专利名称：可调多激光脉冲扫描显微镜和操作该显微镜的方法
可调多激光脉冲扫描显微镜和操作该显微镜的方法背景技术
应用脉冲激光光束的显微镜在本领域是已知的，特别地是使用两个或多个不同波 长的脉冲激光光束的共焦显微镜。这两个或多个激光脉冲被临时地空间同步化，但波长不 同。基于特定类型的显微镜，激光脉冲或者同时地到达待测样本上的特定扫描点，或者不同 波长的激光脉冲之间间隔特定的时间延迟到达该特定扫描点。应用两个不同激光脉冲的 显微镜比如为相干反斯托克斯拉曼散射(CARS)显微镜，受激拉曼散射(SRS)显微镜，拉曼 感应科尔效应散射(RIKES)显微镜，和频振荡(SFG)显微镜以及受激发射损耗(STED)显微 镜。应用三个不同的波长以明显的预定义的时间延迟或相重叠地照射样本的显微镜比如为 非退化反斯托克斯拉曼散射(CARS)显微镜。
对于这些类型的显微镜的不同的应用，期望的是从一个或多个不同波长的激光脉 冲中选出透射的波长。已知有使用声光可调滤波器(AOTF)来选择波长。将射频应用至透 射特定波长的激光脉冲的AOTF晶体，通过改变射频，仅有与该特定、改变的射频相关的特 定波长的激光被晶体透射。
AOTFs的一个特性是通过AOTF的不同中心波长的激光脉冲将经历不同的时间延 迟，即这些光以不同的速度通过A0TF。换句话说，不同波长的两个激光脉冲具有不同的有效 折射率，因而在不同的时间离开A0TF。“离散(walk-off)”的时间量基于两个激光光束的波 长差。对于上述的显微镜，两个或多个脉冲激光光束需要以给定的时间延迟或时间重叠到 达样本，以生成强的信号。该时间延迟可以是零或者非零，但对于每一特定应用该值都是特 定的。波长差在几纳米至几百纳米的范围之间。调节至少一个波长会导致脉冲之间时间延 迟发生变化，因而如果所引起的时间延迟非最佳，则会导致非最佳的成像。发明内容
本发明的目的是提供可调多激光脉冲扫描显微镜，其允许调节至少一个激光脉冲 的波长，且允许调节不同波长的两个激光脉冲之间的特定时间延迟。该时间延迟可为零或非零。
本发明的另一目的是提供一种用于操作上述可调多激光脉冲扫描显微镜的方法， 从而调节至少一个激光脉冲的波长，且将两个激光脉冲之间的时间延迟调节至一特定值。 基于特定类型的显微镜和应用，该时间延迟可为零或非零。
根据本发明，借由一可调多激光脉冲扫描显微镜来实现上述目的，其使用两个不 同波长的脉冲激光光束以同时或以特定的时间延迟来照射待测样本上的扫描点，该显微镜 包括提供第一不同波长的第一激光脉冲的第一脉冲激光光源；提供第二不同波长的第二 激光脉冲的第二脉冲激光光源；声光可调滤波器(A0TF)，用于调节第一和第二激光脉冲中 的至少一个；在声光可调滤波器上游的延迟台，用于延迟第一和第二激光脉冲中的至少一 个；在声光可调滤波器下游探测第一和第二激光脉冲之间的时间延迟的延迟探测器；致动 器，用于基于延迟探测器所探测的时间延迟来移动延迟台。
根据用于操作本发明的显微镜的本发明的第一方法，该方法包括打开第一和第二脉冲激光光源；将第一和第二激光脉冲中之一的波长调节至期望的波长；使用延迟探测 器探测第一和第二激光脉冲之间的时间延迟并生成表示该时间延迟的延迟信号；处理该延 迟信号以生成用于移动延迟台的控制信号；根据控制信号移动延迟台；以及对样本进行成像。
可以理解，本发明并不仅限于两个不同波长的脉冲，还可应用于三个或更多的波 长。应用三个不同的波长以明显的预定义的时间延迟照射样本的显微镜比如为非退化相干 反斯托克斯拉曼散射(CARS)显微镜。为此，显微镜可包含两个延迟台和三个激光光源。这 三个激光光源并不必然需要有三个不同的激光器，也可由一个或两个激光器结合一个或多 个将发射的激光分离成闲频信号和信号波长的光学参量振荡器来制造这三个激光光源。根 据本发明，用于操作包含有三个不同波长的激光脉冲的显微镜的方法包括打开第一和第二 脉冲激光光源并关闭第三脉冲激光光源；将第二激光脉冲的波长调节至期望的波长；使用 延迟探测器探测第一和第二激光脉冲之间的时间延迟并生成表示该时间延迟的第一延迟 信号；处理该第一延迟信号以生成用于移动第一延迟台的第一控制信号；根据第一控制信 号移动第一延迟台；打开第一和第三脉冲激光光源并关闭第二脉冲激光光源；将第三激光 脉冲的波长调节至期望的波长；使用延迟探测器探测第一和第三激光脉冲之间的时间延迟 并生成表示该时间延迟的第二延迟信号；处理该第二延迟信号以生成用于移动第二延迟台 的第二控制信号；根据第二控制信号移动第二延迟台；以及打开第一、第二和第三脉冲激 光光源以对样本进行成像。
该方法可类推至四个或更多不同波长的激光脉冲，例如，在第一步骤中，打开激光 光源I和2、关闭激光光源3和4，随后打开激光光源I和3、关闭激光光源2和4，此后再打 开激光光源I和4、关闭激光光源2和3。如果使用TPA探测器测量激光脉冲之间的时间延 迟，则仅需要一个TPA探测器，其可探测上述连续步骤中第一激光光源和其它激光光源之 间的各个时间延迟。在所有延迟台的位置被设定后再进行成像，在具有4个激光光源的该 例中，是在3个延迟台的位置被设定后再进行成像。
调节一个或多个延迟台的位置的最简单的方法是在监视显微样本的成像质量时 手动地移动该台。然而，通过测量脉冲之间的延迟并根据可从查询表读取的位置来调节延 迟台的位置，可获得更好的性能。该表包含相关参数，例如，调节脉冲的波长，应用的显微镜 类型以及AOTF的特性。可选地，对一组特定的波长执行测量，对其它波长则是计算并调节 其特征延迟。
另外，延迟台可以是机动的，且可提供控制以基于延迟探测器所探测的时间延迟 对机动的延迟台进行控制。控制单元接收来自TPA探测器的延迟信号并生成用于移动延迟 台的控制信号，其引起了被TPA探测器再次探测的另一时间延迟，而该时间延迟则再次使 得控制单元生成控制信号，该控制信号被传输至延迟台的驱动机构，因而通过测量此时再 次调节的时间延迟引起了另一反馈，等等，因此甚至实现了闭环控制。控制单元可以是一个 简单的CPU或商用个人电脑PC。除了 TPA探测器的其它探测器也是可用的，但TPA探测器 对超速激光应用是特别合适的，其性价比高且耐用，特别是设计作为基于LED的TPA探测 器。
通过在声光可调滤波器下游的、且提取部分光束至延迟探测器的分束器向TPA探 测器提供激光脉冲的选出的样本。优选地，该分束器从声光可调滤波器的下游转移第一和第二激光脉冲约5%的光强至延迟探测器，并允许95%的光强入射至样本用于对其进行成像。为恰当地探测激光脉冲之间的时间延迟，提取的5%的光强量即是充足的，但提取出1% 至10%之间的任一光强量皆可行，S卩，虽然较低百分比的光强即已足够，但同样接受并可使用较高的光强。
第一脉冲激光光源包括第一激光器,第二脉冲激光光源包括第二激光。优选地,这些激光光源被设计为发射预啁啾激光光束。可选地，第一和第二脉冲激光光源可包括一泵浦激光，其结合一光学参量振荡器以将泵浦激光转换成不同波长的第一和第二激光脉冲。 鉴于仅需一台激光器、节省了用于第二激光的成本且将失败的风险降低至一台激光器，因而后者特别地耐用且性价比高。
根据另一优选实施例，第一二向色装置是在延迟台的上游空间地分离第一和第二激光脉冲；第二二向色装置是在延迟台的下游再次合并第一和第二激光脉冲。根据本发明的实施例，仅由一种类型的激光脉冲，例如第一激光脉冲被AOTF透射且调节，而另一激光脉冲，例如第二激光脉冲整个绕过AOTF并在AOTF的下游与第一激光脉冲再次空间地合并。 因而，声光可调滤波器是单通道声光可调滤波器，第一和第二激光脉冲中仅有一个透射穿过该声光可调滤波器。可选地，声光可调滤波器是多通道声光可调滤波器，第一和第二激光脉冲皆可透射穿过该声光可调滤波器。
优选地，根据本发明的可调多激光脉冲扫描显微镜是共焦显微镜，但本发明同样适用于其他类型的显微镜，例如线扫描显微镜。特别地对于共焦显微镜，优选地应用形式为相干反斯托克斯拉 曼散射(CARS)显微镜，受激拉曼散射(SRS)显微镜，拉曼感应科尔效应散射(RIKES)显微镜，和频振荡(SFG)显微镜以及受激发射损耗(STED)显微镜。
图1示意性地示出本发明的第一实施例，其中手动地调节延迟台。
图2示意性地示出本发明的第二实施例，其中受控地调节延迟台。
图3示意性地示出本发明的第三实施例，其中受控地调节延迟台，且仅包含一个具有两个输出波长的激光光源。
图4示意性地示出本发明的第四实施例，其中手动地调节延迟台，且仅有一个波长被AOTF透射且调节。
具体实施方式
图1示出本发明第一实施例的基本设计。该实施例包括第一激光器I和第二激光器2。两个激光器优选地皆为脉冲激光器，但同样可以采用连续激光器，其合并脉冲发生器以将连续激光转换成脉冲激光。第一激光器I发射的激光具有第一波长，第二激光器2发射的激光具有与第一波长不同的第二波长。第一激光器发射的激光的光路由附图标记3 7]\ 出，第二激光器发射的激光的光路由附图标记4示出。光路3和4可与A0TF8的光轴7 — 致，或可如图1所示偏离光轴7并被平面镜5和6反射以在进入所述AOTF之前与光轴7 — 致。在该实施例中，AOTF被设计为多通道A0TF，其透射来自第一激光器I和第二激光器2 的激光。第二激光器2发射的激光脉冲在AOTF的输入侧由附图标记9示出，在AOTF的输出侧由附图标记10示出，且输入和输出都发生在AOTF的光轴7上。
并行地，第一激光器沿光路3发出激光脉冲，被平面镜11反射至可如箭头13所示前后移动的延迟台12。延迟台12包括反射元件14，在该实施例中其包含彼此之间成90度的两个反射表面15和16。这使得入射在表面15上的光束被反射至反射表面16，并被反射表面16反射成相反的方向，产生了横向偏移但平行于入射至反射表面15的光束。沿着箭头13移动延迟台可延长或缩短第一激光器I和AOTF之间的整个光程，因而使得源自第一激光器I的激光脉冲延迟到达。如果该整个光程延长了，则激光脉冲较迟地到达A0TF，如果缩短则较早地到达。二向色装置20合并来自延迟台12的光路和来自平面镜6的光路，其允许来自平面镜6并源自激光器2的激光脉冲透过二向色装置20，而源自第一激光器I并来自延迟台12的激光脉冲被反射90度至光路7。
在示意性示出的实施例中，为展示延迟台12的功能，调节延迟台12的位置从而来自第一激光器I的激光脉冲17与源自第一激光器I的激光脉冲9同时到达A0TF8的输入侧。由于激光脉冲9和激光脉冲17的波长不同，因而以不同的速度传播通过A0TF8，因此根据该实施例，来自第一激光器I的激光的激光脉冲18比源自第二激光器2的激光脉冲10 更早地到达AOTF的输出侧。来自第二激光器2的结果激光脉冲10和来自第一激光器I的结果激光脉冲18之间的时间延迟由Λ t示出。激光脉冲10和18都入射在样本19上。为了生成样本19的全像，如本领域已知的，根据典型扫描显微镜那样对样本进行扫描，例如共焦扫描显微镜。
基于特定的显微镜，例如相干反斯托克斯拉曼散射(CARS)显微镜、受激拉曼散射 (SRS)显微镜、拉曼感应科尔效应散射(RIKES)显微镜、和频振荡(SFG)显微镜以及受激发射损耗(STED)显微镜，且基于特定应用的参数，例如波长或两个不同脉冲之间的波长差，一特定的时间差和两个脉冲之间的Λ t产生出最佳的成像结果。基于上述因素的最佳时间差可为零或非零，但无论如何为一特定值。调节Λ t的最简单的机构是允许沿箭头13手动地移动延迟台12的机构，例如采用可旋转的调节旋钮，其基于旋转调节旋钮驱动移动延迟台 12的传动装置。在调节延迟台12的位置时，通过观察成像可获得延迟台12的最佳位置。 可选地，使用独立的外部探测器测量延迟At，并从基于特定应用参数的表中读取延迟台的最佳位置。随后可手动地调节延迟台，将其位置调节至从查询表中读出的位置。可选地，以开环控制的方式使用动力致动器进行调节。
附图2展示了对延迟台12的调节进行改进的实施例。除附图1示出的实施例以外，附图2中的实施例还包含延迟探测器21。在该特殊实施例中，延迟探测器21设计为基于 LED的双光子吸收探测器，通常缩写为TPA。也可以使用其它类型的探测器，但TPA探测器具有简单、便宜的优点且可使用用于超快激光应用的耐用且性价比高的自相关器的结构。TPA 探测器可探测激光脉冲10和18之间的延迟Λ t，生成表示延迟Λ t的信号，并通过延迟信 号线23将该信号发送至控制单元22。控制单元22可以是能够处理通过延迟信号线23输入的延迟信号、且通过控制信号线24输出控制信号的任何控制单元。延迟台12可以是机动的，例如使用结合有适当传动机构的步进马达来移动延迟台，这里由啮合齿条26的齿轮 25示出。其他合适的驱动机构可包括蜗轮。
通过具有5%的反射率和95%的透射率，通常称为95% (T) -5% (R)的分束器27将样本激光脉冲传输至TPA探测器，其在A0TF8的下游将激光脉冲10和18光强的5%转移至 TPA探测器21。TPA探测器仅探测脉冲10和18之间的时间延迟Λ t，因此仅需相对较低的光强。附图2示出的实施例允许闭环控制且可微调作为反馈至闭环控制环的控制变量的延迟Λ t。控制单元22可为简单的中央处理单元CPU，或商用个人电脑PC，其被配置为执行期望的控制步骤。为了进行控制，可在PC中预存储校准表，以查询相应于波长和可调激光光源的延迟台的最佳位置。通常，对于AOTF的特定模型仅需实施一次校准程序并构成AOTF 晶体的群延迟(group delay)特性。如果群延迟特性是已知的，则该步骤完全可以避免，不需执行校准程序即可在校准表中存储适当的数据。
附图3示出附图2所示出的实施例的变型，设法仅使用一个激光器I。激光器I发射的激光被光学参量振荡器36分离成两个不同波长的激光脉冲,光学参量振荡器36将发射的激光分离成具有“闲频”波长的激光和具有“信号”波长的激光。使用二向色装置28将这两个不同波长的激光脉冲空间地分离。平面镜29、30和31将相应于“信号”波长的脉冲组引导至将空间分离的脉冲再次合并的二向色装置32，同时在再合并二向色装置32的上游，平面镜33将对应于闲频波长的另外的脉冲组引导至延迟台12，随后上述二向色装置32 将其再次合并。布置另外的平面镜34和35将这两个激光脉冲沿相同的光路弓I导至A0TF8。 其他元件与附图2中示出的实施例相同，包括分束器27、TPA探测器21、延迟线23、控制单元22和控制信号线24。为保持抽样，附图3中省略了驱动激动延迟台12的驱动机构元件， 可以理解其与附图2中示出的实施例相同。
附图4示出上述实施例的另一变型，为简化示出了附图1的实施例的变型。然而可以理解，包含有结合控制的机动延迟台12的附图2和3的实施例可应用同样的变型。在附图4示出的实施例中，第一激光器I产生的激光脉冲沿与附图1的实施例完全相同的光路经过延迟台12进入A0TF8。而第二激光器产生的激光脉冲并未被引导穿过A0TF8，而是在A0TF8的下游与源自第一激光器I的未调节脉冲、且当时已被A0TF8调节的调节输出脉冲再次合并。这种情况下，使用平面镜37和二向色装置38完成再合并，其中后者在A0TF8 的下游将激光脉冲10和18再次合并。该实施例中，其中仅调节一个波长，即源自第一激光器I的激光脉冲，由于仅需知道A0TF8的参数比如基于特定应用和基于波长的激光传播通 SAOTFS的速度，可基于调节的激光脉冲的波长预存储延迟台的位置，因而可特别容易地实施控制。这种情况下，甚至无需闭环反馈控制，由于用于确定最佳延迟的所有参数都是已知的，因而简单的开环控制 即已足够。
附图标记列表
I第一激光器
2第二激光器
3第一激光的光路
4第二激光的光路
5平面镜
6平面镜
7光轴
8AOTF
9在AOTF输入侧的激光脉冲
10在AOTF输出侧的激光脉冲
11平面镜
12延迟台
13箭头
14反射元件
15反射表面
16反射表面
17在AOTF输入侧的激光脉冲
18在AOTF输出侧的激光脉冲
19样本
20二向色装置
21延迟探测器
22控制单元
23延迟信号线
24控制信号线
25齿轮
26齿条
27分束器
28二向色装置
29平面镜
30平面镜
31平面镜
32二向色装置
33平面镜
34平面镜
35平面镜
36光学参量振荡器
37平面镜
38二向色装置
权利要求
1.一种可调多激光脉冲扫描显微镜，使用至少两个不同波长的脉冲激光光束同时地或以特定的时间延迟来照射待测样本上的扫描点，包括提供第一不同波长的第一激光脉冲的第一脉冲激光光源；提供第二不同波长的第二激光脉冲的第二脉冲激光光源；声光可调滤波器(A0TF)，用于调节穿过该声光可调滤波器的第一和第二激光脉冲中的至少一个；延迟台，设置在该声光可调滤波器的上游或与该声光可调滤波器平行，用于延迟第一和第二激光脉冲中的至少一个；以及致动器，用于基于该声光可调滤波器下游的第一和第二激光脉冲之间的时间延迟来移动该延迟台。
2.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中致动器是机动的，且提供控制以基于该时间延迟控制该机动的致动器。
3.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中进一步包括用于在该声光可调滤波器下游探测第一和第二激光脉冲之间的时间延迟的延迟探测器。
4.根据权利要求3的可调多激光脉冲扫描显微镜，进一步包括设置在该声光可调滤波器下游提取部分光束至该延迟探测器的分束器。
5.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中第一脉冲激光光源包括第一激光器，第二脉冲激光光源包括第二激光器。
6.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中第一和第二脉冲激光光源包括一泵浦激光器，其结合光学参量振荡器以将泵浦激光转换成不同波长的第一和第二激光脉冲。
7.根据权利要求6的可调多激光脉冲扫描显微镜，进一步包括第一二向色装置，在延迟台的上游空间地分离第一和第二激光脉冲；第二二向色装置，在延迟台的下游对第一和第二激光脉冲进行再合并。
8.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中该显微镜为共焦显微镜。
9.根据权利要求8的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中该显微镜是由相干反斯托克斯拉曼散射(CARS )显微镜、受激拉曼散射(SRS )显微镜、拉曼感应科尔效应散射(RIKES )显微镜、和频振荡(SFG)显微镜以及受激发射损耗(STED)显微镜组成的组中的一种。
10.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中声光可调滤波器是单通道声光可调滤波器，第一和第二激光脉冲中仅有一个透射穿过该声光可调滤波 器。
11.根据权利要求1的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中声光可调滤波器是多通道声光可调滤波器，第一和第二激光脉冲皆透射穿过该声光可调滤波器。
12.根据权利要求3的可调多激光脉冲扫描显微镜，其中延迟探测器设计为基于LED的双光子吸收(TPA)探测器。
13.一种操作可调多激光脉冲扫描显微镜的方法，该显微镜使用至少两个不同波长的脉冲激光光束同时地或以特定的时间延迟来照射待测样本上的扫描点，包括提供第一不同波长的第一激光脉冲的第一脉冲激光光源；提供第二不同波长的第二激光脉冲的第二脉冲激光光源；声光可调滤波器(A0TF)，用于调节穿过该声光可调滤波器的第一和第二激光脉冲中的至少一个；延迟台，设置在该声光可调滤波器的上游或与该声光可调滤波器平行，用于延迟第一和第二激光脉冲中的至少一个；以及致动器，用于基于该声光可调滤波器下游的第一和第二激光脉冲之间的时间延迟来移动该延迟台，所述方法包括打开第一和第二脉冲激光光源；将第一和第二激光脉冲中之一的波长调节至期望的波长；确定第一和第二激光脉冲之间的时间延迟并生成表示该时间延迟的延迟信号；处理该延迟信号以生成用于移动延迟台的控制信号；根据控制信号移动延迟台；以及对样本进行成像。
14.一种操作可调多激光脉冲扫描显微镜的方法，该显微镜使用至少三个不同波长的脉冲激光光束同时地或彼此之间以特定的时间延迟来照射待测样本上的扫描点，包括提供第一不同波长的第一激光脉冲的第一脉冲激光光源；提供第二不同波长的第二激光脉冲的第二脉冲激光光源；提供第三不同波长的第三激光脉冲的第三脉冲激光光源；第一和第二声光可调滤波器(AOTF)或多通道声光可调滤波器，用于调节穿过该第一和第二声光可调滤波器(AOTF)或多通道声光可调滤波器的第一、第二及第三激光脉冲中的至少两个激光脉冲；第一和第二延迟台，设置在该声光可调滤波器或多通道声光可调滤波器的上游或与其平行，用于延迟第一、第二及第三激光脉冲中的两个激光脉冲；以及致动器，用于基于时间延迟来移动第一和第二延迟台，所述方法包括打开第一和第二脉冲激光光源并关闭第三脉冲激光光源；将第二激光脉冲的波长调节至期望的波长；确定第一和第二激光脉冲之间的时间延迟并生成表示该时间延迟的第一延迟信号；处理该第一延迟信号以生成用于移动第一延迟台的第一控制信号；根据第一控制信号移动第一延迟台；打开第一和第三脉冲激光光源并关闭第二脉冲激光光源；将第三激光脉冲的波长调节至期望的波长；确定第一和第三激光脉冲之间的时间延迟并生成表示该时间延迟的第二延迟信号；处理该第二延迟信号以生成用于移动第二延迟台的第二控制信号；根据第二控制信号移动第二延迟台；以及打开第一、第二和第三脉冲激光光源以对样本进行成像。
15.根据权利要求14的操作可调多激光脉冲扫描显微镜的方法，进一步包括将该方法应用于非退化反斯托克斯拉曼散射(CARS)显微镜。
全文摘要
描述了一种可调多激光脉冲扫描显微镜及操作该显微镜的方法，使用两个不同波长的脉冲激光光束同时地或以特定的时间延迟来照射待测样本上的扫描点。显微镜包括发射不同波长的激光的至少两个脉冲激光光源，用于调节至少一个激光脉冲的声光可调滤波器(AOTF)，设置在声光可调滤波器上游的延迟台，以及用于基于时间延迟移动延迟台的致动器。从而，至少一种脉冲的波长被调节且至少两个不同波长的脉冲之间的延迟被调节。
文档编号G02B21/00GK103026282SQ201180022811
公开日2013年4月3日 申请日期2011年5月4日 优先权日2010年5月6日
发明者V·V·里那玛查理, W·C·海氏 申请人:徕卡显微系统复合显微镜有限公司