技术特征：
技术总结
本发明提取一种获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法及电路，解决了微扭转镜电容反馈信号稳定性差的问题，首先将脉冲信号作为驱动信号驱动电容反馈式微扭转镜振动；确保在相邻两组驱动脉冲间隔期间，微扭转镜至少能够自由扭转0.5个周期；其次，提取电容反馈式微扭转镜的电容反馈信号，将电容反馈信号转化为电压信号；然后，将步骤S2中的电压信号进行放大；最后在相邻两组驱动脉冲间隔期间，提取放大后的电压信号，作为真实电容反馈信号。省略了载波发生电路和检波电路，消除因载波发生电路和检波电路对电容反馈信号的影响，电路更简洁，提高了电容反馈信号的稳定性，同时采用特定的驱动形式及信号提取方式获得真实的电容反馈信号。
技术研发人员：夏长锋;郑文会;宋秀敏;游桥明;乔大勇
受保护的技术使用者：西安知微传感技术有限公司
技术研发日：2019.04.29
技术公布日：2019.10.15