平行曝光光源结构系统的制作方法

文档序号:16009144发布日期:2018-11-20 20:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.平行曝光光源结构系统,其特征在于:具有机架(1),该机架(1)部分架设在曝光工位(8)上,在曝光工位(8)后侧方的机架(1)上设有曝光源的灯源(2),在灯源(2)下方设置反光碗镜(9),通过反光碗镜(9)聚集灯源(2)发射的紫外光,在光源的正上方设有第一反射冷光镜(3),反光碗镜(9)聚集灯源发射的紫外光经过第一反射冷光镜(3)反射出来的光斑落在快门(10);当快门(10)打开后,光斑通过蝇眼透镜组(4)进行光学积分分配,形成均匀多点光源,再经过球面镜(5)向上倾斜的反射,形成平行光源落上第二反射冷光镜(6),再通过第二反射冷光镜(6)向下反射,平行光源投射到曝光工位(8)上。

2.根据权利要求1所述的平行曝光光源结构系统,其特征在于:所述机架(1)为L形架体,机架(1)的一端水平搭在曝光工位(8)上,而机架(1)的水平部分布置第一反射冷光镜(3)、蝇眼透镜组(4)、球面镜(5)及第二反射冷光镜(6),其中第一反射冷光镜(3)、蝇眼透镜组(4)和球面镜(5)的中心点呈直线排列。

3.根据权利要求2所述的平行曝光光源结构系统,其特征在于:所述灯源(2)发射的紫外光经反光碗镜(9)聚集垂直向上发射,第一反射冷光镜(3)的反射面与入射的光轴呈45°夹角;经第一反射冷光镜(3)反射出水平光线通过蝇眼透镜组(4)后射向球面镜(5),球面镜(5)反射的光线与入射光线呈27°夹角。

4.根据权利要求1或3所述的平行曝光光源结构系统,其特征在于:所述灯源(2)和反光碗镜(9)安装在调整座(7),调整座(7)组装在机架(1)上。

5.根据权利要求1或3所述的平行曝光光源结构系统,其特征在于:所述的蝇眼透镜组(4)是由二片数目相同的组合透镜叠加组成,当紫外光斑落在第一片组合透镜进行光学积分分配,在第二面组合透镜形成均匀多点光源。

6.根据权利要求1或3所述的平行曝光光源结构系统,其特征在于:所述的快门(10)安装在蝇眼透镜组(4)前面,由电机带动,开启和截止第一反射冷光镜(3)反射过来的光斑。

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