共聚焦显微镜成像系统的制作方法

文档序号:12257236阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,包括:

第一台面;

万向臂支架,固定在所述第一台面上,所述万向臂支架远离所述第一台面的一端设置有扫描头;所述万向臂支架包括固定在所述第一台面上的桌面台及与所述桌面台连接的第一直杆、第一横臂、第二直杆、第二横臂以及旋转臂,所述第一直杆、所述第一横臂、所述第二直杆、所述第二横臂以及所述旋转臂均可旋转;

第二台面,设置在所述第一台面的下面,所述第二台面上设置有用于控制所述共聚焦显微镜成像系统的操作系统;

电箱,设置在所述第二台面的下面,所述电箱内集成有扫描头内光学构件的电子器件,所述电箱与所述扫描头连接,及

第三台面,设置在所述电箱的下面,所述第三台面上设置有机箱,所述的第三台面的底部设置有万向轮组。

2.根据权利要求1所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述扫描头内部的主基板上装配有凹形圆柱工装,所述万向臂支架上设置有凸形杆和与所述凸形杆连接的中间件,所述中间件与所述凹形圆柱工装连接。

3.根据权利要求2所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述凹形圆柱工装通过螺钉与所述主基板固连,所述中间件的外围圆环端面通过螺钉与所述凹形圆柱工装连接,所述中间件的内侧与所述凸形杆固连。

4.根据权利要求1所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述扫描头包括底部外壳及固定在所述底部外壳上的光学基板,所述光学基板与所述底部外壳所在的面相互平行,所述光学基板部分呈镂空状。

5.根据权利要求4所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述光学基板上固定有二维调节座,所述二维调节座的侧面通过夹持头固定有激光器光纤,所述夹持头可调节俯仰角。

6.根据权利要求4所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述光学基板上设置有四分之一波片和两个偏振片,所述两个偏振片分别通过底座固定在所述光学基板上,所述两个偏振片用于对激光进行偏振态、光斑质量及形状调整,所述四分之一波片通过镜架固定,所述四分之一波片与所述两个偏振片配合使用调节光斑。

7.根据权利要求4所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述光学基板上设置有PBS棱镜,所述PBS棱镜通过棱镜底座固定在所述光学基板上,所述棱镜下表面与所述光学基板表面平行设置。

8.根据权利要求4所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述光学基板上设置有共振振镜和检流计慢镜,所述共振振镜和检流计慢镜分别通过卡座固定在所述光学基板上,所述共振振镜镜面表面镀金,所述慢镜检流计慢镜可调节转动自由度,当激光射在镜面中央位置时,所述共振振镜和慢镜检流计慢镜镜面与所述光学基板平面呈45度角,所述共振振镜和所述检流计慢镜配合对激光进行点扫描。

9.根据权利要求4所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述光学基板上设置有扫描透镜和筒镜,所述扫描透镜和所述筒镜形成望远系统,对激光光斑进行扩束。

10.根据权利要求4所述的共聚焦显微镜成像系统,其特征在于,所述光学基板上设置有物镜和鼻管,所述物镜可沿光轴前后移动,所述物镜用于聚焦于样本表面,所述鼻管用于固定样本,所述鼻管带动样本横向移动从而实现大视野层析成像。

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