用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的滤光片光学膜的制作方法

本实用新型涉及全固态激光装置技术领域，具体为用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的滤光片光学膜。

背景技术：

薄膜滤光片用电子束(EB)蒸发的TiO2和SiO2薄膜系统具有重要的应用。但是用常规的蒸发技术，即使基板的温度高达300℃以上，薄膜仍呈现出明显的柱状结构特性，这种柱状结构的薄膜，由于膜层中包含着大量的空隙，因此随着薄膜滤光片吸潮，膜层折射率升高，滤光片的中心波长就会产生明显的漂移，了表征这种结构特性，人们提出了聚集密度P，它被定义为薄膜中固体部分的体积与总体积之比。

在现有技术中，滤光片光学膜在全固态激光装置内的使用效率较高，当对激光进行滤光作用时，由于激光的高热量性，滤光片在使用过程中，极易因为高温受损，造成不必要的损毁，同时现有的滤光片不具有防撞和防潮的作用。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的滤光片光学膜，以解决上述背景技术中提出的因为高温受损，造成不必要的损毁的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的滤光片光学膜，包括滤光片主体，所述滤光片主体的两侧均固定安装有硬膜，所述滤光片主体的内部设置有玻璃基板，所述玻璃基板的两侧均涂染有染料层，所述硬膜的内部设置有聚苯乙烯树脂膜层，所述聚苯乙烯树脂膜层的一侧安装有防静电颗粒层，所述防静电颗粒层的一侧安装有纳米防水层，所述纳米防水层的一侧固定安装有隔热涂料层。

优选的，所述玻璃基板为一种钢化玻璃材料构件。

优选的，所述纳米防水层为一种EC-6220纳米防水剂。

优选的，所述隔热涂料层为一种1071耐高温透明隔热涂料。

优选的，所述硬膜采用离子束溅射工艺进行加工。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型，通过硬膜的设置，便于加强滤光片主体的防护性能，玻璃基板作为主体基座，便于提供滤光支撑及主体外形保证，染料层进行染涂，便于对指定的光线过滤，起到良好的滤光作用，聚苯乙烯树脂膜层为一种拉伸强度很高的硬质透明薄膜，具有良好的成型加工的优点，为硬膜提供良好的外部隔热保护，经由防静电颗粒层进行防静电处理，解决了滤光片主体静置待用时，因静电原因吸入沾粘杂质，造成后续滤光过程中滤光不便的问题。

2.通过设置纳米防水层，纳米防水层进行外部防水，防止水气进入损坏染料层的相对位置，造成滤光不便的问题，隔热涂料层进行外部隔热处理，优先将激光过高的温度隔离，一定程度上加强了滤光片主体的抗热性能，有效的解决了因为高温受损，造成不必要的损毁的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的滤光片主体结构示意图；

图3为本实用新型实施例的硬膜结构示意图。

图中：1、滤光片主体；2、硬膜；3、玻璃基板；4、染料层；5、聚苯乙烯树脂膜层；6、防静电颗粒层；7、纳米防水层；8、隔热涂料层。

具体实施方式

为了提高滤光片的防损能力，本实用新型实施例提供了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的滤光片光学膜。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-3，本实施例提供了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的滤光片光学膜，包括滤光片主体1，滤光片主体1的两侧均固定安装有硬膜2，滤光片主体1的内部设置有玻璃基板3，玻璃基板3的两侧均涂染有染料层4，硬膜2的内部设置有聚苯乙烯树脂膜层5，聚苯乙烯树脂膜层5的一侧安装有防静电颗粒层6，防静电颗粒层6的一侧安装有纳米防水层7，纳米防水层7的一侧固定安装有隔热涂料层8。

本实施例中，硬膜2的设置，便于加强滤光片主体1的防护性能，玻璃基板3作为主体基座，便于提供滤光支撑及主体外形保证，染料层4进行染涂，便于对指定的光线过滤，起到良好的滤光作用，聚苯乙烯树脂膜层5为一种拉伸强度很高的硬质透明薄膜，具有良好的成型加工的优点，为硬膜2提供良好的外部隔热保护，经由防静电颗粒层6进行防静电处理，防止滤光片主体1静置待用时，因静电原因吸入沾粘杂质，造成后续滤光过程中滤光不便的问题，纳米防水层7进行外部防水，防止水气进入损坏染料层4的相对位置，造成滤光不便的问题，隔热涂料层8进行外部隔热处理，优先将激光过高的温度隔离，一定程度上加强了滤光片主体1的抗热性能。

实施例2

请参阅图1-3，在实施例1的基础上做了进一步改进：玻璃基板3为一种钢化玻璃材料构件，在玻璃表面形成压应力，玻璃承受外力时首先抵消表层应力，从而提高了承载能力，具有良好的抗风压性，寒暑性和冲击性，纳米防水层7为一种EC-6220纳米防水剂，以含氟溶剂为溶媒，具有防水防油性能的氟素化合物溶液，防水性能良好。

其中，隔热涂料层8为一种1071耐高温透明隔热涂料，该涂料完全透明，涂刷后涂膜不影响物体的本来颜色，能与物体表面形成互穿网络，附着力好，具有一定的隔热、防氧化、防腐的保护作用，硬膜2采用离子束溅射工艺进行加工，以一定能量的离子束轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺，进行稳固连接，防止出现脱落情况。

本实用的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用的限制。

本实用的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。