技术特征：
技术总结
本发明提供一种基板破片检测系统及基板破片检测方法。本发明的基板破片检测系统包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置、处理模块及基板传送装置，每一图像获取装置包括多个图像获取单元，同一图像获取装置的多个图像获取单元沿一第一方向排成一列，工作时，基板传送装置对基板进行传送，使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域，两个图像获取装置分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块，处理模块将基板正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，从而判定基板是否存在破片，能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。
技术研发人员：梁基惠
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2019.02.26
技术公布日：2019.04.23