金属‑类光子晶体混合波导耦合器的制作方法

文档序号:11152485阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:包括基质和设在基质两侧的第一金属片,在基质上表面和下表面分别设置有第一波导和第二波导,以及分别设置在第一波导两侧的第二输出端和第三输出端,分别设置在第二波导两侧的第一输入端和第四输出端;

第一波导和第二波导去掉了中间的金属材料和空气孔,且第一波导和第二波导相互向中间靠近,靠近后的重合区域形成耦合宽度为1282-1300nm的耦合区;第一波导、第二波导相邻的空气孔半径从两侧端部到中心逐渐缩小;

第一金属片的厚度不变,第一波导、第二波导与第一金属片内壁表面接触的空气孔半径不变。

2.如权利要求1所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:所述第一波导和第二波导相邻。

3.如权利要求1或2所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:所述第一波导和所述第二波导的相邻区域设有第二金属片;第二金属片的厚度从左右两侧向中部逐渐缩小,第一波导、第二波导相邻的空气孔与第二金属片侧壁表面接触,空气孔中心与第二金属片侧壁表面距离保持不变。

4.如权利要求3所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:所述第二金属片缩小的持续长度为4.3um,端部的空气孔半径为0.13um,逐渐缩小到最小半径为0.05um,第二金属片厚度由100nm减小为15nm,长度为2.58um。

5.如权利要求1或2所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:第一波导和第二波导在左侧的相邻区域设有向右侧厚度逐渐减小的第二金属片,所述第二金属片向下有一定的倾角;在右侧的相邻区域设有向左侧厚度逐渐减小的第三金属片,以指定厚度向中部延伸,所述第三金属片向下有一定的倾角;

第一波导中与第二金属片接触的空气孔从左向右逐渐缩小;第二波导中与第二金属片接触的空气孔从左向右逐渐缩小;

第一波导中与第三金属片接触的空气孔从右向左逐渐缩小;第二波导中与第三金属片接触的空气孔从右向左逐渐缩小。

6.如权利要求5所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:在第一波导与第二波导右侧逐渐分离的过程中,第一波导与第一金属片接触的空气孔之间引入新的空气孔,第二波导与第三金属片接触的空气孔之间引入新的空气孔。

7.如权利要求5所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:在左侧,所述第一波导和所述第二波导相互靠近的长度为3.01um,第二金属片的厚度逐渐减小为20nm;第一波导中与第二金属片接触的空气孔从左向右逐渐缩小,且缩小至的最小半径为0.05um;第二波导中与第二金属片接触的空气孔从左向右逐渐缩小,且缩小至的最小半径为0.08um;

在右侧,第一波导和第二波导相互靠近的长度为3.01um,第三金属片的厚度逐渐减小为20nm后以厚度15nm向中部延伸;第一波导中与第三金属片接触的空气孔从右向左逐渐缩小,且缩小至的最小半径为0.05um;第二波导中与第三金属片接触的空气孔从右向左逐渐缩小,且缩小至的最小半径为0.08um。

8.如权利要求6所述的金属-类光子晶体混合波导耦合器,其特征在于:所述引入新的空气孔的最小半径为30nm。

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