技术特征：
技术总结
本发明公开了一种调焦对准装置及对准方法，用于基底台上基底的调焦和对准，所述调焦对准装置包括第一探测支路，第一探测支路沿光路方向依次包括：光源，产生均匀的照明光；投影狭缝阵列，照明光经投影狭缝阵列后产生调焦光斑和对准光斑，投射至基底表面；分光棱镜，分离经基底反射的调焦光斑和对准光斑；探测单元，包括调焦探测器和对准探测器，调焦探测器对调焦光斑成像得到调焦信号，对准探测器对对准光斑成像得到对准信号；以及信号处理单元，根据调焦信号获得基底的垂向高度变化，根据对准信号获得基底的水平向位置变化；第一探测支路满足Scheimpflug成像条件。本发明使基底上的标记清晰成像到探测器上，提高了调焦和对准精度。
技术研发人员：齐景超;陈飞彪;吴旭婷;于大维
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2016.02.29
技术公布日：2017.09.15