技术总结
本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。
技术研发人员：小岛昭二;山田章夫;濑山雅裕
受保护的技术使用者：爱德万测试株式会社
技术研发日：2016.07.29
技术公布日：2018.06.29