Uv led光源结构和平行光曝光机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及曝光机的技术领域，尤其涉及UV LED光源结构和包括该UV LED光源结构的平行光曝光机。
【背景技术】
[0002]参照图1所示，为传统平行光曝光机的光源结构1，传统的平行光曝光机，其采用超高压汞灯10作为光源，该超高压汞灯10首先经过一个椭圆反射镜11聚光，光线汇聚到一个第一平面镜12上，第一平面镜12把超高压汞灯10光线中热量高的IR光线(红外光线)部分透射出去，并将超高压汞灯10中的UV光线(紫外光线)反射汇聚到第二平面镜13上，第二平面镜13再进一步把UV光线几乎无损耗得反射汇聚到一个复眼透镜14上，复眼透镜14学名叫平行光凸透镜阵列，也叫蝇眼透镜，英文名为fly eyes ;经由复眼透镜14出来的光线汇聚在第三平面镜15上，并由第三平面镜15反射后，扩散到一个球面镜16上，球面镜16反射出大面积均匀度高、准直度好(平行半角约1.5° -5° )的平行光线，平行光线通过光掩膜板17，即可在曝光玻璃18上显影，从而完成整个曝光的过程。
[0003]由上述可知，传统的平行光曝光机中都是采用超高压汞灯光源结构1，其超高压汞灯10通过复杂的光学结构达到产生大面积平行光线的目的，但是，汞灯10的寿命通常只有1000个小时左右，因此，使用1-2个月后，则需要替换一次光源。而现有技术中，UV LED(紫外线发光二极管)的发光效率在有了很大的提升，以日本日亚公司、韩国首尔公司、韩国LG公司、台湾旭明公司、台湾联盛公司等为代表的365NM波长UV LED的晶元发光效率从前几年的〈15%，到目前的接近40%，并且，UV LED与超高压汞灯相比，具有以下优势:
[0004]1)、UV LED的寿命在20000个小时以上，因此可以避免频繁更换光源的麻烦；
[0005]2)、UV LED有效光谱范围窄，其光利用率高，更加节能；
[0006]3)、UV LED不含萊,不会产生臭氧，更加环保；
[0007]4)、UV LED光源驱动电源中不含有高压，更加安全。
[0008]现时科技的发展使得LED UV光源替代超高压汞灯光源成为可能。近两年来，有三种替代应用方案正在兴起，第一种是以深圳市蓝谱里克科技、深圳市大川光电等为代表的UV LED扫描式平行光曝光光源结构；第二种是以法国A0TUMARK公司为代表的震动补光式大面积UV LED平行光曝光光源结构；第三种是以大日本网屏公司为代表的直显式UV LED曝光光源结构。
[0009]上述的三种UV LED光源替代超高压汞灯光源方案，其使用在平行光曝光机中，都需要彻底改变传统曝光机内部的光学结构，以达到能产生平行光的效果，这样，对于将传统的超高压汞灯光源结构1的曝光机，其要实现方便快捷的改装成UV LED光源结构的曝光机，则是无能为力的，其需要重新设计获得平行光的整套光学结构，来完全替代现有的曝光机内的光学结构，才能够实现获得平行光的效果。但是，目前市面上约99%以上的曝光机都是采用传统的超高压汞灯光源结构1，并且，用于获得平行光的整套光学结构的价格非常昂贵，几乎占到整个曝光机成本的1/3，这样，不仅成本较高，且重新设计光学结构，也导致曝光机结构复杂，且需要中断生产导致耽误生产的问题。
【发明内容】
[0010]本发明的目的在于提供UV LED光源结构，旨在解决现有技术中的平行光曝光机采用UV LED光源，需要重新设计光学结构，导致成本过高、结构复杂以及耽误生产的问题。
[0011]本发明是这样实现的，UV LED光源结构，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。
[0012]本发明还提供了平行光曝光机，其包括上述的UV LED光源结构。
[0013]与现有技术相比，本发明提供的UV LED光源结构，其直接将UV LED灯头放置在复眼透镜模组前方，UV LED灯珠发出的光线经由复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，则形成了用于曝光的平行光；将该UV LED光源结构运用在现有的平行光曝光机中，其可以减去现有技术中平行光曝光机中的椭圆反射镜以及两个平面镜，使得其光学结构更加简单，不需要客户更新换代设备，也不需要大规模改造设备，花最少的代价，即可以使得热量大、功耗高、有污染的采用超高压汞灯的曝光机改造成低温、节能、环保、安全的采用UV LED光源结构的曝光机，避免耽误生产，并且大大降低成本。
[0014]采用上述UV LED光源结构的平行光曝光机，其避免采用超高压汞灯作为光源，具有低温、节能、环保、安全等优点，其相对节省器件使用，可以节约生产成本及空间。
【附图说明】
[0015]图1是现有技术中的平行光曝光机的光源结构的主视示意图；
[0016]图2是本发明实施例提供的UV LED光源结构的主视示意图；
[0017]图3是本发明实施例提供的UV LED光源结构的部分立体示意图；
[0018]图4是本发明实施例提供的UV LED灯头与复眼透镜模组之间的立体爆炸示意图
[0019]图5是本发明实施例提供的UV LED灯头与复眼透镜模组之间的立体爆炸示意图--，
[0020]图6是本发明实施例提供的驱动器的立体爆炸图一；
[0021]图7是本发明实施例提供的驱动器的立体爆炸图二。
【具体实施方式】
[0022]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0023]以下结合具体实施例对本发明的实现进行详细的描述。
[0024]参照图2?7所示，为本发明提供的较佳实施例。
[0025]参照2?5所示，本发明提供的UV LED光源结构2运用在平行光曝光机中，或者，其也可以运用在其它需要曝光的设备中，并不仅限制于本实施例中的平行光曝光机。
[0026]UV LED光源结构2包括UV LED灯头23、复眼透镜模组24、平面镜25以及球面镜26，沿着光路的出射方向，UV LED灯头23、复眼透镜模组24、平面镜25以及球面镜26依序布置；其中，UV LED灯头23与复眼透镜模组24相邻平行布置，且置于复眼透镜模组24的前方，内设有UV LED光源，该UV LED用于射出UV光线；UV LED灯头23出射的光线透过复眼透镜模组24，射至平面镜25，光线经由平面镜25反射至球面镜26，经由球面镜26反射后形成平行光线，该平行光线透过光掩膜板27，则可以在曝光玻璃28上显影。
[0027]UV LED灯头23与复眼透镜模组24之间相邻平行布置，两者之间通过调节机构连接，该调节机构可以用于调节UV LED灯头23与复眼透镜模组24之间的距离。
[0028]上述提供的UV LED光源结构2，其采用UV LED光源，直接将UV LED灯头23放置在复眼透镜模组24的前方，并且，UV LED光源发出的光线通过复眼透镜模组24、平面镜25以及球面镜26以后，可以形成平行光，用于对曝光玻璃进行曝光。将上述提供的UV LED光源结构2运用在现有技术中的平行光曝光机中，其可以直接将UV LED灯头23放置在复眼透镜模组24前方，代替超高压汞灯光源，利用后端的平面镜25和球面镜26直接得到大面积均匀平行的紫外光线。并且可以减去现有技术中平行光曝光机中的椭圆反射镜以及两个平面镜，使得其光学结构更加简单，在更换的过程中，直接拆卸掉一些器件则可，不需要重新设计光学结构，不会耽误生产，并且可进一步降低成本，另外，通过调节机构，可以调节UV LED灯头23与复眼透镜模组24，使得该UV LED光源结构2达到更加的效果，获得更加均匀的平行光。
[0029]将上述的UV LED光源结构2运用在现有的平行光曝光机中，不用客户更新换代设备、也不用大规模改造设备、花最少的代价即可以使得热量大、功耗高、有污染的采用超高压汞灯的曝光机改造成低温、节能、环保、安全的采用UV LED光源结构2的曝光机，因此其是传统平行光曝光机改造最佳的解决方案。
[0030]平面镜25通常由钠钙玻璃或者耐热硼矽酸玻璃之城，并且其反射面做针对紫外线优化的特殊铝镀膜层，其可以将照射在其上的紫外线几乎无损耗的反射汇聚到复眼透镜模组24中。
[0031]复眼透镜模组24学名叫平行光凸透镜阵列，也叫蝇眼透镜，英文名为flyeyes，是采用多个耐热石英玻璃平行光凸透镜单体通过高温键和的方式阵列而成，透镜光学面还要做紫外线透射率增强镀膜处理，作用是让紫外光尽可能多的透过去，并且极大提高出光面区域的均匀度，平行光的均匀度越高、平行半角越小，则平行光在曝光玻璃上的曝光显影的精度越高。
[0032]本实施例中，调节机构包括多个相邻平行布置的导向杆20，该多个导向杆20的一端固定连接在复眼透镜模组24上，其另一端朝UV LED灯头23延伸，且活动穿设在UV LED灯头23中，这样，灯头则可以沿着该多个导向杆20移动，从而缩小或扩大器与复眼透镜模组24之间的距离。
[0033]当然，作为其它实施例，导向杆20的两端都可以活动穿设在UV LED灯头23及复眼透镜模组24中，或者，一端固定连接在UV LED灯头23上，另一端活动穿设在复眼透镜模组24中，都可以实现UV LED灯头23与复眼透镜模组24之间距离的改变。
[0034]当然，调节机构也还可以是其它的结构，如直接将UV LED灯头23及复眼透镜模组24分别连接在同一导轨上，利用其在导轨上移动，实现两者之间距离的改变。
[0035]UV LED灯头23包括灯头壳233，该灯头壳233的后端中设有开口的安装腔，该安装腔的开口朝向复眼透镜模组24布置；灯头壳233的安装腔内设有电路板234，电路板234上布设有多个UV LED灯珠235，形成UV LED光源，这样