技术特征：
技术总结
发明公开了一种基于共用电极的硅基集成光学相控阵芯片。该芯片由如下部分组合构成：光栅耦合器(1)、输入连接波导(2)、级联分光器(3)、连接波导(4)、相位调制阵列(5)、输出连接波导(6)、出射阵列天线(7)。其基本原理是，激光器激光经光栅耦合器(1)耦合进入输入连接波导(2)，经级联的分光器(3)将光强等分后，经连接波导(4)输入到相位调制阵列(5)，采用电极加电控制改变波导折射率的方式，对波导阵元进行相位调制。其中，主要提出相位调制阵列(5)中的控制电极采用共用电极方式，实现紧凑排布。而后，具有不同相位的光场经输出连接波导(6)输入到出射阵列天线(7)发射，实现光束偏转。
技术研发人员：时尧成;陈敬业
受保护的技术使用者：浙江大学
技术研发日：2019.01.29
技术公布日：2019.06.18