这些合成例和实施例。另外，以下，聚合物的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)通过采用以下条件的凝胶渗透色谱(GPC)测定。测定装置:東乂一(株)制造的"HLC8220系统"分离柱4根東乂一(株)制造的TSKgelGMH服-N串联连接而使用柱温度40。C洗脱溶剂四氢呋喃(和光純薬工業(株)生产)流速1.0ml/分钟样品浓度1.0质量％样品注入量100iim检测器差示折射仪标准物质单分散聚苯乙烯另外，感射线性树脂组合物的溶液粘度，采用東京計器(株)制造的E型粘度计在30。C下测定。〈(A)碱可溶性树脂的合成>[聚合物[A]的合成]合成例A-1向装有冷却管和搅拌器的烧瓶中，加入5质量份2，2'_偶氮二异丁腈、125质量份醋酸3_甲氧基丁基酯和125质量份丙二醇单甲醚乙酸酯。继续加入18质量份甲基丙烯酸、25质量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯、5质量份苯乙烯、5质量份丁二烯、25质量份甲基丙烯酸2-(6-羟基己酰氧基)乙酯(商品名PLACCELFM1D，夕'M七^化学工業(株)生产)，用氮气置换后，在缓慢搅拌下，使溶液的温度升至80°C，保持该温度5小时，得到含共聚物(a-l)的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固体含量浓度(是指聚合物溶液中所含的聚合物的质量占聚合物溶液总质量的比率，下同)为29.1质量％，共聚物(a-l)的重均分子量Mw为18000。然后，取换算成其中所含的聚合物相当于100质量份(固含量)的量的所得共聚物(a-l)溶液，向其中加入14质量份2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯(商品名力^>义'MOI，昭和電工(株)生产)和0.1质量份4-甲氧基苯酚后，在4(TC下搅拌1小时，再在6(TC下搅拌2小时进行反应。采用IR(红外线吸收)光谱确认来源于2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯的异氰酸酯基与来源于共聚物的羟基的反应的进行。在4(TC下进行1小时反应后的溶液和进一步在6(TC下进行2小时反应后的溶液的各自的IR光谱中，确认了来源于2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯的异氰酸酯基的2270cm—1附近的峰的已减少。通过上述反应，得到固体含量浓度为34.0%的含聚合物(A-l)的溶液。[共聚物[e]的合成]合成例P-l向装有冷凝管和搅拌器的烧瓶中，加入5质量份2，2'-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)和200质量份二甘醇甲基乙基醚。继续加入18质量份甲基丙烯酸、40质量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、5质量份苯乙烯和32质量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯，用氮气置换后，再加入5质量份1，3-丁二烯，在缓慢搅拌下，使溶液的温度升至7(TC，保持该温度5小时进行聚合，得到含共聚物的溶液。该聚合物溶液的固体含量浓度为33.0质量％，共聚物[P-1]的Mw为11000。合成例P-2向装有冷凝管和搅拌器的烧瓶中，加入4质量份2，2'-偶氮二(2，4_二甲基戊腈)、250质量份二甘醇甲基乙基醚。继续加入5质量份苯乙烯、20质量份甲基丙烯酸、20质量份甲基丙烯酸四氢糠基酯、30质量份甲基丙烯酸縮水甘油酯和25质量份3-(甲基丙烯酰氧基甲基)_3-乙基氧杂环丁烷，用氮气置换后，再加入5质量份1，3-丁二烯，用氮气置换后，再加入5质量份1，3-丁二烯，在缓慢搅拌下，使溶液的温度升至7(TC，保持该温度235小时进行聚合，得到含共聚物[13_2]的溶液。该溶液的固体含量浓度为28.3质量％，共聚物[e_2]的Mw为11000。[共聚物[Y]的合成]合成例Y-l向装有冷凝管和搅拌器的烧瓶中，加入5份2，2'-偶氮二(异丁腈)和250质量份二甘醇甲基乙基醚，继续加入35质量份2-甲基丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯、25质量份甲基丙烯酸正丁基酯和35质量份甲基丙烯酸苄基酯，用氮气置换后，再加入5质量份1，3-丁二烯，在缓慢搅拌下，使溶液的温度升至9(TC，保持该温度5小时进行聚合，得到共聚物[y-l]。该溶液的固体含量浓度为28.0质量％，共聚物[y-1]的Mw为12000。〈共聚物(D)的合成>合成例D-l向装有搅拌装置、冷凝器和温度计的玻璃烧瓶中，加入作为(dl)化合物的上述式(dl-l)表示的化合物28.4质量份、作为(d2)化合物的NK-工》于AM-90G(商品名，新中村化学(株)生产)20.7质量份、作为(d3)化合物的下述式(d3-l-l-l)表示的化合物18.l质量份、作为(d4)化合物的甲基丙烯酸甲酯5.9质量份和丙烯酸2-乙基己基酯23.5质量份、作为(d5)化合物的丁二醇两末端被甲基丙烯酸酯化的化合物3.4质量份、作为溶剂的异丙醇414质量份，在氮气流中，在回流下，加入作为聚合引发剂的2，2'-偶氮二异丁腈0.7质量份和作为链转移剂的十二烷基硫醇4质量份后，在75t:下回流8小时进行共聚，得到含有共聚物(D-l)的溶液。然后，用蒸发器在7(TC以下的加热条件下除去溶剂，分离出共聚物(D-l)。所得共聚物(D-l)的数均分子量Mn为2800，重均分子量Mw为5300，分子量分布(Mw/Mn)为1.9。MeIMe——Si一0Me上式中，Me为甲基。合成例D-2在上述合成例D-l中，除了使作为链转移剂的十二烷基硫醇的添加量为1质量份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>以外，与合成例D-1同样地操作，得到共聚物(D-2)。所得共聚物(D-2)的数均分子量Mn为4700，重均分子量Mw为11000，分子量分布(Mw/Mn)为2.3。合成例D-3在上述合成例D-1中，不使用作为链转移剂的十二烷基硫醇，并使共聚温度和时间分别为73t:和10小时，除此以外，与合成例D-1同样地操作，得到共聚物(D-3)。所得共聚物(D-3)的数均分子量Mn为5600，重均分子量Mw为21000，分子量分布(Mw/Mn)为3.8。合成例D-4向装有搅拌装置、冷凝器和温度计的玻璃烧瓶中，加入作为(dl)化合物的上述式(dl-1)表示的化合物39.4质量份、作为(d2)化合物的NK-工》于AM-90G(新中村化学(株)生产)31.6质量份、作为(d3)化合物的上述式(d3-l-l-l)表示的化合物29.0质量份、作为溶剂的异丙醇414质量份，在氮气流中，在回流下，加入作为聚合引发剂的偶氮二异丁腈0.7质量份、作为链转移剂的十二烷基硫醇4质量份后，在75t:下回流8小时进行共聚，得到含有共聚物(D-4)的溶液。然后，用蒸发器在7(TC的加热条件下脱去溶剂，分离出共聚物(D-4)。所得共聚物(D-4)的分子量，数均分子量为3000，重均分子量为6000。另外，分子量分布(Mw/Mn)为2.0。合成例D-5向装有搅拌装置、冷凝器和温度计的玻璃烧瓶中，加入作为(d1)化合物的上述式(dl-l)表示的化合物28.4质量份、作为(d2)化合物的NK--》于AM-90G(新中村化学(株)生产)20.7质量份、作为(d3)化合物的上述式(d3-l-l-l)表示的化合物21.5质量份、作为(d4)化合物的甲基丙烯酸甲酯5.9质量份和丙烯酸2-乙基己基酯23.5质量份、以及作为溶剂的异丙醇414质量份，在氮气流中，在回流下，加入作为聚合引发剂的2，2'-偶氮二异丁腈0.7质量份、作为链转移剂的十二烷基硫醇4质量份后，在75t:下回流8小时进行共聚，得到含有共聚物(D-5)的溶液。然后，用蒸发器在7(TC的加热条件下脱去溶剂，分离出共聚物(D-5)。所得共聚物(D-5)的数均分子量Mn为2600，重均分子量Mw为5000，另外，分子量分布(Mw/Mn)为1.9。实施例1〈感射线性树脂组合物的调制>向作为(A)碱可溶性树脂的换算成共聚物(P-l)相当于100质量份(固含量)的量的上述合成例P-l中制得的含有共聚物(P-1)的溶液、作为(B)聚合性不饱和化合物的130质量份二季戊四醇五丙烯酸酯与二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物(B-l)、作为(C)感射线性聚合引发剂的5质量份乙酮-l-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-l-(O-乙酰基肟)(于"'^《-〉YA于<一少S力A文社生产的"<少if*工70XE02")(C-l)和20质量份2-二甲氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基苯基)_丁烷-1-酮(商品名<&力'*二7379，f、'^《-〉YA于<一少S力A文社生产)(C-2)、作为共聚物(D)的0.3质量份上述合成例D-l中制得的共聚物(D-l)、以及作为25其他成分的5质量份Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(GPT)中，加入作为溶剂的二甘醇乙基甲基醚(DEG)，溶解成固体含量浓度为23重量％后，用孔径为0.5m的微孔滤器进行过滤，调制出感射线性树脂组合物(S-1)。调制后的感射线性树脂组合物(S-l)的粘度为5.OcP。对以上调制的感射线性树脂组合物(S-l)，按照以下程序进行评价。〈评价>(1)涂膜外观的评价在550X650mm的形成了铬膜的玻璃上，采用缝模涂敷器(TR632105_CL，東京応化工業(株)制造)涂敷以上调制的感射线性树脂组合物(S-l)，在65Pa下除去溶剂后，在9(TC下加热2分钟，形成膜厚为3.5m的涂膜。对于该涂膜的表面外观，在形成后，在钠灯下目测观察涂膜。对产生的斑痕如下进行分类，并对各种斑痕的有无和强度进行评价。(斑痕的分类)烟雾斑涂膜表面整体产生的烟雾状斑痕纵线斑涂敷嘴扫掠方向上产生的条状斑痕工作台真空吸痕斑涂敷工作台中用于真空吸附基板的空穴产生的斑痕支撑销斑搬运基板用的支撑销产生的斑痕(斑痕的有无和强度评价)无没有鉴定到斑痕的情形弱鉴定有稍许斑痕的情形强明显鉴定到斑痕的情形(2)膜厚均一性的评价在上述"(l)涂膜外观的评价"中，除了使用550X650mm的无碱玻璃代替550X650mm的形成了铬膜的玻璃以外，与上述"(1)涂膜外观的评价"同样地操作，在基板上形成涂膜。对该涂膜，在20个的测定点处测定膜厚，按照下式求出膜厚均一性。膜厚均一性(％)=(涂敷膜厚的最大值-最小值)X100/((20个点的涂膜厚度平均值)X2)若这样求得的涂膜厚度均一性为1%以下，则膜厚均一性可认定为良好。另外，上述20个测定点，如下确定。S卩，扣除从基板(550X650mm)的长边和短边的各边缘向内50mm的范围，以内侧区域(450550mm)作为测定区域，在该区域内，在长边方向和短边方向的直线上，分别每隔40mm各确定10个点(合计20个点)，以其作为测定点。(3)敏感度的评价采用旋涂法在95mmX95mm的无碱玻璃基板上涂敷感射线性树脂组合物(S-1)后，在90°C的加热板上预烘焙3分钟，形成膜厚为3.5iim的涂膜。然后，通过形成了直径为12iim的圆形图案作为开口部的光掩模，采用365nm的强度为250W/m2的紫外线，以曝光时间作为变量，对所得涂膜进行曝光。然后，采用0.05质量％的氢氧化钾水溶液在25t:下显影60秒钟后，用纯水洗涤1分钟，再在23(TC的烘箱中后烘焙30分钟，即形成了由图案状涂膜构成的分隔物。此时，调查后烘焙后的残膜率(后烘焙后的涂膜厚度X100/曝光后(后烘焙前)的膜厚度)为90%以上时的最小曝光量，以该值作为敏感度。当该值为800J/m2以下时，敏感度可认定为良好。(4)耐打磨性的评价除了曝光量为与"(3)敏感度的评价"中确定的敏感度相当的曝光量以外，与"(3)敏感度的评价"同样地在基板上形成分隔物。采用液晶取向膜涂敷用印刷机将液晶取向剂AL3046(商品名，JSR(株)生产)涂敷在所得基板上后，在18(TC下加热1小时除去溶剂，形成膜厚为0.05iim的液晶取向剂的涂膜。接着，采用装有缠绕了聚酰胺制的布的辊的打磨机，以辊的转速为500rpm、操作台移动速率为lcm/秒的条件，对该涂膜进行打磨处理。此时，调查有无图案的削除或脱落。(5)压縮性能的评价除了曝光量为与"(3)敏感度的评价"中确定的敏感度相当的曝光量以外，与"(3)敏感度的评价"同样地在基板上形成圆柱形图案构成的分隔物。采用微小压縮试验机(7<7-〉Y—7-—:ZHIOOC(7<7-〉^一^>卜A乂>'乂制造))，使用50iim的角形平面压头，通过40mN的负重，对该分隔物进行压縮试验，测定对荷重的压縮变形量的变化，由负载40mN荷重时的变形量和除去40mN的荷重时的变形量计算出回复率(％)。此时，当回复率为90%以上，且40mN负重时的变形为0.15iim以上时，可认定为具有高回复率和柔软性两者兼备的压縮性能的分隔物。实施例220和比较例14在上述实施例1中，除了(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和共聚物(D)以及其他成分的种类和用量以及所用溶剂的种类分别如表l中所示以外，与实施例1同样地调制感射线性树脂组合物，并进行评价。另外，在比较例13中，采用市售的表面活性剂代替共聚物(D)。并且，在比较例4中，共聚物(D)和表面活性剂均没有使用。评价结果列于表1。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>表1表3中各成分的简称分别为以下含义。当(C)感射线性聚合引发剂与氨基类增敏剂和硫醇化合物联用时，所用的氨基类增敏剂和硫醇化合物的种类和用量，一并列于表l中的(C)感射线性聚合引发剂的栏中。成分栏中"-"表示没有使用该栏中的相应成分。〈(B)聚合性不饱和化合物>B-l:二季戊四醇六丙烯酸酯(商品名KAYARADDPHA，日本化薬(株)生产)B-2:含有多官能尿烷丙烯酸酯类化合物的聚合性不饱和单体(商品名KAYARADDPHA-40H，日本化薬(株)生产)B-3:环氧乙烷改性的二季戊四醇六丙烯酸酯(商品名KAYARADDPEA-12,由日本化薬(株)生产)〈(C)感射线性聚合弓I发剂>C-l:乙酮-1-[9_乙基-6-(2_甲基苯甲酰基)_9H_咔唑_3_基]_1_(0_乙酰基月亏)(乎K《-〉^A于<一少S力A义'社生产的"<A力*二70XE02")C-2:2-(4-甲基节基)_2_(二甲氨基)_1_(4_吗啉基苯基)_丁烷_1_酮(商品名<;l力'*工了379，"'^《v^^r<—少S力；l义'社生产)C-3:2，2，-二(2_氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基-l，2'-二咪唑C-4:4，4'-二(二乙氨基)二苯酮C-5:2-巯基苯并噻唑〈其他成分〉(E)射线吸收剂THBP:2，4，2'，4'-四羟基二苯酮(F)自由基捕获剂AO-20:l，3，5-三(3'，5'-二叔丁基-4，-羟基苄基)异氰尿酸(商品名"7亍"力^夕7"AO-20"，由(株)ADEKA生产)AO-330:l，3，5-三甲基-2，4，6-三(3，5_二-叔丁基_4_羟基苄基)苯(商品名"7亍"力^夕7"AO-330"，由(株)ADEKA生产)PEP-8:二(十八烷基)季戊四醇二亚磷酸酯(商品名"7亍"力7夕7"PEP-8"，由(株)ADEKA生产)(G)粘合助剂GPT:Y_环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷〈表面活性剂>S-1(比较例1):聚硅氧烷类表面活性剂(東k夕"々-一二>夕"*'j-一>(株)生产，商品名SH_193)。222F)S_2(比较例2):氟类表面活性剂((株)才、才^生产，商品名7夕一-工>卜〈溶剂>DEG:二甘醇乙基甲基醚PGM:丙二醇单甲醚乙酸酯。权利要求一种感射线性树脂组合物，其特征在于含有(A)碱可溶性树脂；(B)聚合性不饱和化合物；(C)感射线性聚合引发剂；以及(D)含有(d1)下述式(10)表示的化合物、(d2)下述通式(20)表示的化合物和(d3)具有下述通式(3)表示的基团的聚合性不饱和化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物，CH2＝CR1COO-CαH2α-CβF2β+1(10)式(10)中，R1为氢原子或甲基，α为0～6的整数，β为1～20的整数，CH2＝CR2COO-(CγH2γ-O)a-R3(20)式(20)中，R2为氢原子或甲基，R3为碳原子数为1～12的烷基，γ为2或3，a为重复单元数，其平均数值为1～30，式(3)中，R4、R5、R6、R7和R8各自独立地为碳原子数为1～20的烷基、苯基或下述通式(4)表示的基团，b为0～3的整数，式(4)中，R9、R10和R11各自独立地为碳原子数为1～20的烷基或苯基，c为0～3的整数。FSA00000009808400011.tif,FSA00000009808400012.tif2.权利要求l所述的感射线性树脂组合物，其中上述(D)共聚物是除了上述化合物(dl)、化合物(d2)和化合物(d3)以外还含有(d4)具有碳原子数为18的烷基的聚合性不饱和化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物。3.权利要求2所述的感射线性树脂组合物，其中上述(D)共聚物是除了上述化合物(dl)、化合物(d2)、化合物(d3)和化合物(d4)以外还含有(d5)—分子中具有2个以上不饱和键的聚合性不饱和化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物。4.权利要求3所述的感射线性树脂组合物，其中上述化合物(dl)为下述式(1)表示的化合物，上述化合物(d2)为下述通式(2)表示的化合物，并且(D)共聚物是由2535质量％化合物(dl)、2030质量％化合物(d2)、1520质量％化合物(d3)、2535质量％化合物(d4)和15质量％化合物(d5)组成的聚合性不饱和化合物的共聚物，CH2=CI^COO-CHACsF"(1)式(1)中，R1与上述式(1°)中定义相同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式(2)中，R2和R3分别与上述式(2°)中的定义相同，重复单元数a的平均数值为412。5.—种液晶显示元件用分隔物的形成方法，其特征在于至少按照以下顺序包括以下工序，(1)将权利要求14任一项所述的感射线性树脂组合物涂敷在基板上形成涂膜的工序，(2)对该涂膜的至少一部分进行曝光的工序，(3)对曝光后的涂膜进行显影的工序，禾口(4)对显影后的涂膜进行加热的工序。6.采用权利要求5所述的方法形成的液晶显示元件用分隔物。全文摘要本发明提供一种感射线性树脂组合物和液晶显示元件的分隔物及其形成方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，该感射线性树脂组合物也能够在不使涂膜上产生由微小凹凸构成的斑痕的情况下形成液晶显示元件的分隔物，该分隔物能够保持作为液晶显示元件的分隔物所需的各种性能(例如高回复率和柔软性兼备的压缩性能以及耐打磨性)，同时具有特高的膜厚均一性的液晶显示元件。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和(D)具有硅氧烷链的特定聚合物。液晶显示元件的分隔物由上述感射线性树脂组合物形成。文档编号G03F7/027GK101794075SQ20101010415公开日2010年8月4日申请日期2010年1月27日优先权日2009年1月28日发明者滨田谦一,长屋胜也申请人:Jsr株式会社