技术特征：
技术总结
本发明提供了一种高效率、低成本的微腔耦合系统，包括波导和微腔，所述波导与所述微腔直接相连，光信号经所述波导直接进入所述微腔中激发出谐振模式。本发明还提供了一种高效率、低成本的微腔耦合系统的制备方法。本发明的有益效果是：波导与微腔直接相连，对制备精度要求不高，用光刻即可实现，有效降低了成本，并且，耦合效率较高，同时适用于多种半导体材料。
技术研发人员：宋清海;刘帅;张靖;肖淑敏
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学深圳研究生院
技术研发日：2018.04.19
技术公布日：2018.08.17