技术总结
本发明实施例提供一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统，通过在轴承和升降杆相连接的一端设置由透明材料制成的防尘罩，便于通过人工或机器视觉方式检测轴承是否已磨损，从而有效防治因轴承磨损掉落残渣而导致的光阻图像产生局部偏移的现象，可以有效提高黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率，从而提高黄光制程的生产效率。
技术研发人员：温俊斌
受保护的技术使用者：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
文档号码：201710020601
技术研发日：2017.01.11
技术公布日：2017.03.22