技术总结
本实用新型公开了一种改进的光阻预烤炉移动销，其以平移式圆周往返运动来支撑玻璃基板，能避免在玻璃基板上残留刮痕，以降低玻璃基板的不合格率。其主要由腔体、热板、驱动装置及移动销组成，该腔体为一容槽状，内设有热板及驱动装置，驱动装置上设有可移动的移动销，移动销贯穿热板的轨道沟并凸伸出热板，从而能利用驱动装置中的驱动器控制移动销进行平面移动，且同时支撑玻璃基板，使玻璃基板于烘烤时，该移动销不会持续接触到玻璃基板的同一点上，以防止产生销痕，进而提升玻璃基板的质量。
技术研发人员：李东明;小幡达夫
受保护的技术使用者：李东明
文档号码：201621115588
技术研发日：2016.10.12
技术公布日：2017.07.11