基于磁场可调控闪耀光栅的制造方法与流程

文档序号:11233211阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于磁场可调控闪耀光栅的制造方法,包括以下步骤:硅模具的制造:在清洗干净的硅片表面溅射一层金属薄膜A,然后涂胶、曝光、显影、腐蚀金属薄膜A、干法刻蚀硅制备硅模具A;按照同样的步骤,制备模具B;翻模制备柔性磁性聚合物栅线;反射面的制造:将配置好的聚合物混合物涂覆在模具B表面,再施加一个衬底,加热固化聚合物,脱模得到柔性聚合物栅线,在柔性聚合物栅线表面溅射沉积厚度为20~300nm金属薄膜C得到反射面;利用磁场调控反射面的转移,实现闪耀光栅闪耀角的调控。本发明利用磁场精确调控闪耀光栅的闪耀角;本发明具备可精确调控闪耀角、响应快、成本低等优点。

技术研发人员:史永胜;刘红忠;尹磊;陈邦道
受保护的技术使用者:常州瑞丰特科技有限公司
技术研发日:2017.06.27
技术公布日:2017.09.12
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