改进的光阻预烤炉移动销的制作方法

文档序号:12004372阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种改进的光阻预烤炉移动销,其由腔体、热板、驱动装置及移动销组成,该腔体为一容槽状,该腔体内设有热板及驱动装置,驱动装置上设有固定销及多个移动销,其特征在于:

该移动销贯穿热板并置放在轨道沟内,且移动销链接有驱动装置,驱动装置中的驱动器控制移动销进行平移式圆周往返运动。

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