专利名称：基于修补机台的玻璃基板补刻号方法及玻璃基板补刻号装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及玻璃基板制程领域，尤其涉及一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法及玻璃基板补刻号装置。
背景技术：
玻璃基板制程中的黄光制程一般包括涂光阻胶、曝光、显影、及检测四个步骤，玻璃基板刻号(Glass ID)就是在黄光制程中进行的，完成刻号操作的同批次且同规格的玻璃基板都具有相同的刻号，从而区分于不同批次或不同规格的玻璃基板，避免造成混乱。在黄光制程中，玻璃基板刻号是由刻号机来完成的，当刻号机出现故障时，可能造成一些玻璃基板没有刻号、或刻号不完整，这些没有刻号、或刻号不完整的玻璃基板需要进行补刻号制程。现有的补刻号制程为，将该些没有刻号、或刻号不完整的玻璃基板运送到分批机(Changer)进行分批，然后将缺少刻号的玻璃基板运送至其他黄光制程线进行单独重新刻号。然而，这种现有的补刻号制程花费时间较长，同时还容易造成不同批次的玻璃基板混料。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其能够对在黄光制程中未能刻号的玻璃基板进行在线修补，从而减少补刻号制程时间，同时避免不同批次玻璃基板的混料。本发明的另一目的在于提供一种玻璃基板补刻号装置，其结构简单，易操作，有利于简化补刻号制程。为实现上述目的，本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，包括如下步骤步骤I、提供修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头，该激光头电性连接该控制单元，所述存储单元用于存储样式图形文件；步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上，并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接；步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上，该玻璃基板上形成有光阻层；步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件，并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片，数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形；步骤5、激光头发出激光，该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上，对玻璃基板上光阻层进行曝光。
还包括步骤6、将玻璃基板从承载面板上取下，进行显影、蚀刻制程。所述数字微镜芯片包括一由数个微镜镜面组成的长方形阵列及设于各微镜镜面下的微型电极，该微型电极与控制单元电性连接。所述步骤4中，控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件后，还对该样式图形文件进行灰阶比对，找到样式图形的样式边界，以确定该样式图形。本发明还提供一种玻璃基板补刻号装置，包括修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头，该激光头电性连接该控制单元，所述存储单元用于存储样式图形文件，数字微镜芯片安装于激光头上且与所述控制单元电性连接。所述数字微镜芯片包括一由数个微镜镜面组成的长方形阵列及设于各微镜镜面下的微型电极，该微型电极与控制单元电性连接。本发明的有益效果本发明基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，通过在修补机台的激光头上设置数字微镜芯片，使得修补机台具有激光修补成像功能，从而实现玻璃基板刻号的在线修复，避免了玻璃基板运送到其他黄光制程线上进行单独重新刻号的麻烦， 也避免了玻璃基板在分批过程中可能出现的混料状况；本发明玻璃基板补刻号装置，结构简单，易操作，有利于简化补刻号制程。为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式
详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。附图中，图I为本发明基于修补机台的玻璃基板补刻号方法的流程图；图2为本发明玻璃基板补刻号装置的结构示意图。
具体实施例方式为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。请参阅图1，本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，包括如下步骤步骤I、提供修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头，该激光头电性连接该控制单元，所述存储单元用于存储样式图形文件；步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上，并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接；步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上，该玻璃基板上形成有光阻层；
步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件，并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片，数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形；步骤5、激光头发出激光，该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上，对玻璃基板上光阻层进行曝光；步骤6、将玻璃基板从承载面板上取下，进行显影、蚀刻制程，进而完成补刻号制程。同时参阅图2，作为本发明的一具体实施例，所述修补机台20为奥林巴斯修补机台(Olympus R印air)，其包括本体22、设于本体22上的承载面板24、设于本体22上的控制单元26、电性连接于该控制单元26的存储单元(未图示)、及设于本体22上且位于该承载面板24上方的激光头(Laser Head) 28，该激光头28电性连接该控制单元26，所述存储单元用于存储样式图形文件，数字微镜芯片(DMD) 40安装于激光头28上且与所述控制单元 26电性连接。所述数字微镜芯片40包括一由数个微镜镜面(未图示)组成的长方形阵列及设于各微镜镜面下的微型电极(未图示)，该微型电极与控制单元26电性连接。所述修补机台20及数字微镜芯片40均可通过现有技术实现。制程时，所述控制单元26通过调用单独的激光刻号指令调取存储单元中对应的样式图形文件，并对该样式图形文件进行灰阶比对，找到样式图形的样式边界；然后，判断该样式边界与实际图形边界是否一致，若不一致，重新灰阶比对，直至该样式边界与实际图形边界一致；再将该样式图形信号发送至数字微镜芯片40，所述数字微镜芯片40根据该样式图形信号调整微镜镜面及微型电极，转化灰阶，将该样式图形完整显示出来，进而使得该数字微镜芯片40成为一具有样式图形的掩膜；再进行激光刻号，这时，激光头28发射激光， 该激光通过数字微镜芯片40对待刻号的玻璃基板上的光阻层进行曝光，进而在待补刻号位置处形成与该样式图形相同的未曝光光阻层；最后通过显影、蚀刻制程，将该样式图形予以显示，完成补刻号制程，从而实现了玻璃基板刻号的在线修复，避免了玻璃基板运送到其他黄光制程线上进行单独重新刻号的麻烦，也避免了玻璃基板在分批过程中可能出现的混料状况。请参阅图2，本发明还提供一种玻璃基板补刻号装置，包括修补机台20、及数字微镜芯片40，所述修补机台20包括本体22、设于本体22上的承载面板24、设于本体22上的控制单元26、电性连接于该控制单元26的存储单元(未图示)、及设于本体22上且位于该承载面板24上方的激光头28，该激光头28电性连接该控制单元26，所述存储单元用于存储样式图形文件，数字微镜芯片40安装于激光头28上且与所述控制单元电性连接。所述数字微镜芯片40包括一由数个微镜镜面(未图示)组成的长方形阵列及设于各微镜镜面下的微型电极(未图示)，该微型电极与控制单元电性连接。本发明玻璃基板补刻号装置结构简单，易操作，有利于简化补刻号制程，可实现玻璃基板刻号的在线修复，避免了玻璃基板运送到其他黄光制程线上进行单独重新刻号的麻烦，也避免了玻璃基板在分批过程中可能出现的混料状况。以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其特征在于，包括如下步骤步骤I、提供修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头，该激光头电性连接该控制单元，所述存储单元用于存储样式图形文件;步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上，并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接;步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上，该玻璃基板上形成有光阻层；步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件，并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片，数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形；步骤5、激光头发出激光，该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上，对玻璃基板上光阻层进行曝光。
2.如权利要求I所述的基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其特征在于，还包括步骤6、将玻璃基板从承载面板上取下，进行显影、蚀刻制程。
3.如权利要求I所述的基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其特征在于，所述数字微镜芯片包括一由数个微镜镜面组成的长方形阵列及设于各微镜镜面下的微型电极，该微型电极与控制单元电性连接。
4.如权利要求I所述的基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其特征在于，所述步骤4 中，控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件后，还对该样式图形文件进行灰阶比对， 找到样式图形的样式边界以确定该样式图形。
5.一种玻璃基板补刻号装置，其特征在于，包括修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头，该激光头电性连接该控制单元，所述存储单元用于存储样式图形文件，数字微镜芯片安装于激光头上且与所述控制单元电性连接。
6.如权利要求5所述的玻璃基板补刻号装置，其特征在于，所述数字微镜芯片包括一由数个微镜镜面组成的长方形阵列及设于各微镜镜面下的微型电极，该微型电极与控制单元电性连接。
全文摘要
本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法及玻璃基板补刻号装置，所述方法包括如下步骤步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、承载面板、控制单元、存储单元、及激光头；步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上，并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接；步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上，该玻璃基板上形成有光阻层；步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件，并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片，数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形；步骤5、激光头发出激光，该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上，对玻璃基板上光阻层进行曝光。
文档编号G03F7/20GK102608875SQ20121008457
公开日2012年7月25日 申请日期2012年3月27日 优先权日2012年3月27日
发明者李珊 申请人:深圳市华星光电技术有限公司