一种负性光刻胶的制作方法

文档序号:12716348阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种负性光刻胶,其由下列组分组成:透明高折射率光敏碱溶性树脂A;光引发剂B;活性稀释剂;溶剂D。

2.根据权利要求1所述的负性光刻胶,其特征在于,该负性光刻胶由按照质量份数计算的下列组分组成:

透明高折射率光敏碱溶性树脂A 100份;

光引发剂B 0.005 ~20份;

活性稀释剂C 10 ~80份;

溶剂D 20-60份。

3.根据权利要求1或2所述的负性光刻胶,其特征在于,所述透明高折射率光敏碱溶性树脂A 由脂环族环硫丙烯酸树脂a1用酸酐类固化剂a2改性后得到的;

所述脂环族环硫丙烯酸树脂a1是脂环族环硫单体a11与烯丙基丙烯酸类化合物a12共聚而成;

所述脂环族环硫单体a11由脂环族环氧单体a111置换得到。

4.根据权利要求3所述的负性光刻胶,其特征在于,上述脂环族环氧单体a111是下述物质中的一种或者多种的混合物:3,4-环氧环己基甲基 3,4-环氧环己基甲酸酯、双((3,4-环氧环己基)己二酸酯、1,4-环己烷二甲醇双(3,4-环氧环己烷甲酸)酯、2-(3,4-环氧环己基)-5,5-螺(3,4-环氧环己基)-1,3-二氧六环、1,2-环己醇二缩水甘油醚、1,4-环己烷二甲醇二缩水甘油醚。

5.根据权利要求3所述的负性光刻胶,其特征在于,上述烯丙基丙烯酸类化合物a12为下述通式1所示的甲基丙烯酸或丙烯酸:

[通式1]

上述通式1中,X为氢或甲基。

6.根据权利要求3所述的负性光刻胶,其特征在于,上述酸酐类固化剂a2是下述物质中的一种或者多种的混合物:甲基六氢邻苯二甲酸酐、六氢苯酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、四氢苯酐、纳迪克酸酐、甲基纳迪克酸酐。

7.根据权利要求3所述的所述的负性光刻胶,其特征在于,所述透明高折射率光敏碱溶性树脂A的制备方法包括下列步骤:

步骤1:脂环族环硫单体a11的合成:准确称取43质量份的脂环族环氧单体a111和70质量份的乙醇置于三口烧瓶中混合均匀,然后加入40质量份的去离子水溶解的14质量份KSCN混合物,50℃下搅拌反应30min后停止反应,分离提纯后得到脂环族环硫单体a11;

步骤2:脂环族环硫丙烯酸树脂a1的合成:在装有搅拌器、冷凝管、温度计和恒压滴液漏斗的四口烧瓶中,加入50质量份步骤1制得的脂环族环硫单体a11、400*10-6质量份的阻聚剂于60℃条件下搅拌均匀,升温至80℃,滴加28质量份的烯丙基丙烯酸类化合物a12和1质量份的催化剂的混合物,滴加完毕后,升温至90℃恒温反应2h,再升温至100~108℃反应5~6h,当酸值<5mgKOH/g后停止反应,得到脂环族环硫丙烯酸树脂a1;

步骤3:透明高折射率光敏碱溶性树脂A的合成:将脂环族环硫丙烯酸树脂a1温度调节至60℃,加入50质量份的酸酐类固化剂a2,混合均匀,升温至75~80℃反应,监测体系酸值,当酸值在15分钟内稳定不变后结束反应,得到透明高折射率光敏碱溶性树脂A。

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