一种曝光设备及其挡板控制方法
【专利摘要】本发明公开一种曝光设备及其挡板控制方法，该曝光设备包括：设置有发射器和接收器挡板、和挡板驱动器，挡板和挡板驱动器用于与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置。该控制方法包括：挡板和挡板驱动器与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置；挡板设置有发射器和接收器，其中，发射器发射探测信号至基板上；接收器采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号；挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置。根据本发明的技术方案，该曝光设备能够自动确定挡板的位置，提高测试精度，降低测试工艺复杂度。
【专利说明】一种曝光设备及其挡板控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶显示器制备中的曝光技术，尤其涉及一种曝光设备及其挡板控制方法。
【背景技术】
[0002]在薄膜场效应晶体管(TFT-LCD,Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)的生产过程中，利用曝光机和各种类型的掩膜板，可在基板上形成各种不同的图形，如信号线、栅极线、沟道、过孔等。挡板是曝光机中的一个核心部件。采用现有技术，目前的挡板位置，都需要利用人工先在显微镜下进行测量而确定，然后再在曝光机上进行手动修正。采用现有人工方式确定挡板位置并不精确且工艺相对复杂。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种曝光设备及其挡板控制方法，能够自动确定挡板位置。
[0004]为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的:
[0005]一种曝光设备，该曝光设备包括挡板和挡板驱动器，所述挡板和挡板驱动器用于与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置，所述多组感应点分别位于曝光区一侧；其中，所述挡板设置有发射器和接收器，
[0006]所述发射器，用于发射探测信号至基板上；
[0007]所述接收器，用于采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号；
[0008]所述挡板驱动器，用于根据所述电信号确定挡板的位置。
[0009]其中，所述接收器包括光纤探针，用于采集经基板上感应点反射的反射信号。
[0010]其中，所述发射器和所述接收器位于所述挡板的异侧，且所述发射器位于所述挡板面向所述基板一侧，所述接收器位于所述挡板向所述掩膜板一侧。
[0011]其中，所述挡板驱动器，进一步用于根据所述电信号的有或无，确定挡板的位置。
[0012]其中，所述挡板驱动器，进一步用于根据所述电信号的峰值大小变化，确定挡板的位置。
[0013]一种曝光设备的挡板控制方法，该方法包括:挡板和挡板驱动器与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置；挡板设置有发射器和接收器，其中，
[0014]发射器发射探测信号至基板上；
[0015]接收器采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号；
[0016]挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置。
[0017]其中，所述挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置具体包括:
[0018]根据所述电信号的有或无，确定挡板的位置。[0019]其中，所述挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置具体包括:
[0020]根据所述电信号的峰值大小变化，确定挡板的位置。
[0021]本发明提供的曝光设备及其挡板控制方法，挡板和挡板驱动器用于与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置，多组感应点分别位于曝光区一侧。其中，挡板设置有发射器和接收器，发射器发射探测信号至基板上；接收器用于采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据反射信号的光信号形成电信号；挡板驱动器根据电信号确定挡板的位置。采用本发明，由于能控制挡板的移动或停止，从而自动确定挡板位置，与现有技术人工确定挡板位置的方式相比，不仅测试精确且大大降低了测试工艺的复杂度，节省人力消耗。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是本发明设置有发射器和接收器的挡板与基板、挡板驱动器及掩膜板的位置关系不例图；
[0023]图2是本发明中基板的薄膜经过第一次曝光处理后的图形示意图；
[0024]图3至图6是本发明中基板的薄膜经过若干次曝光处理后的图形示意图。
[0025]附图标记说明:
[0026]101:发射器102:接收器
[0027]103:挡板驱动器 104:挡板
[0028]105:基板106:掩膜板 107:待曝光产品
【具体实施方式】
[0029]下面通过附图及具体实施例对本发明再做进一步的详细说明。
[0030]如图1所示，该曝光设备包括:设置有发射器101和接收器102的挡板104，挡板驱动器103 ;其中，挡板104和挡板驱动器103配合使用，用于与具有多组感应点的基板105配合自动确定挡板的位置，所述多组感应点分别位于曝光区一侧。
[0031]发射器101，用于发射探测信号至基板105的被曝光产品107上；
[0032]接收器102，用于采集经基板105上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号；
[0033]挡板驱动器103，用于根据所述电信号确定挡板的位置。
[0034]这里，接收器102包括光纤探针，用于采集经基板上感应点反射的反射信号。
[0035]这里，发射器101和接收器102位于挡板104的异侧，且发射器101位于挡板104面向基板105 —侧,接收器102位于挡板104向掩膜板106 —侧。
[0036]这里，挡板驱动器103，进一步用于根据电信号的有或无，确定挡板的位置。
[0037]这里，挡板驱动器103，进一步用于根据电信号的峰值大小变化，确定挡板的位置。
[0038]一种曝光设备的挡板控制方法，该方法包括:挡板和挡板驱动器与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置；挡板设置有发射器和接收器，其中，
[0039]发射器发射探测信号至基板上；
[0040]接收器采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号；
[0041]挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置。[0042]这里，挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置具体包括:根据所述电信号的有或无，确定挡板的位置。
[0043]这里，挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置具体包括:根据所述电信号的峰值大小变化，确定挡板的位置。
[0044]以下，以探测信号为紫外光的情况具体阐述。
[0045]本发明中，发射器101中的汞灯发射紫外光，该紫外光入射到基板105的薄膜上时，紫外光经过基板105的反射后，反射光可以被接收器102中伸出的光纤探针所采集，光纤探针采集经基板105上感应点反射的反射光后，并根据反射光的光信号形成电信号，挡板驱动器103根据所述电信号确定挡板的位置。
[0046]如图2所示，挡板104位于掩膜板106的四周(位于掩膜板106的上下左右四个位置)，也就是说，在曝光时，一个掩膜板对应4个挡板。
[0047]利用上述曝光设备和掩膜板及基板的配合，可以在基板的薄膜上形成图形，并在形成图形的同时，自动确定挡板的位置，具体的:
[0048]1、在基板的薄膜上制作被曝光产品上的第一层金属图形(被曝光产品的基本图形)时，由于第一层金属图形全是金属，没有形成任何图形，因此不能根据反射光确定曝光区域，只能人工在显微镜下进行测量和调节以确定曝光区域，经过第一次曝光处理后，基板的薄膜上形成如图3所示的图形。
[0049]2、在制作被曝光产品上的其它层图形时，由于基板的薄膜上已经形成有图3所示的图形，因此曝光设备能够根据反射光自动确定挡板的位置；具体的:
[0050]方案一:如图2所不，四个挡板104会按箭头方向由掩膜板106四周向掩膜板106移动，同时曝光设备中的发射器101向基板105发射紫外光；当挡板104向掩膜板106移动到第一个感应点时，根据收到的反射光的光信号得到电信号；挡板驱动器103根据该电信号可以确定此时出现第一个电流极大值，因此可以确定挡板104是位于第一个感应点的位置，挡板驱动器103向挡板104发送反馈信号，挡板104收到反馈信号后停止移动；利用曝光设备在基板105的薄膜上形成如图4所示的图形，图4中黑色粗实线方框的四个边分别代表四个挡板104，从而实现根据电信号自动确定挡板位置。
[0051]在制备下一个图形时，移动基板105，如图5所示，执行上一段描述的处理过程，如此反复；这里，阴影部分的感应点可以被重复曝光。
[0052]这种方式适用于形成与图2中相同的图形，图形包括阴影部分和并列的感应点，如果在制备其它层的图形时，想要得到不同于图2中的图形，例如仅想得到阴影部分的图形，不想得到并列的感应点图形，则需要采用方案二。
[0053]方案二:如图2所示，挡板向掩膜板移动，同时曝光设备中的发射器101向基板105发射紫外光；挡板104向掩膜板106移动到第一个感应点时,根据收到的反射光的光信号得到电信号；处理器103根据该电信号可以确定当前位置对应第一个电流极大值，然后挡板104继续向掩膜板106移动，移动到第一个感应点和第二个感应点中间某个位置时，根据收到的反射光的光信号得到电信号，挡板驱动器103根据该电信号可以确定当前位置对应第一个电流极小值；挡板104继续向掩膜板106移动，直到移动到第三个感应点时，根据收到的反射光的光信号得到电信号，挡板驱动器103根据该电信号可以确定当前位置对应第三个电流极大值，然后向挡板104发送反馈信号，挡板104收到反馈信号后停止移动。如图6所示，利用曝光设备和掩膜板在基板的薄膜上形成图形，并实现自动确定挡板位置。在制备下一个图形时，移动基板105，再执行上述过程，如此反复；上述过程中，挡板104在第X个电流极大值时停止移动。
[0054]综上所述，通过以上方案，在制备曝光所需要的图形时，设置有发射器和接收器的挡板，和挡板驱动器与具有多组感应点的基板和掩膜板配合，能自动确定挡板的位置，是一种灵活的、自动的测试工艺，与现有技术相比，降低了工艺复杂度，且提高了测试精度。
[0055]以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种曝光设备，该曝光设备包括挡板和挡板驱动器，其特征在于，所述挡板和挡板驱动器用于与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置，所述多组感应点分别位于曝光区一侧；其中，所述挡板设置有发射器和接收器， 所述发射器，用于发射探测信号至基板上； 所述接收器，用于采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号； 所述挡板驱动器，用于根据所述电信号确定挡板的位置。
2.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述接收器包括光纤探针，用于采集经基板上感应点反射的反射信号。
3.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述发射器和所述接收器位于所述挡板的异侧，且所述发射器位于所述挡板面向所述基板一侧，所述接收器位于所述挡板向所述掩膜板一侧。
4.根据权利要求1、2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述挡板驱动器，进一步用于根据所述电信号的有或无，确定挡板的位置。
5.根据权利要求1、2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述挡板驱动器，进一步用于根据所述电信号的峰值大小变化，确定挡板的位置。
6.—种曝光设备的挡板控制方法,其特征在于,该方法包括:挡板和挡板驱动器与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置；挡板设置有发射器和接收器，其中， 发射器发射探测信号至基板上； 接收器采集经基板上感应点反射的反射信号，并根据所述反射信号的光信号形成电信号; 挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置具体包括: 根据所述电信号的有或无，确定挡板的位置。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述挡板驱动器根据所述电信号确定挡板的位置具体包括: 根据所述电信号的峰值大小变化，确定挡板的位置。
【文档编号】G03F7/20GK103576468SQ201210285757
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年8月10日 优先权日:2012年8月10日
【发明者】王德帅, 郭建 申请人:北京京东方光电科技有限公司