1.一种带有MEMS振镜反馈的结构光生成装置，包括光学模组及硬件控制电路，所述光学模组包括依次连接的LD激光器、双面透镜及MEMS振镜；其特征在于，所述硬件控制电路包括FPGA模块，及与FPGA模块连接的ARM模块、MEMS振镜驱动模块、激光器驱动模块，所述MEMS振镜驱动模块与MEMS振镜连接构成控制回路，所述激光器驱动模块与所述LD激光器连接构成控制回路，所述光学模组内还设置有光电探测器，所述光电探测器连接共射极放大电路的输入端，所述共射极放大电路的输出端连接所述ARM模块；光电探测器位于MEMS振镜的光束出射方向。
2.根据权利要求1所述的带有MEMS振镜反馈的结构光生成装置，所述光电探测器粘贴在所述光学模组的内侧，且正对所述MEMS振镜的出射面的中间。
3.根据权利要求1所述的带有MEMS振镜反馈的结构光生成装置，其特征在于，所述共射极放大电路与所述ARM模块的DAC通道连接；所述ARM模块通过IIC接口与所述FPGA模块连接。
4.根据权利要求1所述的带有MEMS振镜反馈的结构光生成装置，其特征在于，所述双面透镜的入射面为聚焦面，出射面为准直面。
5.根据权利要求1所述的带有MEMS振镜反馈的结构光生成装置，其特征在于，所述MEMS振镜为静电式MEMS振镜。