技术总结
在一种确定周期性结构的边缘粗糙度参数的方法中，在检测设备中该周期性结构被照射(602)。照射辐射束可包括具有在1纳米至100纳米的范围内的波长的辐射。从辐射束获得散射信号(604)，该辐射束从该周期性结构散射。该散射信号包括散射强度信号，其通过检测该检测设备中的远场衍射图案的图像而获得。基于围绕非镜面衍射阶的该散射强度信号的分布来确定(606)边缘粗糙度参数，诸如线边缘粗糙度和/或线宽粗糙度。该确定可例如使用峰加宽模型来完成。
技术研发人员：T·J·克嫩;S·B·罗博尔;S·J·比杰尔斯马
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2018.06.21
技术公布日：2020.02.21