青色感光性树脂组合物、包含其的青色滤色器和显示装置的制作方法

文档序号:11249929阅读:1017来源:国知局

本发明涉及青色感光性树脂组合物、包含其的青色滤色器和显示装置,更详细地说,涉及包含青色着色剂、碱可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、和溶剂的、密合性优异的青色感光性树脂组合物、包含其的青色滤色器和显示装置。



背景技术:

作为办公室自动化设备、便携用小型电视、摄像机的取景器等中使用的电子显示装置,有液晶显示装置(liquidcrystaldisplay:lcd)、等离子体显示面板(plasmadisplaypanel:pdp)、有机发光二极管(organiclightemittingdiode:oled)等,正积极地进行着与这些关联的技术研究。

上述液晶显示装置具有轻质化、薄型化、低价格、低消耗电力驱动化和优异的与集成电路的接合性等优点,在笔记本型个人电脑、监视器、和电视图像用中其使用范围在扩大。这样的液晶显示装置包含形成了黑矩阵、滤色器、和ito像素电极的下部基板、由液晶层、薄膜晶体管、蓄电电容器层构成的有源电路部和形成了ito像素电极的上部基板而构成。

滤色器将用3种以上的色着色的微细的区域在固体摄像元件或透明基板上涂布而制造。这样的着色薄膜通常采用染色法、电沉积法、颜料分散法等形成,但最近使用了耐热性和耐久性等优异的颜料分散法。

颜料分散法是通过在提供了遮光层(黑色矩阵)的透明的基质上涂布含有着色剂的光聚合性组合物、曝光、显影和热固化的一连串的过程从而形成着色薄膜的方法。颜料分散法具有能够提高作为滤色器最重要的性质的耐热性和耐久性、能够均匀地维持膜的厚度的优点。

采用颜料分散法的滤色器的制造中使用的着色感光性树脂组合物一般由粘结剂树脂、光聚合性单体、光聚合引发剂、环氧树脂、溶剂和其他添加剂等组成。

近年来要求滤色器的高色再现,由此在滤色器的制造中使用的着色感光性树脂组合物的着色剂的含量在持续地升高。另外,为了制作可视性优异的高品质的滤色器,对对比度的改善持续地提出要求。

但是,在以往的颜料分散系中,着色感光性树脂组合物中的颜料的含量已达到其极限,颜料的微粒化产生的对比度的改善也达到了极限。由此,现今,研究了作为着色剂同时使用颜料和染料的方法,但如果使用包含染料的着色感光性树脂组合物制造滤色器,则感度不足,产生了使采用碱显影液的显影工序时形成的图案剥离的问题。另外,用包含染料的着色感光性树脂组合物制造滤色器时,产生了在硬烘焙工序中染料的相容性不足、染料在表面析出、对比度降低的问题。



技术实现要素:

发明要解决的课题

本发明的目的在于提供尽管以最小量使用染料但不存在染料产生的感度的降低、密合性优异的青色感光性树脂组合物。

另外,本发明的目的在于提供能够显示高透过和高对比度的青色感光性树脂组合物。

进而,本发明的目的在于提供使用上述青色感光性树脂组合物制造的青色滤色器和显示装置。

用于解决课题的手段

为了实现上述的目的,本发明提供青色感光性树脂组合物,其为包含青色着色剂、碱可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、和溶剂的青色感光性树脂组合物,其特征在于,上述青色着色剂包含下述化学式1的染料,上述光聚合引发剂包含下述化学式2的化合物。

[化学式1]

上述r1~r6各自相同或不同,为氢、包含或不含取代基的碳数6~12的芳基、或者碳数1~20的烷基,

上述碳数1~20的烷基在亚甲基之间可包含氧,

上述碳数1~20的烷基的氢可被卤素原子或氨基取代,

上述r1和r2、r3和r4、以及r5和r6可分别相互结合而形成环,

上述r7~r14各自相同或不同,为氢、卤素原子、硝基、磺酰基、羟基、或碳数1~8的烷基,

上述碳数1~8的烷基在亚甲基之间可包含氧,

上述r15为氢、碳数1~20的烷基、或者包含或不含取代基的碳数6~12的芳基,

上述x为氧、硫、或胺基,

上述y为反阴离子,

上述m为y的氧化数。

[化学式2]

上述a和b为0或1,

上述a为1时,上述b为1,

上述a为0时,上述b为0或1,

(1)上述a=0、b=0的情况下,

上述r16为氢、卤素原子、硝基、包含用卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰氧基、包含或不含取代基的苯基磺酰氧基、包含用卤素原子取代或未被取代的碳数1~8的烷基的磺酰基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环式磺酰基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环式磺酰基,

(2)上述a=0、b=1的情况下,

上述r16为包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基,

(3)上述a=1、b=1的情况下,

上述r16为包含用卤素原子取代或未被取代的碳数1~8的烷基的磺酰氧基、或者包含或不含取代基的苯基磺酰氧基,

上述r17和r18各自相同或不同,为氢、碳数1~22的烷基、包含卤素原子的碳数1~10的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数1~15的烷基、包含或不含取代基的苯基、或者碳数7~11的苯基烷基,

上述r17和r18可形成环,

上述r19为下述化学式3或化学式4,

[化学式3]

[化学式4]

上述r20和r22各自相同或不同,为碳数1~17的烷基、包含卤素原子的碳数2~5的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数2~7的烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~11的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~10的苯氧基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基,

上述r21为碳数1~17的烷基、包含卤素原子的碳数1~7的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数2~7的烷基、包含或不含取代基的碳数2~4的氨基烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~11的苯基烷基、末端为醚基或硫醚基并且包含或不含取代基的碳数7~10的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基,

上述r23为碳数1~16的烷基、包含卤素原子的碳数1~6の烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~10的苯基烷基、末端为醚基或硫醚基并且包含或不含取代基的碳数7~9的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基。

另外,本发明提供用上述青色感光性树脂组合物制造的青色滤色器。

进而,本发明提供包含上述青色滤色器的显示装置。

发明的效果

本发明的青色感光性树脂组合物具有如下效果:与基板的密合性优异,显影工序中不发生使图案剥离的问题。

另外,本发明的青色感光性树脂组合物尽管以最小量使用染料,但能够显示高透过和高对比度的特性。

进而,用本发明的青色感光性树脂组合物制造的滤色器和显示装置具有色再现优异的效果。

具体实施方式

以下对本发明更为详细地说明。

本发明涉及青色感光性树脂组合物,其为包含青色着色剂、碱可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、和溶剂的青色感光性树脂组合物,其特征在于,上述青色着色剂包含下述化学式1的染料,上述光聚合引发剂包含下述化学式2的化合物。

[化学式1]

上述r1~r6各自相同或不同,为氢、包含或不含取代基的碳数6~12的芳基、或者碳数1~20的烷基,

上述碳数1~20的烷基在亚甲基之间可包含氧,

上述碳数1~20的烷基的氢可被卤素原子或氨基取代,

上述r1和r2、r3和r4、以及r5和r6可分别相互结合而形成环,

上述r7~r14各自相同或不同,为氢、卤素原子、硝基、磺酰基、羟基、或碳数1~8的烷基,

上述碳数1~8的烷基在亚甲基之间可包含氧,

上述r15为氢、碳数1~20的烷基、或者包含或不含取代基的碳数6~12的芳基,

上述x为氧、硫、或胺基,

上述y为反阴离子,

上述m为y的氧化数。

[化学式2]

上述a和b为0或1,

上述a为1时,上述b为1,

上述a为0时,上述b为0或1,

(1)上述a=0、b=0的情况下,

上述r16为氢、卤素原子、硝基、包含可被卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰氧基、包含或不含取代基的苯基磺酰氧基、包含可被卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环式磺酰基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环式磺酰基,

(2)上述a=0、b=1的情况下,

上述r16为包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基,

(3)上述a=1、b=1的情况下,

上述r16为包含被卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰氧基、或者包含或不含取代基的苯基磺酰氧基,

上述r17和r18各自相同或不同,为氢、碳数1~22的烷基、包含卤素原子的碳数1~10的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数1~15的烷基、包含或不含取代基的苯基、或者碳数7~11的苯基烷基,

上述r17和r18可形成环,

上述r19为下述化学式3或化学式4,

[化学式3]

[化学式4]

上述r20和r22各自相同或不同,为碳数1~17的烷基、包含卤素原子的碳数2~5的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数2~7的烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~11的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~10的苯氧基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基,

上述r21为碳数1~17的烷基、包含卤素原子的碳数1~7的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数2~7的烷基、包含或不含取代基的碳数2~4的氨基烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~11的苯基烷基、末端为醚基或硫醚基并且包含或不含取代基的碳数7~10的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基,

上述r23为碳数1~16的烷基、包含卤素原子的碳数1~6的烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~10的苯基烷基、末端为醚基或硫醚基并且包含或不含取代基的碳数7~9的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基。

本发明中,通过包含作为着色剂的上述化学式1的染料、和作为光聚合引发剂的上述化学式2的化合物,要提供与基板的密合性优异、显影性优异的青色感光性树脂组合物。

以下对本发明的青色感光性树脂组合物的各成分详细地说明。

(a)青色着色剂

作为本发明的青色感光性树脂组合物的一成分的青色着色剂包含下述化学式1的染料,能够追加地包含青色颜料。

(a1)青色染料

上述青色着色剂包含下述化学式1的青色染料。

[化学式1]

上述r1~r6各自相同或不同,为氢、包含或不含取代基的碳数6~12的芳基、或者碳数1~20的烷基,

上述碳数1~20的烷基在亚甲基之间可包含氧,

上述碳数1~20的烷基的氢可被卤素原子或氨基取代,

上述r1和r2、r3和r4、以及r5和r6可各自相互结合而形成环,

上述r7~r14各自相同或不同,为氢、卤素原子、硝基、磺酰基、羟基、或者碳数1~8的烷基,

上述碳数1~8的烷基在亚甲基之间可包含氧,

上述r15为氢、碳数1~20的烷基、或者包含或不含取代基的碳数6~12的芳基,

上述x为氧、硫、或胺基,

上述y为反阴离子,

上述m为y的氧化数。

上述y优选为包含选自硼、铝、硫、氟、钨、钼、硅、和磷中的1种以上的阴离子,这些阴离子能够追加地包含氧。

上述化学式1的[y]m-,优选地,可为选自包含钨的杂多酸的阴离子、包含钨的同多酸的阴离子、磷钨酸的阴离子、硅钨酸的阴离子、和同多钨酸的阴离子中的1种。

上述化学式1的[y]m-,更具体地,例如,作为ケギン(kegging)型钨磷酸离子,可列举出α-[pw12o40]3-,作为ドーソン(dawson)型钨磷酸离子,可列举出α-[p2w18o62]6-和β-[p2w18o62]6-,作为ケギン型钨硅酸离子,可列举出α-[siw12o40]4-、β-[siw12o40]4-、γ-[siw12o40]4-等,此外,可列举出[p2w17o61]10-、[p2w15o56]12-、[h2p2w12o48]12-、[nap5w30o110]14-、α-[siw9o34]10-、γ-[siw10o36]8-、α-[siw11o39]8-、β-[siw11o39]8-、[w6o19]2-、[w10o32]4-、和wo42-等。

进而,上述m优选为1~15的自然数。

另外,上述青色着色剂能够追加地使用选自具有磺酸、羧酸等酸性基团的酸性染料、酸性染料与含氮化合物的盐、酸性染料的磺酰胺体等和它们的衍生物中的化合物,除此以外,也可选择偶氮系、呫吨系、酞菁系的酸性染料和它们的衍生物,其中优选选择使用偶氮系的酸性染料和它们的衍生物。另外,优选地,上述青色染料可列举出在色指数(thesocietyofdyersandcolourists出版)内分类为染料的化合物、或者在染色笔记(色染社)中记载的公知的染料。

上述可追加地使用的染料,具体地,例如,

作为c.i.溶剂染料,可列举出c.i.溶剂蓝5、35、36、37、44、45、59、67、和70;以及c.i.溶剂紫8、9、13、14、36、37、47、和49等。

其中,优选包含选自c.i.溶剂蓝35、36、44、45、和70;以及c.i.溶剂紫13中的1种以上。

另外,作为c.i.酸性染料,可列举出

c.i.酸性蓝1、7、9、15、18、23、25、27、29、40、42、45、51、62、70、74、80、83、86、87、90、92、96、103、112、113、120、129、138、147、150、158、171、182、192、210、242、243、256、259、267、278、280、285、290、296、315、324:1、335、和340;以及

c.i.酸性紫6b、7、9、17、19、和66等。

其中,优选包含选自c.i.酸性蓝80和90;以及c.i.酸性紫66中的1种以上。

进而,作为c.i.直接染料,可列举出

c.i.直接蓝38、44、57、70、77、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、166、167、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、196、198、199、200、207、209、210、212、213、214、222、228、229、237、238、242、243、244、245、247、248、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275、和293;以及

c.i.直接紫47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103、和104等。

另外,作为c.i.媒染染料,可列举出

c.i.媒染蓝1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83、和84;

c.i.媒染紫1、2、4、5、7、14、22、24、30、31、32、37、40、41、44、45、47、48、53、和58等。

上述青色染料能够各自单独地使用或者将2种以上组合使用。

另外,相对于青色着色剂的总重量,含有上述青色染料0.5~80重量%,优选0.5~60重量%,更优选1~50重量%。就上述青色着色剂中的青色染料的含量而言,如果含有上述0.5~80重量%,则在图案形成后,能够防止由于有机溶剂而使染料溶出的可靠性降低的问题,感度提高。

(a2)青色颜料

上述青色颜料能够使用该领域中一般使用的有机颜料或无机颜料。另外,对于上述青色颜料,根据需要可实施树脂处理、利用了导入了酸性基团或碱性基团的颜料衍生物等的表面处理、采用高分子化合物等的颜料表面的接枝处理、采用硫酸微粒化法等的微粒化处理、用于将杂质除去的采用有机溶剂、水等的清洗处理或采用离子交换法等的离子性杂质的除去处理等。

上述有机颜料能够使用印刷油墨、喷墨油墨等中使用的各种的颜料,具体地,可列举出水溶性偶氮颜料、不溶性偶氮颜料、酞菁颜料、喹吖啶酮颜料、异吲哚啉酮颜料、异吲哚啉颜料、苝颜料、苝酮颜料、二噁嗪颜料、蒽醌颜料、联二蒽醌颜料、蒽嘧啶颜料、蒽酮颜料、阴丹酮颜料、黄蒽酮颜料、皮蒽酮颜料、二酮基吡咯并吡咯颜料等。

另外,作为上述无机颜料,能够使用金属氧化物、金属络盐等金属化合物,具体地,可列举铁、钴、铝、镉、铅、铜、钛、镁、铬、锌、锑、炭黑、有机黑色颜料、钛黑和将红色、绿色和青色混合而呈黑色的颜料等金属的氧化物或复合金属氧化物等。

特别地,作为上述有机颜料和无机颜料,具体地,可列举出色指数(thesocietyofdyersandcolourists出版)中分类为颜料的化合物,更具体地,可列举以下的色指数(c.i.)序号的颜料,但未必限定于这些。

青色颜料,具体地,例如可列举出

c.i.颜料紫1、14、19、23、29、32、33、36、37、和38;以及

c.i.颜料蓝15:3、15:4、15:6、21、28、60、64、和76等。

其中,优选包含选自c.i.颜料紫23、c.i.颜料蓝15:3、颜料蓝15:6中的1种以上。

与上述化学式1的染料一起追加地使用上述颜料的情况下,相对于青色着色剂的总重量,含有上述颜料20~90重量%,优选含有30~70重量%。如果含有20~90重量%的上述颜料,则粘度低,保存稳定性优异,分散效率提高,能够使对比度上升。

上述颜料优选使用颜料的粒径均一地分散的颜料分散液。作为用于使颜料的粒径均一地分散的方法的例子,可列举出含有颜料分散剂(a3)而进行分散处理的方法等,采用上述方法,能够得到颜料在溶液中均一地分散的状态的颜料分散液。

(a3)颜料分散剂

上述颜料分散剂为了维持颜料的脱凝聚和稳定性而添加,作为颜料分散剂的具体例,可列举出阳离子系、阴离子系、非离子系、两性系、聚酯系、多胺系等的表面活性剂等,这些可以各自单独地使用或者将2种以上组合使用。

作为上述阳离子系表面活性剂的具体例,可列举出硬脂胺盐酸盐和月桂基三甲基氯化铵等胺盐或季铵盐等。

作为上述阴离子系表面活性剂的具体例,可列举出月桂醇硫酸酯钠和油醇硫酸酯钠等高级醇硫酸酯盐类、十二烷基硫酸钠和十二烷基硫酸铵等烷基硫酸盐类、十二烷基苯磺酸钠和十二烷基萘磺酸钠等烷基芳基磺酸盐类等。

作为上述非离子系表面活性剂的具体例,可列举出聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、环氧乙烷/环氧丙烷嵌段共聚物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、和聚氧乙烯烷基胺等。

此外,可列举出聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚乙二醇二酯类、山梨糖醇酐脂肪酸酯类、脂肪酸改性聚酯类、叔胺改性聚氨酯类、和聚乙烯亚胺类等。

另外,上述颜料分散剂优选含有包含甲基丙烯酸丁酯(bma)或甲基丙烯酸n,n-二甲基氨基乙酯(dmaema)的丙烯酸酯系分散剂(以下称为丙烯酸酯系分散剂)。作为上述丙烯酸酯系分散剂的市售品,可列举出disperbyk-2000、disperbyk-2001、disperbyk-2070、或disperbyk-2150等,上述丙烯酸酯系分散剂可以各自单独使用或者将2种以上混合使用。

上述颜料分散剂除了丙烯酸酯系分散剂以外,也可使用其他树脂型的颜料分散剂。作为上述其他树脂型的颜料分散剂,可列举出公知的树脂型的颜料分散剂,特别是聚氨酯、聚丙烯酸酯为代表的聚羧酸酯、不饱和聚酰胺、聚羧酸、聚羧酸的(部分的)胺盐、聚羧酸的铵盐、聚羧酸的烷基胺盐、聚硅氧烷、长链聚氨基酰胺磷酸盐、含羟基的聚羧酸的酯以及它们的改性生成物、或者通过具有游离(free)的羧基的聚酯与聚(低级烯化亚胺)的反应形成的酰胺或它们的盐这样的油质的分散剂;(甲基)丙烯酸-苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸-(甲基)丙烯酸酯共聚物、苯乙烯-马来酸共聚物、聚乙烯醇或聚乙烯基吡咯烷酮这样的水溶性树脂或水溶性聚合物化合物;聚酯;改性聚丙烯酸酯;环氧乙烷/环氧丙烷的加成生成物;和磷酸酯等。

作为上述其他树脂型的颜料分散剂的市售品,作为阳离子系树脂分散剂,例如可列举出byk(ビック)化学公司的商品名:disperbyk-160、disperbyk-161、disperbyk-162、disperbyk-163、disperbyk-164、disperbyk-166、disperbyk-171、disperbyk-182、disperbyk-184;basf公司的商品名:efka-44、efka-46、efka-47、efka-48、efka-4010、efka-4050、efka-4055、efka-4020、efka-4015、efka-4060、efka-4300、efka-4330、efka-4400、efka-4406、efka-4510、efka-4800;lubirzol公司的商品名:solspers-24000、solspers-32550、nbz-4204/10;川研精细化学株式会社的商品名:ヒノアクト(hinoact)t-6000、ヒノアクトt-7000、ヒノアクトt-8000;味之素株式会社的商品名:アジスパー(ajispur)pb-821、アジスパーpb-822、アジスパーpb-823;共荣社化学株式会社的商品名:フローレン(florene)dopa-17hf、フローレンdopa-15bhf、フローレンdopa-33、フローレンdopa-44等。

除了上述丙烯酸酯系分散剂以外,其他树脂型的颜料分散剂可以各自单独地使用或者将2种以上混合使用,可以与丙烯酸酯系分散剂并用而使用。

相对于颜料中的固体成分100重量份,含有上述颜料分散剂5~60重量份,优选含有15~50重量份。上述颜料分散剂的含量如果超过60重量份,则粘度升高,不到5重量份的情况下,有可能颜料的微粒化困难,或者引起分散后凝胶化等问题。

另外,相对于青色感光性树脂组合物中的固体成分总重量,含有上述青色着色剂5~60重量%,优选含有10~45重量%。含有上述5~60重量%的上述青色着色剂的情况下,形成了薄膜时,像素的色浓度充分,显影时非像素部的脱落性没有降低,难以产生残渣。

本发明中,所谓青色感光性树脂组合物中的固体成分重量,意味着青色感光性树脂组合物的除去了溶剂的剩余成分的总重量。

(b)碱可溶性树脂

作为本发明的青色感光性树脂组合物的一成分的碱可溶性树脂以含有羧基的烯属不饱和单体(b1)作为必要成分共聚而制造。

上述含有羧基的烯属不饱和单体(b1),作为具体例,可列举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等单羧酸类;富马酸、中康酸、衣康酸等二羧酸类;二羧酸类的酸酐;ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等在两末端包含羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯类等,优选丙烯酸、甲基丙烯酸。

另外,为了确保追加的显影性,能够对上述碱可溶性树脂赋予羟基。

作为用于赋予上述羟基的方法,可列举出(1)使含有羧基的烯属不饱和单体与含有羟基的烯属不饱和单体共聚而制造的方法、(2)使含有缩水甘油基的化合物追加地与含有羧基的烯属不饱和单体的共聚物反应而制造的方法、和(3)追加地使具有缩水甘油基的化合物与含有羧基的烯属不饱和单体和含有羟基的烯属不饱和单体的共聚物反应而制造的方法等。

作为上述含有羟基的烯属不饱和单体的具体例,有(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、和n-羟基乙基丙烯酰胺等,其中优选(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯,上述含有羟基的烯属不饱和单体能够将2种以上组合使用。

作为上述含有缩水甘油基的化合物的具体例,有丁基缩水甘油基醚、缩水甘油基丙基醚、缩水甘油基苯基醚、2-乙基己基缩水甘油基醚、丁酸缩水甘油酯、缩水甘油基甲基醚、乙基缩水甘油基醚、缩水甘油基异丙基醚、叔丁基缩水甘油基醚、苄基缩水甘油基醚、4-叔-丁基苯甲酸缩水甘油酯、硬脂酸缩水甘油酯、芳基缩水甘油基醚、和甲基丙烯酸缩水甘油酯等,优选地,可列举出丁基缩水甘油基醚、芳基缩水甘油基醚、和甲基丙烯酸缩水甘油酯,上述含有缩水甘油基的化合物能够将2种以上组合使用。

另外,上述碱可溶性树脂的制造时,可与含有羧基的烯属不饱和单体共聚的不饱和单体,可列举出芳香族乙烯基化合物、n-取代马来酰亚胺系化合物、脂环族(甲基)丙烯酸酯类、(甲基)丙烯酸羟基乙酯类、(甲基)丙烯酸芳基酯类、和不饱和氧杂环丁烷化合物等,但并不限定于这些。

上述芳香族乙烯基化合物,具体地,例如可列举出苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、对-氯苯乙烯、邻-甲氧基苯乙烯、间-甲氧基苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯、邻-乙烯基苄基甲基醚、间-乙烯基苄基甲基醚、对-乙烯基苄基甲基醚、邻-乙烯基苄基缩水甘油基醚、间-乙烯基苄基缩水甘油基醚、和对-乙烯基苄基缩水甘油基醚等。

上述n-取代马来酰亚胺系化合物,具体地,例如可列举出n-环己基马来酰亚胺、n-苄基马来酰亚胺、n-苯基马来酰亚胺、n-邻-羟基苯基马来酰亚胺、n-间-羟基苯基马来酰亚胺、n-对-羟基苯基马来酰亚胺、n-邻-甲基苯基马来酰亚胺、n-间-甲基苯基马来酰亚胺、n-对-甲基苯基马来酰亚胺、n-邻-甲氧基苯基马来酰亚胺、n-间-甲氧基苯基马来酰亚胺、和n-对-甲氧基苯基马来酰亚胺等。

上述脂环族(甲基)丙烯酸酯类,具体地,例如可列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸烷基酯类;(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02.6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-双环戊氧基乙酯、和(甲基)丙烯酸异冰片酯等。

上述(甲基)丙烯酸羟基乙酯类,具体地,例如可列举出(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、和n-羟基乙基丙烯酰胺等。

上述(甲基)丙烯酸芳基酯类,具体地,例如可列举出(甲基)丙烯酸苯酯和(甲基)丙烯酸苄酯等。

上述不饱和氧杂环丁烷化合物,具体地,例如可列举出3-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-三氟甲基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、和2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-4-三氟甲基氧杂环丁烷等。

上述不饱和单体能够各自单独地使用或者将2种以上混合使用。

另外,上述碱可溶性树脂,为了确保与染料的相容性和青色感光性树脂组合物的保存稳定性,优选具有30~150mgkoh/g的酸值。

上述碱可溶性树脂的酸值不到30mgkoh/g的情况下,青色感光性树脂组合物的显影速度慢,超过150mgkoh/g的情况下,与基板的密合性减小,容易发生图案的短路,在与染料的相容性上产生问题,有时青色感光性树脂组合物中的染料析出,保存稳定性降低,粘度上升。

另外,相对于青色感光性树脂组合物的总重量,含有上述碱可溶性树脂10~80重量%,优选含有10~70重量%。

如果上述碱可溶性树脂的含量为10~80重量%,则在显影液中的溶解性充分,图案的形成容易,显影时防止曝光部的像素部分的膜减少,非像素部分的脱落性变得良好。

(c)光聚合性化合物

作为本发明的青色感光性树脂组合物的一成分的光聚合性化合物必须是在后述的光聚合引发剂(d)的作用下可聚合的化合物。

作为光聚合性化合物,能够使用单官能单体、2官能单体、或多官能单体,优选使用2官能单体,但并不限定于此。

作为上述单官能单体的具体例,有壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羟基乙酯、或n-乙烯基吡咯烷酮等,但并不限定于这些。

作为上述2官能单体的具体例,有1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚a的双(丙烯酰氧基乙基)醚、或3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等,但并不限定于这些。

作为上述多官能单体的具体例,有三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、或二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等,但并不限定于这些。

相对于本发明的青色感光性树脂组合物的总重量,含有上述光聚合性化合物5~50重量%,优选含有7~50重量%。上述光聚合性化合物为上述5~50重量%的范围时,能够使像素部的强度和可靠性变得良好。

(d)光聚合引发剂

作为本发明的青色感光性树脂组合物的一成分的光聚合引发剂包含下述化学式2的化合物。

[化学式2]

上述a和b为0或1,

上述a为1时,上述b为1,

上述a为0时,上述b为0或1,

(1)上述a=0、b=0的情况下,

上述r16为氢、卤素原子、硝基、包含被卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰氧基、包含或不含取代基的苯基磺酰氧基、包含被卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环式磺酰基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环式磺酰基,

(2)上述a=0、b=1的情况下,

上述r16为包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基,

(3)上述a=1、b=1的情况下,

上述r16为包含被卤素原子取代或未取代的碳数1~8的烷基的磺酰氧基、或者包含或不含取代基的苯基磺酰氧基,

上述r17和r18各自相同或不同,为氢、碳数1~22的烷基、包含卤素原子的碳数1~10的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数1~15的烷基、包含或不含取代基的苯基、或者碳数7~11的苯基烷基,

上述r17和r18可形成环,

上述r19为下述化学式3或化学式4,

[化学式3]

[化学式4]

上述r20和r22各自相同或不同,为碳数1~17的烷基、包含卤素原子的碳数2~5的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数2~7的烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~11的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~10的苯氧基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基,

上述r21为碳数1~17的烷基、包含卤素原子的碳数1~7的烷基、末端为醚基或硫醚基的碳数2~7的烷基、包含或不含取代基的碳数2~4的氨基烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~11的苯基烷基、末端为醚基或硫醚基并且包含或不含取代基的碳数7~10的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基,

上述r23为碳数1~16的烷基、包含卤素原子的碳数1~6的烷基、包含或不含取代基的苯基、包含或不含取代基的碳数7~10的苯基烷基、末端为醚基或硫醚基并且包含或不含取代基的碳数7~9的苯基烷基、包含或不含取代基的碳数7~20的稠合环基、或者包含或不含取代基的碳数7~20的杂环基。

上述r20和r22优选为甲基。

上述化学式2的化合物防止染料产生的感度和透射率的降低,使作为着色剂包含染料的本发明的青色感光性树脂组合物能够有效地显现光聚合特性。

上述化学式2的化合物,作为市售品,可列举出upi-03和upi-22等。

相对于光聚合引发剂的总重量,含有上述化学式2的化合物10~100重量%,优选含有20~100重量%。

如果含有不到10重量%的上述化学式2的化合物,则不能克服染料产生的感度的降低,在显影工序中容易发生图案的短路。

另外,上述光聚合引发剂除了化学式2的化合物以外,追加地,从聚合特性、引发效率、吸收波长、获得性、价格等的观点出发,优选使用选自苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物、三嗪系化合物、联咪唑系化合物和噻吨酮系化合物中的1种以上的化合物。

上述苯乙酮系化合物,具体地,例如可列举出二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮、和2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮等。

上述二苯甲酮系化合物,具体地,例如可列举出二苯甲酮、0-苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯基硫醚、3,3’,4,4’-四(叔-丁基过氧羰基)二苯甲酮和2,4,6-三甲基二苯甲酮等。

上述三嗪系化合物,具体地,例如可列举出2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪和2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪等。

上述联咪唑化合物,具体地,例如可列举出2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑、2,2-双(2,6-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑和4,4’,5,5’位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物等。这些中,优选使用2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑和2,2-双(2,6-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑。

上述噻吨酮系化合物,具体地,例如可列举出2-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、和1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。

相对于本发明的青色感光性树脂组合物中的固体成分总重量,含有上述光聚合引发剂0.1~40重量%,优选含有1~30重量%。

如果含有0.1~40重量%的上述光聚合引发剂,则使青色感光性树脂组合物高感度化,使曝光时间缩短,生产率提高,能够维持高的分辨率。另外,像素部的强度和上述像素部的表面的平滑性变得良好。

另外,上述光聚合引发剂,为了提高本发明的青色感光性树脂组合物的感度,能够追加地包含光聚合引发助剂(d1)。本发明涉及的青色感光性树脂组合物通过含有光聚合引发助剂(d1),感度进一步提高,能够提高生产率。

上述光聚合引发助剂,能够优选使用例如选自胺化合物和羧酸化合物中的1种以上的化合物。

作为上述胺化合物,优选使用芳香族胺化合物,具体地,例如可以列举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺和三异丙醇胺等脂肪族胺化合物;4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、n,n-二甲基对甲苯胺、4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮(通称:米蚩酮)和4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。

上述羧酸化合物,优选使用芳香族杂醋酸类,具体地,例如可以列举出苯基硫代醋酸、甲基苯基硫代醋酸、乙基苯基硫代醋酸、甲基乙基苯基硫代醋酸、二甲基苯基硫代醋酸、甲氧基苯基硫代醋酸、二甲氧基苯基硫代醋酸、氯苯基硫代醋酸、二氯苯基硫代醋酸、n-苯基甘氨酸、苯氧基醋酸、萘基硫代醋酸、n-萘基甘氨酸和萘氧基醋酸等。

相对于青色感光性树脂组合物中的固体成分总重量,含有上述光聚合引发助剂0.1~40重量%,优选含有1~30重量%。

如果含有0.1~40重量%的上述光聚合引发助剂,则青色感光性树脂组合物的感度提高,滤色器的生产率能够提高。

(e)溶剂

上述溶剂只要对于使青色感光性树脂组合物中所含的其他成分溶解有效,则可以无特别限制地使用通常的青色感光性树脂组合物中使用的溶剂,特别优选醚类、乙酸酯类、芳香族烃类、酮类、醇类、酯类、或酰胺类等。

作为上述醚类,例如可列举出乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单丙基醚、和乙二醇单丁基醚等乙二醇单烷基醚类;二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇二丙基醚、和二甘醇二丁基醚等二甘醇二烷基醚类等。

作为上述乙酸酯类,例如可列举出甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基-1-丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯、乙二醇单乙酸酯、乙二醇二乙酸酯、甲基3-甲氧基丙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、3-甲氧基-1-丁基乙酸酯、1,2-丙二醇二乙酸酯、乙二醇单丁基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、1,3-丁二醇二乙酸酯、二甘醇单丁基醚乙酸酯、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单乙酸酯、二甘醇二乙酸酯、二甘醇单丁基醚乙酸酯、丙二醇单乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、碳酸亚乙酯、和碳酸亚丙酯等。

作为上述芳香族烃类,例如可列举出苯、甲苯、二甲苯、和均三甲苯等。

作为上述酮类,例如可列举出甲乙酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁基酮、和环己酮等。

作为上述醇类,例如可列举出乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甘油、和4-羟基-4-甲基-2-戊酮等。

作为上述酯类,例如可列举出3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、和γ-丁内酯等。

作为上述酰胺类,例如可列举出二甲基甲酰胺(dmf)和n-甲基-2-吡咯烷酮(nmp)。

上述溶剂能够各自单独地使用或者将2种以上混合使用。

上述溶剂在涂布性和干燥性的方面,优选使用沸点为100℃~200℃的有机溶剂,例如可列举出丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、环己酮、乳酸乙酯、乳酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、和3-甲氧基丙酸甲酯等。

相对于青色感光性树脂组合物的总重量,含有上述溶剂60~90重量%,优选含有70~85重量%。如果以上述60~90重量%的范围含有上述溶剂,则采用辊涂机、旋涂机、狭缝和旋转涂布机、狭缝涂布机(有时也称为模压涂布机)、和喷墨等涂布装置涂布时,涂布性变得良好。

(f)添加剂

上述添加剂能够根据需要选择性地添加,例如能够包含选自抗氧化剂、其他高分子化合物、固化剂、表面活性剂、密合促进剂、紫外线吸收剂和防凝聚剂中的1种以上。

上述抗氧化剂能够包含选自酚系抗氧化剂和磷系抗氧化剂中的1种以上,酚系抗氧化剂的情况下,在150℃的烘箱中200小时以上也不会劣化。

上述酚系抗氧化剂优选受阻酚系抗氧化剂,具体地,例如可列举出3-(3,5-二-叔-丁基-4-羟基苯基)丙酸十八烷基酯(octadecyl3-(3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl)propionate)(264小时)、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3,5-二-叔-丁基-4-羟基苄基)苯(1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris(3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl)benzene)(240小时)、和季戊四醇四(3,5-二-叔-丁基-4-羟基氢化肉桂酸酯)(pentaerythritoltetrakis(3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyhydrocinnamate))(960小时)等。

上述磷系抗氧化剂,具体地,例如可列举出磷酸三苯酯(triphenylphosphate)、异癸基二苯基磷酸酯(isodecyldiphenylphosphate)、磷酸三(2,4-二-叔丁基苯基)酯(tris(2,4-di-tert-butylphenyl)phosphate)、3,9-双(十八烷氧基)-2,4,8,10-四氧杂-3,9-二磷杂螺[5.5]十一烷(3,9-bis(octadecyloxy)-2,4,8,10-tetraoxa-3,9-diphosphaspiro[5.5]undecane)、和2,2’-亚甲基双(4,6-二-叔-丁基-苯基)-2-乙基己基磷酸酯(2,2’-methylenebis(4,6-di-tert-butyl-phenyl)-2-ethylhexylphosphate)等。

相对于光聚合引发剂100重量份,含有上述抗氧化剂1~100重量份,优选含有2~50重量份。如果含有1~100重量份的上述抗氧化剂,则不存在青色感光性树脂组合物的感度的降低,能够期待透射率的提高。如果含有不到1重量份的上述抗氧化剂,则难以期待透射率的提高,如果超过100重量份,则不能克服染料产生的感度的降低,无法高感度化,在显影工序中容易发生图案的短路。

作为上述其他高分子化合物的具体例,可列举出环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂、聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚丙烯酸氟烷基酯、聚酯和聚氨酯等热塑性树脂等。

上述固化剂为了提高深部固化和机械强度而使用,作为固化剂的具体例,可列举出环氧化合物、多官能异氰酸酯化合物、蜜胺化合物和氧杂环丁烷化合物等。

上述固化剂中,作为环氧化合物的具体例,可列举出双酚a系环氧树脂、氢化双酚a系环氧树脂、双酚f系环氧树脂、氢化双酚f系环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、其他芳香族系环氧树脂、脂环族系环氧树脂、缩水甘油酯系树脂、缩水甘油胺系树脂、或上述环氧树脂的溴化衍生物、环氧树脂及其溴化衍生物以外的脂肪族、脂环族或芳香族环氧化合物、丁二烯(共)聚合物环氧化物、异戊二烯(共)聚合物环氧化物、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯(共)聚合物、和异氰脲酸三缩水甘油酯等。

上述固化剂中,作为氧杂环丁烷化合物的具体例,可列举出碳酸酯双氧杂环丁烷、二甲苯双氧杂环丁烷、己二酸酯双氧杂环丁烷、对苯二甲酸酯双氧杂环丁烷、和环己烷二羧酸双氧杂环丁烷等。

就上述固化剂而言,可以与固化剂一起将可以使环氧化合物的环氧基、氧杂环丁烷化合物的氧杂环丁烷骨架进行开环聚合的固化辅助化合物并用。

上述固化辅助化合物例如有多元羧酸类、多元羧酸酐类和产酸剂等。上述多元羧酸酐类可以使用作为环氧树脂固化剂市售的产品。作为上述市售品,可列举出アデカハードナーeh-700(アデカ工业(株)制造)、リカシッドhh(新日本理化(株)制造)和mh-700(新日本理化(株)制造)等。上述例示的固化剂可以单独使用或者将2种以上混合使用。

为了进一步提高青色感光性树脂组合物的被膜形成,能够使用上述表面活性剂,优选使用有机硅系、氟系、酯系、阳离子系、阴离子系、非离子系、两性表面活性剂等。

上述有机硅系表面活性剂,例如,作为市售品,有道康宁东丽有机硅公司的dc3pa、dc7pa、sh11pa、sh21pa和sh8400等,ge东芝有机硅公司的tsf-4440、tsf-4300、tsf-4445、tsf-4446、tsf-4460和tsf-4452等。

上述氟系表面活性剂,例如,作为市售品,有大日本油墨化学工业公司的メガピースf-470、f-471、f-475、f-482和f-489等。

另外,作为其他可使用的市售品,可列举出kp(信越化学工业(株))、ポリフロー(polyflow)(共荣社化学(株))、エフトップ(eftop)(トーケムプロダクツ社)、メガファック(megafac)(大日本油墨化学工业(株))、フロラード(flourad)(住友3m(株))、アサヒガード(asahiguard)、サーフロン(surflon)(以上为旭硝子(株))、ソルスパース(solsperse)(lubrisol)、efka(efka化学公司)、pb821(味之素(株))、disperbyk系列(byk-chemi)等。

上述例示的表面活性剂能够各自单独使用或者将2种以上组合使用。

对上述密合促进剂的种类并无特别限定,作为可使用的密合促进剂的具体例,可列举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、n-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、n-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯基丙基三甲氧基硅烷和3-异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷等。

上述例示的密合促进剂能够各自单独地使用或者将2种以上组合使用。相对于青色感光性树脂组合物中的固体成分总重量,通常含有上述密合促进剂0.01~10重量%,优选含有0.05~2重量%。

对上述紫外线吸收剂的种类并无特别限定,作为可使用的具体例,可列举出2-(3-叔-丁基-2-羟基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。

对上述防凝聚剂的种类并无特别限定,作为可使用的具体例,可列举出聚丙烯酸钠等。

本发明的青色感光性树脂组合物的制造方法如下述所述。

添加包含上述化学式1的青色染料(a1)、碱可溶性树脂(b)、光聚合性化合物(c)、光聚合引发剂(d)、和溶剂(e),根据需要进一步添加添加剂(f)以致成为规定的浓度,能够制造本发明涉及的青色感光性树脂组合物。

另外,作为青色着色剂包含颜料的情况下,将上述青色颜料(a2)与溶剂(e)混合,使用珠磨机等使其分散直至颜料的平均粒径成为0.2μm以下左右。此时,根据需要,能够使颜料分散剂(a3)、碱可溶性树脂(b)的一部分或全部与溶剂(e)一起混合,使其溶解或分散。

在上述混合的着色物中进一步添加碱可溶性树脂的剩余部分(b)、光聚合性化合物(c)、光聚合引发剂(d)和根据需要使用的添加剂(f)和溶剂(e)以致成为规定的浓度,能够制造本发明涉及的青色感光性树脂组合物。

另外,本发明提供用青色感光性树脂组合物制造的青色滤色器和具有其的显示装置。

首先,通过将青色感光性树脂组合物涂布于基材(通常为玻璃)或在先形成的青色感光性树脂组合物的固体成分构成的层上后,进行加热干燥,从而将溶剂等挥发成分除去,得到平滑的涂膜。

作为涂布方法,例如能够采用旋涂、流延涂布法、辊涂布法、狭缝和旋转涂布或狭缝涂布法等实施。涂布后,加热干燥(预烘焙),或者减压干燥后进行加热,使溶剂等挥发成分挥发。其中,加热温度通常为70~200℃,优选为80~130℃。加热干燥后的涂膜厚度通常为1~8μm左右。对这样得到的涂膜,经由用于形成目标图案的掩模照射紫外线。此时,对曝光部全体均匀地照射平行光线,另外,为了实施掩模与基板的正确的对位,优选使用掩模对准器、步进器等装置。如果照射紫外线,则进行照射了紫外线的部位的固化。

作为上述紫外线,能够使用g线(波长:436nm)、h线、i线(波长:365nm)等。紫外线的照射量可以根据需要适当地选择,在本发明中对其没有特别限定。通过使固化完成的涂膜与显影液接触,使非曝光部溶解,进行显影,从而能够得到具有目标的图案形状的间隔物。

上述显影方法,并不特别限定于液体添加法、浸渍法、喷雾法等。另外,显影时可以使基板倾斜任意的角度。上述显影液通常为含有碱性化合物和表面活性剂的水溶液。

上述碱性化合物并不特别限定于无机或有机碱性化合物。作为上述无机碱性化合物,例如可列举出氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、和氨等。

另外,作为有机碱性化合物,例如可列举出四甲基氢氧化铵、2-羟基乙基三甲基氢氧化铵、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一异丙胺、二异丙胺、和乙醇胺等。

上述无机或有机碱性化合物能够各自单独使用或者将2种以上混合使用。相对于显影液的总重量,上述显影液中的碱性化合物的浓度为0.01~10重量%,优选为0.03~5重量%。

上述显影液中的表面活性剂能够使用选自上述的非离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂和阳离子系表面活性剂中的1种以上。相对于上述显影液的总重量,显影液中的表面活性剂的浓度为0.01~10重量%,优选含有0.05~8重量%,更优选含有0.1~5重量%。显影后,进行水洗,根据需要,可在150~230℃下实施10~60分钟的后烘焙。

使用本发明的青色感光性树脂组合物,经过上述这样的各工序,能够在基板上形成特定的图案。

以下为了对本发明具体地进行说明,列举实施例详细地说明。但是,本发明涉及的实施例可变形为各种不同的形式,本发明的范围不应解释为限定于以下详述的实施例。本发明的实施例是为了对本领域中的普通技术人员更为完全地说明本发明而提供的。

合成例1.碱可溶性树脂的合成

向具有回流冷凝器、滴液漏斗(droppingfunnel)和搅拌器的烧瓶内流入适量的氮,置换为氮气氛,装入丙二醇单甲基醚乙酸酯100重量份,边搅拌边加热到85℃。

接下来,在上述烧瓶内,使用滴液泵(pump)历时约5小时滴入使甲基丙烯酸19重量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸烷-8-基酯和丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸烷-9-基酯的混合物(50:50的摩尔比)(商品名“e-dcpa”、大赛璐株式会社制造)171重量份溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯40重量份的溶液。

使用另外的滴液泵历时约5小时向烧瓶内滴入了使聚合引发剂2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)26重量份溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯120重量份的溶液。聚合引发剂的滴入结束后,维持在相同的温度约3小时,然后,冷却到室温,得到了包含下述化学式5、6和7的单体的固体成分43.5%的碱可溶性树脂溶液。

[化学式5]

[化学式6]

[化学式7]

就上述碱可溶性树脂的聚苯乙烯换算重均分子量(mw)和数均分子量(mn)的测定而言,采用gpc测定法在下述的条件下测定。

另外,将聚苯乙烯换算重均分子量和数均分子量之比(mw/mn)作为分子量分布。

装置:hlc-8120gpc(东曹(株)制造)

柱:tsk-gelg2000hxl

柱温度:40℃

溶剂:thf

流速:1.0ml/分

被检液的固体成分浓度:0.001~0.01重量%

注入量:50μl

检测器:ri

校正用标准物质:tskstandardpolystyrenef-40、f-4、f-288、a-2500、a-500(东曹(株)制造)

得到的碱可溶性树脂的重均分子量为8000,分子量分布为1.98,固体成分换算的酸值为53mgkoh/g。

<青色染料的合成>

合成例2.

2-1.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入硫氰酸钾36.3重量份和丙酮160重量份后,在常温下搅拌了30分钟。然后,用10分钟滴入苯甲酰氯(东京化成株式会社制造)50重量份。

滴入后,在常温下搅拌2小时,将反应混合物冰冷后,滴入n-乙基-邻-甲苯胺(东京化成株式会社制造)45.7重量份。滴入结束后,在常温下搅拌了30分钟。

接下来,将反应混合物冰冷后,滴入30%氢氧化钠水溶液34.2重量份,在常温下搅拌了30分钟。然后,在常温下滴入氯醋酸35.3重量份。滴入结束后,在加热回流下搅拌了7小时。

接下来,将反应混合物放冷到常温后,向反应溶液中添加自来水120重量份和甲苯200重量份,搅拌了30分钟。然后,静置30分钟,使反应混合物分离为有机层和水层。

将上述水层通过分液操作废弃后,将有机层以1n盐酸200重量份、自来水200重量份、和饱和食盐水200重量份的顺序进行清洗。向有机层中添加适量的硫酸钠(sodiumsulfate),搅拌了30分钟后,过滤,得到了干燥的有机层。将得到的有机层用蒸发器(evaporator)使溶剂蒸发而除去,得到了淡黄色液体。将得到的淡黄色液体用柱色谱进行精制,将精制过的淡黄色液体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式8的化合物52重量份(收率50%)。

[化学式8]

2-2.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入上述合成例2-1中制造的化学式8的化合物9.3重量份、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮(东京化成株式会社制造)10重量份、和甲苯20重量份后,添加氧氯化磷14.8重量份,在95~100℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,用异丙醇170重量份稀释。然后,将稀释过的反应溶液注入饱和食盐水300重量份后,添加甲苯100重量份,搅拌了30分钟。停止搅拌,静置30分钟,将反应溶液分离为有机层和水层。

将上述水层通过分液操作废弃后,将有机层用饱和食盐水300重量份进行清洗。向上述有机层中添加适量的硫酸钠(sodiumsulfate),搅拌了30分钟后,过滤,得到了干燥的有机层。

将得到的有机层用蒸发器(evaporator)使溶剂蒸发而除去,得到了青紫色固体,将青紫色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式9的化合物19.8重量份(收率100%)。

[化学式9]

化学式9的化合物的质量分析

离子化模式:esi+:m/z=601.3[m-cl]+

准确质量:636.3

2-3.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入上述合成例2-2中制造的化学式9的化合物10重量份、双(三氟甲烷磺酰基)亚胺锂(东京化成株式会社制造)4.5重量份、和n,n-二甲基甲酰胺100重量份后,在50~60℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,边搅拌1小时边滴入自来水2000重量份中,得到了暗青色悬浊液。将上述得到的悬浊液过滤,得到了青绿色固体。将上述青绿色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式10的化合物11.3重量份(收率82%)。

[化学式10]

将上述化学式10的化合物0.35g溶解于氯仿,使体积成为250cm3,将其中的2cm3用离子交换水稀释后,使体积成为100cm3(浓度:0.028g/l),使用分光光度计(石英池、光路长;1cm)测定了吸收光谱。

上述化学式10的化合物在λmax=628nm下显示了吸光度2.9。

合成例3.

3-1.

使氢氧化钠(和光纯药工业株式会社制造)2重量份溶解于甲醇50重量份中。然后,添加2,6-二羟基苯甲酸(东京化成工业株式会社制造)15.41重量份和硼酸(和光纯药工业株式会社制造)3.09重量份,在65℃下搅拌了8.5小时。

将上述混合液冷却到常温后,通过吸滤得到析出物,用离子交换水237重量份清洗,得到了下述化学式11的化合物10.9重量份。

[化学式11]

3-2.

本反应在氮气氛下实施。

在具备冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入上述合成例2-2中合成的化学式9的化合物10重量份、上述合成例3-1中合成的化学式11的化合物5.3重量份、和n,n-二甲基甲酰胺100重量份后,在50~60℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,边搅拌1小时边滴入自来水2000重量份中,得到了暗青色悬浊液。将上述悬浊液过滤,得到了青绿色固体,将上述青绿色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式12的化合物12重量份(收率83%)。

[化学式12]

将上述化学式12的化合物0.35g溶解于氯仿,使体积成为250cm3,将其中的2cm3用离子交换水稀释后,使体积成为100cm3(浓度:0.028g/l),使用分光光度计(石英池、光路长;1cm)测定了吸收光谱。

上述化学式12的化合物在λmax=628nm下显示了吸光度2.6。

合成例4.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入了上述合成例2-2中合成的化学式9的化合物10重量份、钨硅酸水合物(sigma-aldrich公司制造)14.1重量份、和n,n-二甲基甲酰胺100重量份后,在50~60℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,边搅拌1小时边滴入自来水2000重量份中,得到了暗青色悬浊液。将上述悬浊液过滤,得到了青绿色固体,将上述青绿色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式13的化合物17.3重量份(收率83%)。

[化学式13]

将上述化学式13的化合物0.35g溶解于氯仿,使体积成为250cm3,将其中的2cm3用离子交换水稀释后,使体积成为100cm3(浓度:0.028g/l),使用分光光度计(石英池、光路长;1cm)测定了吸收光谱。

上述化学式13的化合物在λmax=628nm下显示了吸光度1.5。

合成例5.

5-1.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入硫氰酸钾32.2重量份和丙酮160重量份后,在常温下搅拌了30分钟。然后,将2-氟苯甲酰氯(东京化成株式会社制造)50重量份滴入10分钟。

滴入后,在常温下搅拌2小时,将反应混合物冰冷后,滴入n-乙基-邻-甲苯胺(东京化成株式会社制造)40.5重量份。滴入结束后,在常温下搅拌了30分钟。

接下来,将反应混合物冰冷后,滴入30%氢氧化钠水溶液34.2重量份,在常温下搅拌30分钟。然后,在常温下滴入氯醋酸31.3重量份。滴入结束后,在加热回流下搅拌了7小时。

接下来,将反应混合物放冷到常温后,在反应溶液中添加自来水120重量份和甲苯200重量份,搅拌了30分钟。然后,静置30分钟,将反应混合物分离为有机层和水层。

将上述水层通过分液操作废弃后,对有机层以1n盐酸200重量份、自来水200重量份、和饱和食盐水200重量份的顺序进行清洗。在有机层中添加适量的硫酸钠(sodiumsulfate),搅拌了30分钟后,过滤,得到了干燥的有机层。对于得到的有机层,使用蒸发器(evaporator)使溶剂蒸发而除去,得到了淡黄色液体。将得到的淡黄色液体用柱色谱精制,将精制的淡黄色液体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式14的化合物49.9重量份(收率51%)。

[化学式14]

5-2.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入了上述合成例5-1中制造的化学式14的化合物9.9重量份、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮(东京化成株式会社制造)10重量份、和甲苯20重量份后,添加氧氯化磷14.8重量份,在95~100℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,用异丙醇170重量份稀释。然后,将稀释的反应溶液注入饱和食盐水300重量份后,添加甲苯100重量份,搅拌了30分钟。停止搅拌,静置30分钟,将反应溶液分离为有机层和水层。

将上述水层通过分液操作废弃后,将有机层用饱和食盐水300重量份清洗。在上述有机层中添加适量的硫酸钠(sodiumsulfate),搅拌了30分钟后,过滤,得到了干燥的有机层。

对于得到的有机层,用蒸发器(evaporator)使溶剂蒸发而除去,得到青紫色固体,将青紫色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式15的化合物19.8重量份(收率85%)。

[化学式15]

化学式15的化合物的质量分析

离子化模式:esi+:m/z=619.3[m-cl]+

准确质量:654.3

5-3.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入上述合成例5-2中制造的化学式15的化合物10重量份、双(三氟甲烷磺酰基)亚胺锂(东京化成株式会社制造)5.7重量份、和n,n-二甲基甲酰胺30重量份后,在40℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,边搅拌1小时边滴入自来水500重量份中,得到了暗青色悬浊液。将上述得到的悬浊液过滤,得到了青绿色固体。将上述青绿色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式16的化合物11.3重量份(收率86%)。

[化学式16]

将上述化学式16的化合物0.35g溶解于氯仿,使体积成为250cm3,将其中的2cm3用离子交换水稀释后,使体积成为100cm3(浓度:0.028g/l),使用分光光度计(石英池、光路长;1cm)测定了吸收光谱。

上述化学式16的化合物在λmax=630nm下显示了吸光度3.1。

合成例6.

6-1.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入了硫氰酸钾33重量份和丙酮160重量份后,在常温下搅拌了30分钟。然后,滴入10分钟的2-甲基苯甲酰氯(东京化成株式会社制造)50重量份。

滴入后,在常温下搅拌2小时,将反应混合物冰冷后,滴入n-乙基-邻-甲苯胺(东京化成株式会社制造)41.6重量份。滴入结束后,在常温下搅拌了30分钟。

接下来,将反应混合物冰冷后,滴入30%氢氧化钠水溶液34.2重量份,在常温下搅拌了30分钟。然后,在常温下滴入氯醋酸32.1重量份。滴入结束后,加热回流下搅拌了7小时。

接下来,将反应混合物放冷到常温后,在反应溶液中添加自来水120重量份和甲苯200重量份,搅拌30分钟。然后,静置30分钟,将反应混合物分离为有机层和水层。

将上述水层通过分液操作废弃后,对有机层以1n盐酸200重量份、自来水200重量份、和饱和食盐水200重量份的顺序进行清洗。在有机层中添加适量的硫酸钠(sodiumsulfate),搅拌了30分钟后,过滤,得到了干燥的有机层。对于得到的有机层,使用蒸发器(evaporator)使溶剂蒸发而除去,得到了淡黄色液体。将得到的淡黄色液体用柱色谱精制,将精制的淡黄色液体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式17的化合物40.5重量份(收率41%)。

[化学式17]

6-2.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入了上述合成例6-1中制造的化学式17的化合物9.7重量份、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮(东京化成株式会社制造)10重量份、和甲苯20重量份后,添加氧氯化磷14.8重量份,在95~100℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,用异丙醇170重量份稀释。然后,将稀释的反应溶液注入饱和食盐水300重量份后,添加甲苯100重量份,搅拌了30分钟。停止搅拌,静置30分钟,将反应溶液分离为有机层和水层。

将上述水层通过分液操作废弃后,将有机层用饱和食盐水300重量份清洗。在上述有机层中添加适量的硫酸钠(sodiumsulfate),搅拌了30分钟后,过滤,得到了干燥的有机层。

对于得到的有机层,用蒸发器(evaporator)使溶剂蒸发而除去,得到青紫色固体,将青紫色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式18的化合物15.1重量份(收率75%)。

[化学式18]

化学式18的化合物的质量分析

离子化模式:esi+:m/z=615.4[m-cl]+

准确质量:650.3

6-3.

本反应在氮气氛下实施。

在具有冷却管和搅拌装置的烧瓶中投入了上述合成例6-2中制造的化学式18的化合物10重量份、双(三氟甲烷磺酰基)亚胺锂(东京化成株式会社制造)5.7重量份、和n,n-二甲基甲酰胺30重量份后,在40℃下搅拌了3小时。

接下来,将反应混合物冷却到常温后,边搅拌1小时边滴入自来水500重量份中,得到了暗青色悬浊液。将上述得到的悬浊液过滤,得到了青绿色固体。将上述青绿色固体在减压下、60℃下干燥,得到了下述化学式19的化合物13.2重量份(收率96%)。

[化学式19]

将上述化学式19的化合物0.35g溶解于氯仿,使体积成为250cm3,将其中的2cm3用离子交换水稀释后,使体积成为100cm3(浓度:0.028g/l),使用分光光度计(石英池、光路长;1cm)测定了吸收光谱。

上述化学式13的化合物在λmax=627nm下显示了吸光度2.7。

制造例1.颜料分散液的制造

将作为颜料的c.i.颜料蓝15:612重量份、作为颜料分散剂的disperbyk-2001(byk公司制造)4重量份、作为溶剂的丙二醇甲基醚乙酸酯44重量份、和丙二醇甲基醚40重量份用珠磨机进行12小时混合和分散,制造了颜料分散液m1。

<青色感光性树脂组合物的制造>

实施例1~10、比较例1~8.

按照下述表1的组成制造了实施例1~10和比较例1~8的青色感光性树脂组合物。

【表1】

(单位:重量%)

青色着色剂(a)

a-1:合成例2中制造的化学式10的化合物

a-2:合成例3中制造的化学式12的化合物

a-3:合成例4中制造的化学式13的化合物

a-4:合成例5中制造的化学式16的化合物

a-5:合成例6中制造的化学式19的化合物

m1:制造例1中制造的颜料分散液

碱可溶性树脂(b):合成例1中制造的碱可溶性树脂

光聚合性化合物(c):kayaraddpha(日本化药制造)

光聚合引发剂(d)

d-1:upi-22(大东株式会社制造)

d-2:oxe-01(basf公司制造)

溶剂(e)

e-1:丙二醇单甲基醚乙酸酯

e-2:丙二醇单甲基醚

添加剂(f)

抗氧化剂:irganox1035(basf制造)

实验例1.滤色器的制造和特性评价

将实施例1~10和比较例1~8的青色感光性树脂组合物分别采用旋涂法涂布到2英寸的玻璃基板(eaglexg)上后,放置于加热板上,在100℃的温度下维持3分钟,形成了薄膜。然后,在上述薄膜上放置具有1~100μm的线/间隙图案的试验光掩模,使与试验光掩模的间隔成为300μm,照射了紫外线。此时,使用包含g、h和i线的全部的1kw的高压汞灯,以60mj/cm2的照度照射紫外线,没有使用特别的光学滤波器。

将上述紫外线照射过的薄膜在ph10.5的koh水溶液显影溶液中浸渍2分钟而显影。然后,使用蒸馏水将涂布有薄膜的玻璃板清洗后,吹送氮气进行干燥,用230℃的加热烘箱加热25分钟,制造了各个滤色器。上述制造的滤色器的膜厚为2.4μm。

1.透射率的测定

采用上述的方法制造滤色器,没有使用试验光掩模制造滤色器,使用色度计(奥林巴斯公司制造、osp-200)测定透射率,将结果示于下述表2中。

2.密合性的测定

用光学显微镜观察上述制造的滤色器的图案,评价图案上小缺损现象的程度,示于下述表2中,评价标准如下述所述。

<评价标准>

○:无图案上的小缺损

△:图案上的小缺损1~3个

×:图案上的小缺损4个以上

3.残膜率的测定

使用旋涂机将上述实施例1~10和比较例1~8的青色感光性树脂组合物分别涂布到基板上后,在100℃下预烘焙(prebake)1分钟,以365nm曝光后,在230℃下实施20分钟后烘焙(postbake),测定抗蚀剂膜的后烘焙前后的厚度比率(%),评价结果如下述所示,将结果示于下述表2中。

【表2】

由上述表2的结果,作为本发明的青色感光性树脂组合物的实施例1~10显示出了透射率、密合性和耐化学性优异的结果。更具体地,作为青色着色剂使用了上述化学式1的青色染料和青色颜料的实施例6~10的青色感光性树脂组合物与作为青色着色剂只使用了上述化学式1的青色染料的实施例1~5的青色感光性树脂组合物相比,显示了密合性和耐化学性优异的结果。

相反,作为光聚合引发剂没有使用上述化学式2的化合物的比较例1~5的青色感光性树脂组合物的密合性和残膜率不良。

另外,没有使用上述化学式1的染料、使用了颜料的比较例6的青色感光性树脂组合物显示透射率、密合性和残膜率略微不良的结果,使用颜料、没有使用上述化学式1的染料和上述化学式2的光聚合引发剂的比较例7的青色感光性树脂组合物显示了密合性和残膜率不良的结果。

使用上述化学式1的染料、没有使用颜料、没有使用了上述化学式2的光聚合引发剂的比较例8的青色感光性树脂组合物显示出密合性和残膜率不良的结果。

因此,本发明的青色感光性树脂组合物能够确认透射率、密合性和残膜率优异,特别地密合性优异,不存在染料引起的感度的降低,能够解决显影工序中将图案剥离的问题。

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