一种可换辊的紫外纳米压印装置的制作方法

文档序号:15043759发布日期:2018-07-27 22:07阅读:378来源:国知局

本实用新型涉及纳米压印领域,尤指一种可换辊的紫外纳米压印装置。



背景技术:

自从华裔科学家Stephen Y. Chou教授在1995年提出纳米压印概念至今,纳米压印技术已经发展为科学革命中的核心纳米技术之一,因其相较于传统光刻技术,能够实现廉价、快速的制造微纳图案,因此在半导体、生物工程等方面具有很大的市场前景。

目前,纳米压印技术已经形成了热压印、软刻蚀和紫外压印等三种主要的类型,传统的纳米压印方法,在一种微纳图案压印完毕后需要更换模板之后才能压印下一种图案,频繁的拆卸更换模板费时费力,降低了压印的生产率,严重的影响了其工业化生产。除此之外,在更换的过程中难免会产生误差,又需要对压印辊进行繁琐且耗时的调整使其水平并与衬底对齐,否则将会导致压印的图案分辨率降低甚至失败。这些都导致了压印时间长、成本高等问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决在辊对辊紫外纳米压印过程中压印完一种微纳图案后需要拆卸辊,换上另一种微纳图案的压印辊进行压印时压印时间长、成本高等问题,提供了一种可换辊的紫外纳米压印装置。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置,其特征在于,包括外箱、放卷辊、涂胶装置、支撑辊、背辊、换辊装置、微调装置、紫外灯、收卷辊、衬底、伺服电机一和伺服电机二,其中,放卷辊与伺服电机二联接并固定在外箱上,衬底包覆在放卷辊与收卷辊上,涂胶装置通过螺钉固定在外箱上,支撑辊通过轴承配合在外箱上,背辊通过轴承配合在外箱上,紫外灯通过螺钉固定在外箱上,收卷辊与伺服电机一联接并固定在外箱上,换辊装置穿过外箱通过轴承连接固定在微调装置上,微调装置通过螺钉固定于外箱上。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置,其特征在于,所述的外箱包括:底板、前箱体、后箱体、上盖板,其中底板水平放置在水平面上,前箱体与后箱体通过螺钉固定在底板上,上盖板通过螺钉固定在前箱体上。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置,其特征在于,所述的换辊装置包括:旋转轴、转盘一、压印辊一、转盘二、固定装置一、固定装置二、压印辊二和压印辊三,其中,压印辊一、压印辊二、压印辊三装卡在转盘一与转盘二之间,固定装置一与固定装置二装配在上盖板上并卡住转盘一,旋转轴通过轴承固定在微调装置上。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置,其特征在于,所述的固定装置一与固定装置二完全相同,内部装有弹簧,使得固定装置一与固定装置二始终卡住转盘一。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置,其特征在于,所述的微调装置包括:外壳、滚珠丝杠、联轴器、伺服电机三、滑块和导轨,其中,外壳底部通过螺钉固定在外箱中的底板上,导轨通过螺钉固定在外壳上,滑块装卡在导轨上,伺服电机三通过螺钉固定在外壳顶部,联轴器一端连接着伺服电机三,另一端与滚珠丝杠相连。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置,其特征在于,所述的压印辊一、压印辊二、压印辊三上均有不同的微结构,可以在涂胶的衬底上压印出不同的微纳图案。

本实用新型能够在一种微纳图案压印完毕之后不需要拆换压印辊,只需要转动换辊装置就可以进行另一种微纳图案的压印,避免了拆卸更换模板和对压印辊进行繁琐且耗时的调整,降低了成本,并大大的提高了生产效率。

附图说明

图1为一种可换辊的紫外纳米压印装置的内部结构示意图;

图2为一种可换辊的紫外纳米压印装置的结构示意图;

图3为一种可换辊的紫外纳米压印装置的换辊装置的结构示意图;

图4为一种可换辊的紫外纳米压印装置的的微调装置的结构示意图。

附图标记说明:放卷辊2、涂胶装置3、支撑辊4、背辊5、换辊装置6、微调装置7、紫外灯8、收卷辊9、衬底10、伺服电机一11、伺服电机二12、底板101、前箱体102、后箱体103、上盖板104、旋转轴601、转盘一602、压印辊一603、转盘二604、固定装置一605、固定装置二606、压印辊二607、压印辊三608、外壳701、滚珠丝杠702、联轴器703、伺服电机三704、滑块705、导轨706。

具体实施方式

结合附图对一种可换辊的紫外纳米压印装置的使用方式进行叙述。

如图1、2所示,所述的一种可换辊的紫外纳米压印装置,包括外箱1、放卷辊2、涂胶装置3、支撑辊4、背辊5、换辊装置6、微调装置7、紫外灯8、收卷辊9、衬底10、伺服电机一11和伺服电机二12,其中,外箱1包括底板101、前箱体102、后箱体103、上盖板104,底板101水平放置在水平面上,前箱体102与后箱体103通过螺钉固定在底板101上,上盖板104通过螺钉固定在前箱体102上,放卷辊2与伺服电机二12联接且固定在外箱1中的后箱体103上,衬底10包覆在放卷辊2与收卷辊9上,支撑辊4通过轴承配合在后箱体103上,涂胶装置3通过螺钉固定在外箱1中的后箱体103上,背辊5通过螺钉固定在外箱1中前箱体102上,紫外灯8通过螺钉固定在外箱1中前箱体102上,收卷辊9与伺服电机一11联接并固定在前箱体102上,换辊装置6穿过外箱1中的前箱体102通过轴承配合在微调装置7中的滑块705上,微调装置7通过螺钉固定于外箱1中的底板101上。

如图3所示,所述的一种可换辊的紫外纳米压印装置中的换辊装置6,包括旋转轴601、转盘一602、压印辊一603、转盘二604、固定装置一605、固定装置二606、压印辊二607和压印辊三608,其中,压印辊一603、压印辊二607、压印辊三608均装卡在转盘一602与转盘二604之间,固定装置一605与固定装置二606装配在上盖板104上并卡住转盘一602,旋转轴601通过轴承固定在微调装置7中的滑块705上。

如图4所示,所述的一种可换辊的紫外纳米压印装置包括外壳701、滚珠丝杠702、联轴器703、伺服电机三704、滑块705和导轨706,其中,外壳701底部通过螺钉固定在外箱1中的底板101上,导轨一706固定在外壳701上,滑块705装卡在导轨706上,可以在导轨706上移动,伺服电机三704通过螺钉固定在外壳701顶部,联轴器703一端连接伺服电机三704,另一端与滚珠丝杠702相连。

下面结合图1-图4,对本实用新型的实施流程作进一步说明。

启动伺服电机一11和伺服电机二12,使得伺服电机一11和伺服电机二12同步运转,放卷辊2释放衬底10,衬底10经过涂胶装置3时,涂胶装置3在衬底10表面涂胶,然后衬底10再传送到压印辊一603与背辊5之间,再同时启动伺服电机三704,使得滑块705向下移动,调节压印辊一603与背辊5之间的距离,从而控制压印力,压印辊一603在涂了胶的衬底10上进行压印后,再通过紫外灯8对胶进行固化,最终由收卷辊9卷收衬底10,完成压印的流程,如果进行下一种微纳图案的压印时,打开上盖板104,转动换辊装置6,将其旋转120°,并通过固定装置一605和固定装置二606卡紧,重复以上压印步骤即可进行下一步压印,制备得到具有另一种不同微结构的衬底10。

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