双载台曝光机的制作方法

文档序号:17184790发布日期:2019-03-22 21:14阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及曝光器械领域,具体提供一种双载台曝光机,包括输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置具有机座、第一传送机构以及第二传送机构,机座具有第一带动单元及第二带动单元,第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元,第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元;光源产生装置设于输送装置一侧的上方;送料装置设于输送装置的另一侧。由此,可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时,由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光,并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时,再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光,如此循环输送感光基板提升了感光基板的传输效率及曝光机的产速。

技术研发人员:张鸿明
受保护的技术使用者:川宝科技股份有限公司
技术研发日:2018.09.06
技术公布日:2019.03.22

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