一种偏差补正方法和装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种偏差补正方法和装置，计算曝光后形成的图形上至少一个点在X和Y方向上的位移偏移量，还计算所述图形上至少一条对角线的旋转角度偏移量；根据得到的位移偏移量以及旋转角度偏移量进行偏差补正。本发明的偏差补正技术利用曝光后形成的图形的对角线的旋转角度进行偏差补正，比现有技术中计算四条边的旋转角度更能反应曝光后形成图形的旋转趋势，有效提高了偏差补正准确性；并且，由于对设计图形没有形状和位置的要求，因此对何种图形均能够计算出曝光后形成图形的旋转角度；另外，进行偏差补正时的具体计算次数从现有技术的四次变为两次，因此偏差补正的操作更加简便、快捷。
【专利说明】一种偏差补正方法和装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及液晶领域，具体涉及一种偏差补正方法和装置。
【背景技术】
[0002] 目前液晶显示领域多采用分步式曝光方式，曝光过程中，曝光机配合掩膜板在玻 璃基板上形成图形。通常，形成的图形的实际位置会与设计图形有偏差，为了使形成的图形 与设计图形一致，需要对曝光机进行偏差补正。
[0003] 目前通用的偏差补正方式为四点四边偏差补正方式，补正值包括X方向，Y方向以 及旋转角度Θ补正三项。此处设置X方向补正值为Λ Χ，γ方向补正值为Λ γ，Θ方向的补 正值为Λ Θ。如图1所示，在坐标系中，假设设计图形的四个角上的A，B，C，D四点的坐标 分别为（xl，yl)，（x2，y2)，（x3，y3)，（x4，y4)。实际曝光后形成的图形的四个角上的A'， B'，C'，D' 四点的坐标分别为（Xr，yl，），（x2'，y2,），（x3'，y3,），（x4'，y4,）。
[0004] λ X和Λ Y的计算方法相似，计算方法如下式所示：
[0005]
【权利要求】
1. 一种偏差补正方法，其特征在于，该方法包括： 计算曝光后形成的图形上至少一个点在X和Y方向上的位移偏移量，还计算所述图形 上至少一条对角线的旋转角度偏移量；根据得到的位移偏移量以及旋转角度偏移量进行偏 差补正。
2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于， 在只计算所述图形上一个点在X和Y方向上的位移偏移量的情况下，将该点在X和Y 方向上的位移偏移量作为整个图形的位移偏移量；或， 在计算所述图形上两个或两个以上的点在X和Y方向上的位移偏移量的情况下，计算 其中的两个、三个或多个甚至全部点在X和Y方向上的位移偏移量，并对得到的相应两个、 三个或多个甚至全部点在X和Y方向上的位移偏移量求平均，将得到的平均值作为整个图 形的位移偏移量。
3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于， 在只计算所述图形中一条对角线的旋转角度偏移量的情况下，将该对角线的旋转角度 偏移量作为整个图形的旋转角度偏移量；或， 当所述图形包括多条对角线时，计算其中的两条、三条或多条甚至全部对角线的旋转 角度偏移量，并对得到的相应两条、三条或多条甚至全部对角线的旋转角度偏移量求平均， 将得到的平均值作为整个图形的旋转角度偏移量。
4. 根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，基于向量夹角的数学计算方法 计算对角线的旋转角度偏移量。
5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述图形上的点是该图形上两条边相交 的点或其它位置上的点。
6. -种偏差补正装置，其特征在于，该装置包括偏差补正单元、执行单元；其中， 所述偏差补正单元，用于计算曝光后形成的图形上至少一个点在X和Y方向上的位移 偏移量，还计算所述图形上至少一条对角线的旋转角度偏移量； 所述执行单元，用于根据所述偏差补正单元得到的位移偏移量以及旋转角度偏移量进 行偏差补正。
7. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述偏差补正单元包括位移偏差补正单 元，用于： 在只计算所述图形上一个点在X和Y方向上的位移偏移量的情况下，将该点在X和Y 方向上的位移偏移量作为整个图形的位移偏移量；或， 在计算所述图形上两个或两个以上的点在X和Y方向上的位移偏移量的情况下，计算 其中的两个、三个或多个甚至全部点在X和Y方向上的位移偏移量，并对得到的相应两个、 三个或多个甚至全部点在X和Y方向上的位移偏移量求平均，将得到的平均值作为整个图 形的位移偏移量。
8. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述偏差补正单元包括旋转角度偏差补 正单元，用于： 在只计算所述图形中一条对角线的旋转角度偏移量的情况下，将该对角线的旋转角度 偏移量作为整个图形的旋转角度偏移量；或， 当所述图形包括多条对角线时，计算其中的两条、三条或多条甚至全部对角线的旋转 角度偏移量，并对得到的相应两条、三条或多条甚至全部对角线的旋转角度偏移量求平均， 将得到的平均值作为整个图形的旋转角度偏移量。
9. 根据权利要求6至8任一项所述的装置，其特征在于，所述偏差补正单元用于基于向 量夹角的数学计算方法计算对角线的旋转角度偏移量。
10. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述图形上的点是该图形上两条边相交 的点或其它位置上的点。
【文档编号】G03G15/04GK104122770SQ201310153820
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2013年4月27日 优先权日:2013年4月27日
【发明者】张思凯, 汪栋, 黎敏, 姜晶晶, 吴洪江 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司