一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统与流程

文档序号:12116372阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种曝光机,其特征在于,包括主壳体以及设置在所述主壳体内的载物机台、曝光组件和升降杆轴承机构,所述升降杆轴承机构与所述载物机台和所述曝光组件机械连接,所述升降杆轴承机构包括:

轴承,与所述曝光组件机械连接;

升降杆,与所述轴承机械连接,用于绕所述轴承旋转以控制所述曝光组件上下升降;以及

防尘罩,设置在所述轴承与所述升降杆相连接的一端的外侧,所述防尘罩由透明材料制成。

2.如权利要求1所述曝光机,其特征在于,所述透明材料为高硅氧玻璃、石英玻璃或亚克力。

3.如权利要求1所述曝光机,其特征在于,所述曝光组件包括光源,所述光源正对所述载物机台设置,用于发光照射玻璃基板;

所述曝光机还包括反射灯罩,所述反射灯罩设置在所述主壳体内且位于所述光源组件的上方,用于将所述光源组件发射的光线反射至所述玻璃基板。

4.如权利要求3所述曝光机,其特征在于,所述光源包括散射光源、点光源或平行光源。

5.如权利要求3所述曝光机,其特征在于,所述光源为毛细灯、长弧灯、短弧灯或紫外灯。

6.如权利要求3所述曝光机,其特征在于,所述反射灯罩为散射型灯罩。

7.一种曝光机的图像偏移防治方法,其特征在于,所述曝光机为如权利要求1~6任一项所述的曝光机,所述方法包括:

检测轴承是否已磨损;

若所述轴承已磨损,则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。

8.如权利要求7所述的曝光机的图像偏移防治方法,其特征在于,所述检测所述轴承是否已磨损,包括:

获取当前的轴承图像;

比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内;

若所述偏差在预设偏差范围内,则判定所述轴承未磨损,否则,判定所述轴承已磨损。

9.一种曝光机的图像偏移防治系统,其特征在于,所述曝光机为如权利要求1~6任一项所述的曝光机,所述系统包括:

检测单元,用于检测轴承是否已磨损;

提示单元,用于若所述轴承已磨损,则发出表示所述轴承已磨损的提示信息。

10.如权利要求9所述的曝光机的图像偏移防治系统,其特征在于,所述检测单元包括:

图像获取单元,用于获取所述轴承图像;

比较单元,用于比较所述轴承图像与预存的轴承图像之间的偏差是否在预设偏差范围内;

判断单元,用于若所述偏差在预设偏差范围内,则判定所述轴承未磨损,否则,判定所述轴承已磨损。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1